JP2015087257A5 - - Google Patents

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  1. 圧電体の第１主面及び前記第１主面に対して前記圧電体の裏面にある第２主面と、前記第１主面と前記第２主面とを接続している外側面と、を含み、前記第１主面と交差する方向に沿って振動する検出部を備え、
    前記検出部は、
    前記第１主面に設けられている開口からの深さ方向にて、前記第１主面と前記第２主面との間の位置に溝裾を有する溝部と、
    前記溝部内に臨む内側面の前記溝部の幅方向の一方に設けられている第１内側面および前記溝部の幅方向の他方に設けられている第２内側面と、
    前記外側面に互いに対向して設けられている第１外側面および第２外側面と、
    前記第１内側面に設けられている第１内側面電極と、前記第１外側面に設けられている第１外側面電極と、
    前記第２内側面に設けられている第２内側面電極と、前記第２外側面に設けられている第２外側面電極と、
    を有し
    前記第１外側面と前記第１内側面との間には、前記圧電体を有し、
    前記第２外側面と前記第２内側面との間には、前記圧電体を有し、
    前記第１外側面電極及び前記第２外側面電極の各々は、前記第１主面から前記第２主面の方向にて前記第２主面側に位置する端面を含み、
    前記第１外側面電極の前記端面から前記第２主面までの領域及び前記第２外側面電極の前記端面から前記第２主面までの領域の少なくとも一方は、電極が設けられていない電極非形成領域であることを特徴とする振動片。
  2. 請求項１に記載の振動片おいて、
    前記第１外側面電極及び前記第２外側面電極の各々にて前記端面を前記第２主面に設けて測定される検出感度をＧ１とし、前記第１外側面電極及び前記第２外側面電極の各々にて前記端面を中立面に設けて測定される検出感度をＧ２としたとき、
    検出感度Ｇが、Ｇ１＋（Ｇ２−Ｇ１）×１０％≦Ｇ≦Ｇ２であることを特徴とする振動片。
  3. 請求項１または２に記載の振動片において、
    前記端面は、中立面と実質的に等しい位置に有することを特徴とする振動片。
  4. 請求項１または２に記載の振動片において、
    前記端面は、中立面と前記第２主面との間に有することを特徴とする振動片。
  5. 請求項１または２に記載の振動片において、
    前記端面は、前記第１主面と中立面との間に有することを特徴とする振動片。
  6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動片において、
    前記溝裾は、前記開口からの深さ方向にて、中立面を超える位置に配置されることを特徴とする振動片。
  7. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動片において、
    前記溝裾は、前記開口からの深さ方向にて、中立面と実質的に等しい位置、または前記中立面を超えない位置に配置されることを特徴とする振動片。
  8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の振動片において、
    前記第１内側面電極及び前記第２内側面電極は接地電極であることを特徴とする振動片。
  9. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の振動片において、
    前記第１外側面電極及び前記第２外側面電極は接地電極であることを特徴とする振動片。
  10. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の振動片において、
    前記第２主面にて間隔をおいて配置される一対の主面電極をさらに有することを特徴とする振動片。
  11. 請求項１〜１０のいずれか１項記載の振動片と、
    前記振動片の前記第１主面と交差する方向に沿った振動に基づいて角速度を検出する検出回路と、
    を有することを特徴とする角速度センサー。
  12. 請求項１１に記載の角速度センサーを有することを特徴とする電子機器。
  13. 請求項１１に記載の角速度センサーを有することを特徴とする移動体。
  14. 圧電体の第１主面及び前記第１主面に対して前記圧電体の裏面にある第２主面と、前記第１主面と前記第２主面とを接続している外側面とを含み、前記第１主面と交差する方向に沿って振動する検出部を有する振動片を製造する方法において、
    前記外側面は、互いに対向している第１外側面及び第２外側面と、前記第１主面に設けられている開口からの深さ方向にて、前記第１主面と前記第２主面との間の位置に溝裾を有する溝部と、を含む検出部本体を形成する工程と、
    前記第１外側面に第１外側面電極を、前記第２外側面に第２外側面電極を、それぞれ形成する工程と、
    前記第１外側面と対向して前記溝部内に臨む第１内側面に第１内側面電極を、前記第２外側面と対向して前記溝部内に臨む第２内側面に第２内側面電極を、それぞれ形成する工程と、
    前記第１外側面電極及び前記第２外側面電極の少なくとも一方にて、前記第２主面から所定長さ領域に亘って電極を除去する工程と、
    を有することを特徴とする振動片の製造方法。
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US14/526,942 US9488477B2 (en) 2013-10-30 2014-10-29 Vibrating reed, angular velocity sensor, electronic device, moving object, and method for manufacturing vibrating reed
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6337443B2 (ja) * 2013-10-30 2018-06-06 セイコーエプソン株式会社 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体
JP2017156314A (ja) * 2016-03-04 2017-09-07 セイコーエプソン株式会社 駆動回路、角速度検出装置、電子機器及び移動体
WO2019246410A1 (en) * 2018-06-20 2019-12-26 Saudi Arabian Oil Company Method for capacitive cancellation of tuning fork for fluid property measurements

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0743262B2 (ja) * 1985-06-21 1995-05-15 東京航空計器株式会社 振動ジャイロ
JP2000249556A (ja) * 1999-02-26 2000-09-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 三角柱三脚音叉振動子および角速度センサ
JP3736257B2 (ja) 2000-02-07 2006-01-18 セイコーエプソン株式会社 振動子及び角速度検出装置
JP3767303B2 (ja) * 2000-02-22 2006-04-19 セイコーエプソン株式会社 角速度検出装置
JP3477618B2 (ja) * 2000-10-31 2003-12-10 有限会社ピエデック技術研究所 屈曲水晶振動子
JP3646258B2 (ja) * 2001-10-31 2005-05-11 有限会社ピエデック技術研究所 水晶ユニットとその製造方法
US6791243B2 (en) * 2002-03-06 2004-09-14 Piedek Technical Laboratory Quartz crystal unit and its manufacturing method
EP2386826B1 (en) * 2002-06-10 2014-02-26 Panasonic Corporation Angular velocity sensor
JP3729181B2 (ja) * 2003-03-14 2005-12-21 セイコーエプソン株式会社 測定方法及び測定信号出力回路並びに測定装置
JP4379119B2 (ja) * 2003-06-30 2009-12-09 有限会社ピエデック技術研究所 水晶振動子
JP4058018B2 (ja) * 2003-12-16 2008-03-05 松下電器産業株式会社 圧電素子及びその製造方法、並びにその圧電素子を備えたインクジェットヘッド、インクジェット式記録装置及び角速度センサ
JP2005217903A (ja) * 2004-01-30 2005-08-11 Seiko Epson Corp 音叉型振動片及び電子機器
JP4478495B2 (ja) * 2004-03-31 2010-06-09 ソニー株式会社 振動型ジャイロセンサ素子及びその製造方法
DE602004013170T2 (de) * 2004-12-20 2009-06-18 Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse Messwertgeber zur Drehgeschwindigkeitsmessung
JP4777806B2 (ja) * 2006-03-24 2011-09-21 京セラキンセキ株式会社 水晶振動子及び角速度センサ
CN101173957B (zh) * 2006-10-30 2011-12-21 索尼株式会社 角速度传感器及电子机器
JP2008157748A (ja) * 2006-12-22 2008-07-10 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
JP2008180511A (ja) * 2007-01-23 2008-08-07 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
JP5128262B2 (ja) * 2007-12-17 2013-01-23 セイコーインスツル株式会社 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法
JP2010154513A (ja) * 2008-11-25 2010-07-08 Citizen Holdings Co Ltd 水晶振動子の製造方法
JP5786303B2 (ja) 2009-12-10 2015-09-30 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、物理量センサー、及び電子機器
JP5485714B2 (ja) * 2010-01-07 2014-05-07 セイコーインスツル株式会社 パッケージの製造方法
JP2012129680A (ja) * 2010-12-14 2012-07-05 Seiko Epson Corp 電子機器
JP2011220997A (ja) * 2010-03-26 2011-11-04 Seiko Epson Corp 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器
JP5617534B2 (ja) 2010-10-29 2014-11-05 Tdk株式会社 圧電振動型ヨーレートセンサ
JP5652155B2 (ja) 2010-11-24 2015-01-14 セイコーエプソン株式会社 振動片、センサーユニット、電子機器、振動片の製造方法、および、センサーユニットの製造方法
JP5724672B2 (ja) * 2011-06-24 2015-05-27 セイコーエプソン株式会社 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器
JP2013030850A (ja) * 2011-07-26 2013-02-07 Seiko Epson Corp 振動デバイスおよび電子機器
JP5838749B2 (ja) * 2011-11-16 2016-01-06 セイコーエプソン株式会社 振動子、振動デバイスおよび電子機器
JP6007541B2 (ja) * 2012-03-28 2016-10-12 セイコーエプソン株式会社 振動片およびその製造方法並びにジャイロセンサーおよび電子機器および移動体
JP6337443B2 (ja) * 2013-10-30 2018-06-06 セイコーエプソン株式会社 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体

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