JP5208466B2 - 音叉型振動ジャイロ - Google Patents
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Description
前記励振用駆動脚、前記振動用検出脚および前記胴部は板状圧電体でなり、該板状圧電体の板面に平行な方向の振動である面内振動を該励振用駆動脚に励振し、コリオリ力により該板面に垂直な方向に該振動用検出脚に生じる面垂直振動を検出し、該面垂直振動に基づき前記角速度測定対象物の角速度を測定する振動ジャイロにおいて、
前記角速度測定対象物の温度変化により該角速度測定対象物に生じる歪に基づき、前記パッケージ固定部材および前記パッケージを経て前記支持部材および前記圧電振動子に伝達される応力の低減を図る伝達応力低減構造を有し、
前記平板状部は、鋼、セラミック、プラスチック等の鋼と同等又は鋼に近似する程度に剛性の高い材料でなり、
前記平板状部の表面における前記支持部材が固着される領域を支持部材固着領域とするとき、前記伝達応力低減構造は、前記複数の固定位置より該支持部材固着領域側の前記平板状部に前記支持部材固着領域を囲むように形成された溝により規定される構造であって、前記平板状部の平板面に垂直な方向の前記応力に対しバネ構造として作用し、該平板状部における該溝の内側である島状部に伝達される前記歪の内の前記面垂直振動方向の成分を抑制する
ことを特徴とする振動ジャイロ。
1 振動子
2,4 接着剤
3 支持部材
5,5b,5c,5d パッケージの底板
11,12,13 駆動脚
20 胴体部
21,22,23 検出脚
50,50b,50c,50d パッケージの底板に設けられた溝
51,51b,51c,51d 島状部
52 ハーメチックシール
54 嵌め合わせ突起
55 支持部材固着領域
60 測定装置(回転検出装置)のプリント基板
P1〜P14 リード端子
Claims (3)
- 一対の励振用駆動脚および一対の振動用検出脚並びに該励振用駆動脚および該振動用検出脚を結合する胴部を有する圧電振動子と、一端を前記胴部に、他端をパッケージの平板状部にそれぞれ固着することにより、該パッケージに該圧電振動子を搭載する支持部材と、角速度測定対象物に該パッケージを複数の固定位置で固定するリード端子その他のパッケージ固定部材とを有し、
前記励振用駆動脚、前記振動用検出脚および前記胴部は板状圧電体でなり、該板状圧電体の板面に平行な方向の振動である面内振動を該励振用駆動脚に励振し、コリオリ力により該板面に垂直な方向に該振動用検出脚に生じる面垂直振動を検出し、該面垂直振動に基づき前記角速度測定対象物の角速度を測定する振動ジャイロにおいて、
前記角速度測定対象物の温度変化により該角速度測定対象物に生じる歪に基づき、前記パッケージ固定部材および前記パッケージを経て前記支持部材および前記圧電振動子に伝達される応力の低減を図る伝達応力低減構造を有し、
前記平板状部は、鋼、セラミック、プラスチック等の鋼と同等又は鋼に近似する程度に剛性の高い材料でなり、
前記平板状部の表面における前記支持部材が固着される領域を支持部材固着領域とするとき、前記伝達応力低減構造は、前記複数の固定位置より該支持部材固着領域側の前記平板状部に前記支持部材固着領域を囲むように形成された溝により規定される構造であって、前記平板状部の平板面に垂直な方向の前記応力に対しバネ構造として作用し、該平板状部における該溝の内側である島状部に伝達される前記歪の内の前記面垂直振動方向の成分を抑制する
ことを特徴とする振動ジャイロ。 - 前記支持部材側から前記平板状部の平面に直交する方向から見た前記溝の輪郭が前記支持部材固着領域の重心に関し点対称の形であることを特徴とする請求項1に記載の振動ジャイロ。
- 前記溝の底における前記平板状部の厚みは、他の領域における該平板状部の厚みの5分の1以下であることを特徴とする請求項1又は2の何れかに記載の振動ジャイロ。
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