JP2016044978A5 - - Google Patents

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［適用例１］
本発明の物理量センサーは、第１質量部、前記第１質量部よりも質量が小さい第２質量部、及び平面視で前記第１質量部と前記第２質量部との間に配置されている支持部を含む可動部と、
前記第１質量部と対向して配置されている第１固定電極と、
前記第２質量部と対向して配置されている第２固定電極と、
を含み、
前記可動部の長手方向に沿った前記可動部の長さをＬ、
前記長手方向に沿った前記第２質量部の長さをＬ２としたとき、
０．２≦Ｌ２／Ｌ≦０．４８
を満足していることを特徴とする。
［適用例２］
本発明の物理量センサーでは、０．２５≦Ｌ２／Ｌ≦０．４４
を満足していることが好ましい。
これにより、より高感度な物理量センサーを提供することができる。
［適用例３］
本発明の物理量センサーでは、０．３５≦Ｌ２／Ｌ≦０．４０
を満足していることが好ましい。
［適用例４］
本発明の物理量センサーでは、基板と、
前記基板に接合されている蓋体と、
を含み、
前記可動部は、前記基板と前記蓋体とにより形成されているキャビティーに収容され、
前記第１固定電極と前記第２固定電極は、前記キャビティーに収容され、且つ、前記基板の前記可動部と対向している面上に配置されていることが好ましい。
［適用例５］
本発明の物理量センサーでは、前記キャビティーは、不活性ガスが充填されていることが好ましい。
［適用例６］
本発明の物理量センサーでは、前記基板と前記蓋体は、陽極接合により接合されていることが好ましい。
［適用例７］
本発明の物理量センサーでは、前記基板は、ガラス基板であることが好ましい。
これにより、より高感度な物理量センサーを提供することができる。
［適用例８］
本発明の電子機器は、本発明の物理量センサーを備えていることを特徴とする。
［適用例９］
本発明の移動体は、本発明の物理量センサーを備えていることを特徴とする。

Claims (9)

  1. 第１質量部、前記第１質量部よりも質量が小さい第２質量部、及び平面視で前記第１質量部と前記第２質量部との間に配置されている支持部を含む可動部と、
    前記第１質量部と対向して配置されている第１固定電極と、
    前記第２質量部と対向して配置されている第２固定電極と、
    を含み、
    前記可動部の長手方向に沿った前記可動部の長さをＬ、
    前記長手方向に沿った前記第２質量部の長さをＬ２としたとき、
    ０．２≦Ｌ２／Ｌ≦０．４８
    を満足していることを特徴とする物理量センサー。
  2. 請求項１において、
    ０．２５≦Ｌ２／Ｌ≦０．４４
    を満足していることを特徴とする物理量センサー。
  3. 請求項２において、
    ０．３５≦Ｌ２／Ｌ≦０．４０
    を満足していることを特徴とする物理量センサー。
  4. 請求項１乃至３の何れか一項において、
    基板と、
    前記基板に接合されている蓋体と、
    を含み、
    前記可動部は、前記基板と前記蓋体とにより形成されているキャビティーに収容され、
    前記第１固定電極と前記第２固定電極は、前記キャビティーに収容され、且つ、前記基板の前記可動部と対向している面上に配置されていることを特徴とする物理量センサー。
  5. 請求項４において、
    前記キャビティーは、不活性ガスが充填されていることを特徴とする物理量センサー。
  6. 請求項４または５において、
    前記基板と前記蓋体は、陽極接合により接合されていることを特徴とする物理量センサー。
  7. 請求項４乃至６の何れか一項において、
    前記基板は、ガラス基板であることを特徴とする物理量センサー。
  8. 請求項１乃至７の何れか一項に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
  9. 請求項１乃至７の何れか一項に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする移動体。
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