JP5403200B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
また、上記のような特徴を有する圧力センサでは、前記感圧素子は、振動部と、前記振動部の両端部に設けた基部とを有し、前記支持部に前記基部を固定していることが望ましい。このような構成の感圧素子は、振動部に与える張力を変化させることで、その振動状態、すなわち共振周波数を変化させることができる。
Claims (4)
- 振動部と前記振動部の両端に設けられた一対の基部を備える感圧素子とダイヤフラムとを有し、
前記ダイヤフラムは、平面視方向から見て、枠部、前記枠部に囲まれている厚肉部、前記厚肉部と前記枠部との間に前記厚肉部よりも肉薄の可撓部、とを備え、
前記可撓部の一方の面に、前記感圧素子を構成する一対の基部をそれぞれ固定している対を成す支持部を、前記厚肉部を挟み、かつ平面視において前記厚肉部と離間して配置し、
前記厚肉部は、平面視において前記一方の面側で前記振動部と重なる部分を備えると共に、積層方向において、前記振動部と非接触であり、さらに前記一方の面の裏面側に突出した形状であることを特徴とする圧力センサ。 - 前記一方の面の裏面側における前記支持部に対応する位置に、平面視方向から見て前記可撓部に挟まれている突起部を有していることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記ダイヤフラムと、
他の可撓部を備えた他のダイヤフラムとを重ねて配置し、
二つの前記可撓部の間に、一方の前記可撓部に生じた撓みを他方の前記可撓部に伝達するための伝達手段を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。 - 前記感圧素子は、
振動部と、前記振動部の両端部に設けた基部とを有し、
前記支持部に前記基部を固定していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の圧力センサ。
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