JP2008309731A - 加速度検知ユニット及び加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外枠部材5と、応力感応部とこの応力感応部を挟む2つの固定端部10a、10bとを有する双音叉型圧電振動素子10と、を備えた加速度検知ユニットである。外枠部材5は矩形状をしており、細長い四角柱形状の2個の部材5a、5bと、短い四角柱形状の2個の部材5c、5dとの夫々の端を接合して構成されている。外枠部材5と双音叉型圧電振動素子10の圧電基板とは、同一の圧電材料より一体的に形成される共に、前記圧電基板の厚さは、外枠部材5の厚さより薄く、且つ外枠部材5の一方の面に平行に形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は上記問題を解決するためになされたもので、エッチング加工により容易に形成できる簡単な構造としたので、歩留まりのよい、低コストの加速度検知ユニット及び加速度センサを提供することにある。
上記のように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、双音叉型圧電振動素子と、固定端及び重り部の自由端である外枠部材とを同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にできる効果がある。また、加速度検出軸方向(Z軸方向)と直交するY軸方向の加速度感度を低く抑える利点もある。
このように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、双音叉型圧電振動素子と、外枠部材とを同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にできる効果がある。
また本発明の加速度検知ユニットは、溝部が双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の端部側で、外枠部材の両面又は一方の面に形成するようにした。
このように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、加速度検出感度を高める効果がある。
このように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、双音叉型圧電振動素子と、固定端及び重り部の自由端である外枠部材とを同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にできる効果と、加速度検出軸方向(Z軸方向)と直交するY軸方向の加速度感度を低く抑える利点もある。
また本発明の加速度検知ユニットは、溝部の形状がスリット状、又は円弧状であることを特徴とする。このように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、加速度検出感度を高める効果がある。
本発明の加速度センサは、本発明の加速度検知ユニットを備えたことを特徴とする。このように加速度センサを構成すると、センサの低背化を実現することができる。また加速度検知ユニットの部材が同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にすることができる利点がある。さらに、Y軸方向の他軸加速度に対して、検知感度を抑制できる効果がある。
図1に示す加速度検知ユニット1の振動モードを解析するために、有限要素法を用いてシミュレーションを行った。加速度検知ユニット1の自由端側に加速度Gを加えると、溝部7a、7bに歪みが生じ、該溝部7a、7bより自由端側が図中上下に動くことがシミュレーションにより示された。その際、双音叉型圧電振動素子10の応力感応部と、固定端部10a、10bとを連結する括れた部分の歪みが特に大きくなり、応力感応部に圧縮と、伸張の応力が作用することも分かった。また、加速度検出軸方向と直交するY軸方向に加速度を加えると、双音叉型圧電振動素子10には多少の伸張応力が作用することも判明した。
尚、部材5c、5dのY軸方向に伸びる中心線と双音叉型圧電振動素子10の中心線とが一致するよう夫々2つの固定端部10a、10bを部材5c、5dに連結した構造により、加速度Gの印加に対して外枠部材5及び双音叉型圧電振動子10が縒れることなく撓むことができるので加速度を正確に検知することができる。
さらに、図1に示す加速度検知ユニット1を2個平行に並べ、固定端と自由端とを互いに逆に配置すれば、Y軸方向の検出不要な加速度成分を打ち消すことができる。
このように構成される第2の実施形態の加速度検知ユニットは、溝部8a、8bの中央部の支点が、双音叉型圧電振動素子10の厚さの中心より離れているため、同じ加速度Gに対し双音叉型圧電振動素子10の撓みが大きくなり、加速度検知ユニットの感度が大きくなるという利点がある。
また、加速度検出軸方向と直交するY軸方向に加速度を加えると、溝部7a1、7b1と溝部7a2、7b2とには逆の歪みが加わり、他軸方向(Y軸方向)による加速度測定への影響は小さくなることが判明した
このように構成される加速度センサ3は、Z軸方向の低背化が図られる点と、加速度検知ユニットの部材が同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にすることができる。さらに、第4の実施形態の加速度検知ユニット2を用いれば、Y軸方向の他軸加速度に対して、検知感度を抑制することが可能となる。
Claims (6)
- 外枠部材と、応力感応部と該応力感応部を挟む2つの固定端部を有する双音叉型圧電振動素子と、を備え、
前記外枠部材と前記双音叉型圧電振動素子の圧電基板とは同一の圧電材料により一体的に且つ前記圧電基板の厚さが前記外枠部材より薄く形成し、
前記外枠部材の一方の対向する辺に夫々前記双音叉型圧電振動素子の固定端部を連結すると共に、前記外枠部材の他方の対向する辺に夫々溝部を形成し、
前記外枠部材の一部が前記溝部より可撓するように形成したことを特徴とする加速度検知ユニット。 - 前記溝部は、前記双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の略中央部で、前記外枠部材の両面又は一方の面に形成したことを特徴とする請求項1に記載の加速度検知ユニット。
- 前記溝部は、前記双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の端部側で、前記外枠部材の両面又は一方の面に形成したことを特徴とする請求項1に記載の加速度検知ユニット。
- 前記溝部は、前記双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の対向する夫々の辺の中央を挟んで両側に2つずつ形成したことを特徴とする加速度検知ユニット。
- 前記溝部の形状がスリット状、又は円弧状であることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の加速度検知ユニット。
- 請求項1乃至5の何れかに記載の加速度検知ユニットを備えたことを特徴とする加速度センサ。
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