JP2010281581A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 圧力に応じて共振周波数が変化する感圧ユニットと、
   記憶部と、を備え、
   前記記憶部は、
   前記感圧ユニットの周波数温度特性に関係する近似多項式の係数と、
   温度によって決定する係数を有する１次の項を含み、複数の温度環境下における前記感圧ユニットの圧力周波数特性に関係する近似多項式の係数と、
   前記１次の項の係数を構成する近似多項式の係数と、
   を記憶していることを特徴とする圧力センサー。
2. 前記記憶部に記憶されている係数は、
   前記感圧ユニットの温度に基づく温度信号と、
   前記感圧ユニットの共振周波数に基づく周波数信号と、
   を用いた演算処理により圧力値の補正を行うデータであることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサー。
3. 前記周波数温度特性に関係する近似多項式が３次多項式であることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサー。
4. 前記圧力周波数特性に関係する近似多項式が３次多項式であることを特徴とする１乃至３の何れか一項に記載の圧力センサー。
5. 前記１次の項の係数を構成する近似多項式が２次多項式であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の圧力センサー。
6. 前記感圧ユニットは、
   感圧部、前記感圧部の両端と接続されている一対の基部、を有する感圧素子と、
   一方の主面に受圧面を有し、前記受圧面の裏側の面に前記感圧素子の一対の基部を夫々接続しているダイヤフラムと、
   前記ダイアフラムと供に前記感圧素子を挟むように前記裏側の面と対向して配置されている基台と、を備えていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の圧力センサー。
7. 前記感圧部が、一以上の柱状ビームから構成されていることを特徴とする請求項６に記載の圧力センサー。
8. 前記感圧素子、前記ダイヤフラム、及び前記基台が水晶材料で構成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の圧力センサー。
9. 圧力に応じて共振周波数が変化する感圧ユニットと、記憶部と、備えている圧力センサーの製造方法であって、
   前記圧力センサーの周波数温度特性に関係する近似多項式の係数を求める工程と、
   複数の温度環境下における前記圧力センサーの圧力周波数特性に関係する近似多項式の係数を求める工程と、
   前記圧力周波数特性に関係する近似多項式の１次の項の係数を構成する近似多項式の係数を求める工程と、
   前記記憶部に前記全ての係数を記憶させる工程と、
   を含むことを特徴とする圧力センサーの製造方法。