JP2007327922A - 圧力センサ用ダイヤフラム、及び圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】感圧素子として圧電振動片30を搭載する圧力センサ用のダイヤフラム20であって、可撓部となる薄肉部22の一方の面に、前記圧電振動片30を固定するための対を成す支持部24を有し、対を成す前記支持部24間に、前記薄肉部22を厚肉化するための突出部26を構成したことを特徴とする。また、このような特徴を有する圧力センサ用ダイヤフラム(ダイヤフラム)20では、前記突出部26は、前記薄肉部22の他方の面のみに形成することが望ましい。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 感圧素子として圧電素子片を搭載する圧力センサ用のダイヤフラムであって、
可撓部となる薄肉部の一方の面に、前記圧電素子片を固定するための対を成す支持部を有し、
対を成す前記支持部間に厚肉部を構成したことを特徴とする圧力センサ用ダイヤフラム。 - 前記厚肉部は、前記薄肉部の他方の面のみに突出部を構成したことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ用ダイヤフラム。
- 前記支持部に対応する位置であって、前記薄肉部の他方の面に対を成す突出部を形成したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力センサ用ダイヤフラム。
- 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧力センサ用ダイヤフラムの支持部に、圧電振動片を固定し、
前記ダイヤフラムをリッドとし、凹部を備えるベースと接合したことを特徴とする圧力センサ。 - 前記ベースをダイヤフラムとし、前記リッドとなるダイヤフラムの薄肉部と前記ベースとなるダイヤフラムの薄肉部との間に、一方の薄肉部に生じた撓みを他方の薄肉部に伝達する伝達部を備えたことを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。
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