JP4784436B2 - 加速度センサ - Google Patents
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まず、電気抵抗の変化を検出する型の加速度センサは、加速度センサに加速度が印加されてから歪みゲージの電気抵抗の変化に伴う出力信号が出力されるまでの間のタイムラグが大きく、検出感度が悪いといった問題がある。これは、検出素子である歪みゲージの特性の他、片持ち梁の梁部に直接貼付される構成が採られているために生じる問題でもある。すなわち、歪みゲージの電気抵抗に変化を生じさせるために必要な応力を梁部の曲げによって得る場合には、梁部には数十μmといったレベルの撓みが必要とされるのである。このため、加速度の印加から加速度の検出までに時間がかかり、高い感度を得ることも困難とされてきた。
動部に直接、引張りまたは圧縮の力として作用させるため、その構成は振動部の延長線上に錘を位置させる必要が生ずる。このため、感度向上のために錘の質量を大きくした場合には振動部や検出素子自体にせん断方向の負荷がかかることとなり、強度的な問題が生ずることとなる。また、強度的な問題を解消するために補助的な枠部を備えた場合には、加速度の検出感度が劣化するといった問題が生ずることとなる。
向への揺動性(可撓性)は有することとなる。この関係は、曲げに対する耐性を示す断面係数Zの大きさをもって説明することができる。ここで、Z軸方向の断面係数Zz、Y軸方向の断面係数Zyはそれぞれ次のように示すことができる。
また、本実施形態の片持ち梁12では、梁部18に設ける溝20は、梁部18の表裏における対応する位置(対称位置)に、それぞれ形成するようにしている。なお、溝20底部の形状形成に関しては、ボールエンドミル等を使用した機械加工の他、エッチング液を使用したケミカルエッチング等であっても良い。
態を有する振動片のことをいう。双音叉型振動片22には、一方の基部26に、振動片に対する電圧信号の入出力を行うための入出力パッド30が備えられている。そして、前記2本のビーム28a,28bにはそれぞれ励振電極32が設けられている。
または自由端14の上面角部に向かって伸ばした直線と、前記中心点Oから梁部18と平行に配した直線とによって成す鋭角θによって定めることができる。
の撓みに対する反応速度を向上させることができる。しかしながらこの場合、自由端14の質量(F)を大きくした場合であっても、Tを大きくすることができず、十分な感度を得るために要する質量のバランスが悪くなり、デバイスの小型化という面で不向きとなる可能性が生ずる。
16を構成するブロック部材16bが台座50に接合され、双音叉型振動片22の入出力パッド30とキャビティ54内部に備えられた実装電極44とが金属ワイヤ56を介して電気的に接続されれば良い。
上記のようにして形成した片持ち梁12に対して、予め製造した双音叉型振動片22を接合して、加速度センサ本体10aを構成する。片持ち梁12に対する双音叉型振動片22の接合は図2(C)に示すように、一方の基部26を固定端16上面へ、他方の基部24を自由端14上面へそれぞれ接合するようにする。
には、圧縮の応力が作用することとなり、共振周波数は下降する。
さらに、上述したように水晶により構成した双音叉型振動片22は、リニアティが良好であるため、加速度の大きさ等も精密に測定することができる。
また、上記のように様々な形態で配置することができる加速度センサ本体10aを複数組み合わせてパッケージへ収容することによれば、2軸、あるいは3軸方向の加速度を検出することができる加速度センサを構成することができる。なお、図5に示す形態は、3軸の加速度を検出することができる加速度センサの概略構成図である。
(B)は片持ち梁の正面図を示し、図6(C)は加速度センサ本体の斜視図を示す。
すなわち、片持ち梁112の梁部の形態を図6に示すような形態とすることにより、Z軸方向の曲げ易さを向上させつつY軸方向の振れに対する耐性は維持することが可能となるのである。
18の先端に接合することで自由端214を構成する。固定端216と自由端214との間には間隔Dが設けられるため、当該部分が可撓部219aとなる。
前記固定端216と自由端214との中点部に位置する梁部218には、その幅方向に沿った溝220を形成する。なお、溝220の形態、作用、効果については、上記第1の実施形態の説明を援用することとする。
上記以外の構成については、上述した第1の実施形態に係る加速度センサと同様である。
Claims (9)
- 片持ち梁と、前記片持ち梁の撓みに伴って付加される応力を電気信号に変換して出力可能な検出素子とを有する加速度センサであって、
前記片持ち梁は、可撓性を有する梁部を構成する板部材と、前記板部材の相対する2つの端部のうち一方の端部に接合して自由端を構成するブロック部材と、を備え、前記2つの端部のうち他方の端部の側が固定端であり、
前記梁部は前記固定端と前記自由端との間の領域に幅方向に沿って延びた溝を備え、
前記検出素子を構成する基板は、前記検出素子と前記梁部との間に間隙を備えた状態で前記固定端と前記自由端とのそれぞれに固定されており、
前記固定端または前記自由端と前記検出素子とが接触する点から前記溝に向けて延設した直線と、前記溝から梁部に平行に配した直線とによって成す鋭角θとしたとき、
前記θが30°≦θ≦60°の範囲内であることを特徴とする加速度センサ。 - 前記片持ち梁は、前記板部材の前記他方の端部に固定端を構成するブロック部材を備えた構成であることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。
- 前記ブロック部材は、前記梁部を構成する部材と異なる材質により構成したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の加速度センサ。
- 前記溝は、底部を円弧状であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の加速度センサ。
- 前記溝は、前記固定端と前記自由端との中点位置に設けたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の加速度センサ。
- 前記梁部を複数の帯状片により構成したことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の加速度センサ。
- 前記検出素子は振動片とし、梁部の撓みにより振動片に付加される引張りまたは圧縮の応力に伴って変化する振動片の共振周波数を電気信号として出力する構成としたことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の加速度センサ。
- 前記振動片を水晶で構成したことを特徴とする請求項7に記載の加速度センサ。
- 前記振動片を双音叉型圧電振動片としたことを特徴とする請求項7または請求項8に記載の加速度センサ。
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