JP2011252932A5 - 感知センサー及び感知装置 - Google Patents
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Description
本発明は、感知対象物を感知する感知センサー及びこの感知センサーを用いた感知装置に関する。
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、感知対象物を高精度に検出することのできる感知センサー及び感知装置を提供することにある。
本発明は、感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成された水晶振動子の発振周波数の変化分を測定して感知対象物を評価するための感知センサーにおいて、
水晶片に第１の振動領域を形成するための電極を設けて構成した第１の水晶振動子と、
この第１の水晶振動子を形成する前記水晶片に前記第１の振動領域とは独立した第２の振動領域を形成するための電極を設けて構成し、その発振周波数が第１の水晶振動子の発振周波数の温度変化に伴う周波数変化をキャンセルするために用いられる参照用の第２の水晶振動子と、
前記第１の水晶振動子に形成され、感知対象物を吸着するための吸着層と、を備え、
前記第２の水晶振動子は、感知対象物を吸着しないように構成されていることを特徴とする。
また他の発明は、本発明の感知センサーと、
前記第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子に夫々設けられた第１の発振回路及び第２の発振回路と、
前記第１の発振回路及び第２の発振回路の各発振周波数の差分を取得する手段と、を備えたことを特徴とする。
水晶片に第１の振動領域を形成するための電極を設けて構成した第１の水晶振動子と、
この第１の水晶振動子を形成する前記水晶片に前記第１の振動領域とは独立した第２の振動領域を形成するための電極を設けて構成し、その発振周波数が第１の水晶振動子の発振周波数の温度変化に伴う周波数変化をキャンセルするために用いられる参照用の第２の水晶振動子と、
前記第１の水晶振動子に形成され、感知対象物を吸着するための吸着層と、を備え、
前記第２の水晶振動子は、感知対象物を吸着しないように構成されていることを特徴とする。
また他の発明は、本発明の感知センサーと、
前記第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子に夫々設けられた第１の発振回路及び第２の発振回路と、
前記第１の発振回路及び第２の発振回路の各発振周波数の差分を取得する手段と、を備えたことを特徴とする。
本発明は、共通の水晶片を用いて第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子を構成し、第１の水晶振動子に感知対象物を吸着するための吸着層を設けると共に、第２の水晶振動子は、感知対象物を吸着しないように構成している。このように構成すれば、第１の水晶振動子及び第１の水晶振動子の発振周波数の温度変化に伴う周波数変化をキャンセルする第２の水晶振動子は同じ温度雰囲気下に置かれることになるので、感知対象物を高精度に検出することができる。
Claims (2)
- 感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成された水晶振動子の発振周波数の変化分を測定して感知対象物を評価するための感知センサーにおいて、
水晶片に第１の振動領域を形成するための電極を設けて構成した第１の水晶振動子と、
この第１の水晶振動子を形成する前記水晶片に前記第１の振動領域とは独立した第２の振動領域を形成するための電極を設けて構成し、その発振周波数が第１の水晶振動子の発振周波数の温度変化に伴う周波数変化をキャンセルするために用いられる参照用の第２の水晶振動子と、
前記第１の水晶振動子に形成され、感知対象物を吸着するための吸着層と、を備え、
前記第２の水晶振動子は、感知対象物を吸着しないように構成されていることを特徴とする感知センサー。 - 請求項１に記載の感知センサーと、
前記第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子に夫々設けられた第１の発振回路及び第２の発振回路と、
前記第１の発振回路及び第２の発振回路の各発振周波数の差分を取得する手段と、を備えたことを特徴とする感知装置。
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