JP6061064B2 - ジャイロセンサー、および電子機器 - Google Patents
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Description
本適用例に係るジャイロセンサーは、
基板と、
前記基板上に配置されている、第1機能素子、第2機能素子、および第3機能素子と、を含み、
前記第1機能素子は、
第1軸の方向に振動する第1振動体と、
前記第1振動体に支持され、前記第1軸と直交する第2軸を軸とする角速度に応じて、前記第1軸および前記第2軸と直交する第3軸の方向に変位する第1可動体と、
前記第1可動体に設けられている第1可動電極部と、
前記基板に固定され、前記第1可動電極部と対向して設けられている第1固定電極部と、
を有し、
前記第2機能素子は、
前記第2軸の方向に振動する第2振動体と、
前記第2振動体に支持され、前記第1軸を軸とする角速度に応じて、前記第3軸の方向に変位する第2可動体と、
前記第2可動体に設けられている第2可動電極部と、
前記基板に固定され、前記第2可動電極部と対向して設けられている第2固定電極部と、
を有し、
前記第3機能素子は、
前記第1軸の方向または前記第2軸の方向に振動する第3振動体と、
前記第3振動体に支持され、前記第3軸を軸とする角速度に応じて、前記第3振動体の振動方向および前記第3軸の方向と直交する方向に変位する第3可動体と、
前記第3可動体に設けられている第3可動電極部と、
前記基板に固定され、前記第3可動電極部と対向して設けられている第3固定電極部と、
を有し、
前記第1機能素子、前記第2機能素子、および前記第3機能素子のうちの隣り合う機能素子において、
一方の機能素子の振動体の振動方向と、他方の機能素子の可動体の変位方向とは、異なり、
一方の機能素子の可動体の変位方向と、他方の機能素子の振動体の振動方向とは、異なる。
本適用例に係るジャイロセンサーは、
基板と、
前記基板上に配置されている、第1機能素子、第2機能素子、および第3機能素子と、を含み、
前記第1機能素子は、
第1軸の方向に振動する第1振動体と、
前記第1振動体に支持され、前記第1軸と直交する第2軸を軸とする角速度に応じて、前記第1軸および前記第2軸と直交する第3軸の方向に変位する第1可動体と、
を有し、
前記第2機能素子は、
前記第2軸の方向に振動する第2振動体と、
前記第2振動体に支持され、前記第1軸を軸とする角速度に応じて、前記第3軸の方向に変位する第2可動体と、
を有し、
前記第3機能素子は、
前記第1軸の方向または前記第2軸の方向に振動する第3振動体と、
前記第3振動体に支持され、前記第3軸を軸とする角速度に応じて、前記第3振動体の振動方向および前記第3軸の方向と直交する方向に変位する第3可動体と、
を有し、
前記第1機能素子、前記第2機能素子、および前記第3機能素子のうちの隣り合う機能素子において、
一方の機能素子の振動体の振動方向と、他方の機能素子の可動体の変位方向とは、方向が異なり、
一方の機能素子の可動体の変位方向と、他方の機能素子の振動体の振動方向とは、方向が異なる。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第1機能素子、前記第2機能素子、および前記第3機能素子は、前記基板上に直線状に並んでいてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記基板には、第1凹部、第2凹部、および第3凹部が設けられ、
前記第1凹部上に、前記第1振動体および前記第1可動体が設けられ、
前記第2凹部上に、前記第2振動体および前記第2可動体が設けられ、
前記第3凹部上に、前記第3振動体および前記第3可動体が設けられていてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記基板には、溝部が設けられ、
前記溝部は、平面視において、前記一方の機能素子と前記他方の機能素子との間に設けられていてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第3軸の方向は、前記基板の厚さ方向と同じであってもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記基板の材質は、ガラスであり、
前記第1振動体、前記第1可動体、前記第2振動体、前記第2可動体、前記第3振動体、および前記第3可動体の材質は、シリコンであってもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第3振動体は、前記第1軸の方向に振動し、
前記第2機能素子と前記第3機能素子との間に、前記第1機能素子が設けられていてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第3振動体は、前記第2軸の方向に振動し、
前記第1機能素子と前記第3機能素子との間に、前記第2機能素子が設けられていてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第1機能素子、前記第2機能素子、および第3機能素子の少なくとも一つの機能素子は、音叉型振動してもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第1機能素子の一方に前記第2機能素子が配置され、前記第1機能素子の他方に前記第3機能素子が配置されていてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第2機能素子の一方に前記第1機能素子が配置され、前記第2機能素子の他方に前記第3機能素子が配置されていてもよい。
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
1.1. ジャイロセンサー
まず、第1の実施形態に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。図1は、第1の実施形態に係るジャイロセンサー100を模式的に示す平面図である。図2は、第1の実施形態に係るジャイロセンサー100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。
まず、第1機能素子101の構成について説明する。図3は、第1機能素子101を模式的に示す平面図である。
次に、第2機能素子102について説明する。図4は、第2機能素子102を模式的に示す平面図である。
次に、第3機能素子103の構成について説明する。図5は、第3機能素子103を模式的に示す平面図である。
次に、第1の実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法について、図面を参照しながら説明する。図6および図7は、第1の実施形態に係るジャイロセンサー100の製造工程を模式的に示す断面図であって、図2に対応している。なお、便宜上、図7では、第1機能素子101、第2機能素子102、および第3機能素子103を簡略化して図示している。
次に、第1の実施形態の変形例に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。以下、第1の実施形態の変形例に係るジャイロセンサーについて、第1の実施形態に係るジャイロセンサー100と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
2.1. ジャイロセンサー
次に、第2の実施形態に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。図10は、第2の実施形態に係るジャイロセンサー200を模式的に示す平面図である。図11は、第2の実施形態に係るジャイロセンサー200を模式的に示す図10のXI−XI線断面図である。図12は、第2の実施形態に係るジャイロセンサー200の第3機能素子103を模式的に示す平面図である。
次に、第2の実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法について、説明する。第2の実施形態に係るジャイロセンサー200の製造方法は、第1の実施形態に係るジャイロセンサー100の製造方法と基本的に同じである。したがって、ジャイロセンサー200の製造方法については、その詳細な説明を省略する。
次に、第3の実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。第3の実施形態に係る電子機器は、本発明に係るジャイロセンサーを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサーとして、ジャイロセンサー100を含む電子機器について、説明する。
Claims (12)
- 基板と、
前記基板上に配置されている、第1機能素子、第2機能素子、および第3機能素子と、を含み、
前記第1機能素子は、
第1軸の方向に振動する第1振動体と、
前記第1振動体に支持され、前記第1軸と直交する第2軸を軸とする角速度に応じて、前記第1軸および前記第2軸と直交する第3軸の方向に変位する第1可動体と、
を有し、
前記第2機能素子は、
前記第2軸の方向に振動する第2振動体と、
前記第2振動体に支持され、前記第1軸を軸とする角速度に応じて、前記第3軸の方向に変位する第2可動体と、
を有し、
前記第3機能素子は、
前記第1軸の方向に振動する第3振動体と、
前記第3振動体に支持され、前記第3軸を軸とする角速度に応じて、前記第3振動体の振動方向および前記第3軸の方向と直交する方向に変位する第3可動体と、
を有し、
前記第2機能素子と前記第3機能素子との間に、前記第1機能素子が設けられ、
前記第1機能素子の振動体の振動方向と、前記第2機能素子の可動体の変位方向とは、方向が異なり、
前記第1機能素子の可動体の変位方向と、前記第2機能素子の振動体の振動方向とは、方向が異なり、
前記第1機能素子の振動体の振動方向と、前記第3機能素子の可動体の変位方向とは、方向が異なり、
前記第1機能素子の可動体の変位方向と、前記第3機能素子の振動体の振動方向とは、方向が異なる、ジャイロセンサー。 - 請求項1において、
前記基板には、第1溝部および第2溝が設けられ、
前記第1溝部は、平面視において、前記第1機能素子と前記第2機能素子との間に設けられ、
前記第2溝部は、平面視において、前記第1機能素子と前記第3機能素子との間に設けられている、ジャイロセンサー。 - 請求項1または2において、
前記第1機能素子の一方に前記第2機能素子が配置され、前記第1機能素子の他方に前記第3機能素子が配置されている、ジャイロセンサー。 - 基板と、
前記基板上に配置されている、第1機能素子、第2機能素子、および第3機能素子と、を含み、
前記第1機能素子は、
第1軸の方向に振動する第1振動体と、
前記第1振動体に支持され、前記第1軸と直交する第2軸を軸とする角速度に応じて、前記第1軸および前記第2軸と直交する第3軸の方向に変位する第1可動体と、
を有し、
前記第2機能素子は、
前記第2軸の方向に振動する第2振動体と、
前記第2振動体に支持され、前記第1軸を軸とする角速度に応じて、前記第3軸の方向に変位する第2可動体と、
を有し、
前記第3機能素子は、
前記第2の方向に振動する第3振動体と、
前記第3振動体に支持され、前記第3軸を軸とする角速度に応じて、前記第3振動体の振動方向および前記第3軸の方向と直交する方向に変位する第3可動体と、
を有し、
前記第1機能素子と前記第3機能素子との間に、前記第2機能素子が設けられ、
前記第1機能素子の振動体の振動方向と、前記第2機能素子の可動体の変位方向とは、方向が異なり、
前記第1機能素子の可動体の変位方向と、前記第2機能素子の振動体の振動方向とは、方向が異なり、
前記第2機能素子の振動体の振動方向と、前記第3機能素子の可動体の変位方向とは、方向が異なり、
前記第2機能素子の可動体の変位方向と、前記第3機能素子の振動体の振動方向とは、方向が異なる、ジャイロセンサー。 - 請求項4において、
前記基板には、第1溝部および第2溝が設けられ、
前記第1溝部は、平面視において、前記第1機能素子と前記第2機能素子との間に設けられ、
前記第2溝部は、平面視において、前記第2機能素子と前記第3機能素子との間に設けられている、ジャイロセンサー。 - 請求項4または5において、
前記第2機能素子の一方に前記第1機能素子が配置され、前記第2機能素子の他方に前記第3機能素子が配置されている、ジャイロセンサー。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記第1機能素子、前記第2機能素子、および前記第3機能素子は、前記基板上に直線状に並んでいる、ジャイロセンサー。 - 請求項1ないし7のいずれか1項において、
前記基板には、第1凹部、第2凹部、および第3凹部が設けられ、
前記第1凹部上に、前記第1振動体および前記第1可動体が設けられ、
前記第2凹部上に、前記第2振動体および前記第2可動体が設けられ、
前記第3凹部上に、前記第3振動体および前記第3可動体が設けられている、ジャイロセンサー。 - 請求項1ないし8のいずれか1項において、
前記第3軸の方向は、前記基板の厚さ方向と同じである、ジャイロセンサー。 - 請求項1ないし9のいずれか1項において、
前記基板の材質は、ガラスであり、
前記第1振動体、前記第1可動体、前記第2振動体、前記第2可動体、前記第3振動体、および前記第3可動体の材質は、シリコンである、ジャイロセンサー。 - 請求項1ないし10のいずれか1項において、
前記第1機能素子、前記第2機能素子、および第3機能素子の少なくとも一つの機能素子は、音叉型振動する、ジャイロセンサー。 - 請求項1ないし11のいずれか1項に記載のジャイロセンサーを含む、電子機器。
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