JP2010181210A - 加速度センサ - Google Patents
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 121
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 31
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 abstract 4
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 abstract 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 12
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】加速度センサ10は、1対の振動ビーム14a,14bの両端に結合する基端部15a,15b及び励振電極からなる双音叉圧電振動片12と、固定端部23aと自由端部23b間に延在する梁部24a,24bに薄肉部25a,25bを設けた片持ち梁13とを、振動ビームと梁部との間に隙間を画定しつつ、一方の基端部を固定端部にかつ他方の基端部を自由端部に固定して一体化した加速度センサ本体11を備え、双音叉圧電振動片と片持ち梁の薄肉部との厚さ比b/tを0.1≦b/t≦0.7とする。
【選択図】図1
Description
図1(A)〜(C)は、本発明による加速度センサの第1実施例の構成を概略的に示している。本実施例の加速度センサ10は、その基本構成として加速度センサ本体11を備える。加速度センサ本体11は、検出素子としての双音叉圧電振動片12と、該双音叉圧電振動片に一体に結合された弾性変形可能な片持ち梁13とを有する。本実施例の双音叉圧電振動片12及び片持ち梁13は、従来の屈曲振動モードの圧電振動片と同様に、水晶板で形成されている。
Claims (6)
- 平行に延長する1対の振動ビーム、前記振動ビームの両端にそれぞれ結合する基端部、及び前記振動ビームの表面に形成した励振電極からなる双音叉圧電振動片と、固定端部、自由端部、前記固定両端部と前記自由端部間に延在する梁部、及び前記梁部にその全幅に亘って設けた薄肉部からなる片持ち梁とを有し、前記双音叉圧電振動片と前記片持ち梁とを、前記振動ビームと前記梁部との間に隙間を画定しつつ、一方の前記基端部を前記固定端部にかつ他方の前記基端部を前記自由端部に固定することによって一体化した加速度センサ本体を備え、
前記双音叉圧電振動片の厚さtと前記片持ち梁の前記薄肉部の厚さbとが、0.1≦b/t≦0.7を満足するように決定されることを特徴とする加速度センサ。 - 前記双音叉圧電振動片の厚さtと前記薄肉部の厚さbとが、0.1≦b/t≦0.4を満足するように決定されることを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 前記片持ち梁が前記双音叉圧電振動片とヤング率の同じ材料からなることを特徴とする請求項1または2に記載の加速度センサ。
- 前記双音叉圧電振動片と前記片持ち梁とが水晶材料からなることを特徴とする請求項3記載の加速度センサ。
- 2つの前記加速度センサ本体と、中間支持板とを備え、前記各加速度センサ本体が、それぞれ前記片持ち梁の前記固定端部において前記中間支持板の各面に一体に固定されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の加速度センサ。
- 前記2つの加速度センサ本体が、互いに前記中間支持板を挟んで対向する位置にかつ前記各片持ち梁の前記固定端部及び自由端部をそれぞれ同じ側に配置して、前記中間支持板の各面に固定され、前記各加速度センサ本体の前記双音叉圧電振動片がそれぞれ発振する周波数を差動的に検出する差動検出回路を更に備えることを特徴とする請求項5に記載の加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009023142A JP2010181210A (ja) | 2009-02-03 | 2009-02-03 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009023142A JP2010181210A (ja) | 2009-02-03 | 2009-02-03 | 加速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010181210A true JP2010181210A (ja) | 2010-08-19 |
JP2010181210A5 JP2010181210A5 (ja) | 2012-04-19 |
Family
ID=42762873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009023142A Withdrawn JP2010181210A (ja) | 2009-02-03 | 2009-02-03 | 加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010181210A (ja) |
Cited By (5)
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CN103063875A (zh) * | 2012-12-25 | 2013-04-24 | 西安交通大学 | 一种硅基差动石英加速度传感器 |
JP2013164278A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Seiko Epson Corp | 物理量検出器、物理量検出デバイス、電子機器 |
CN111879970A (zh) * | 2020-08-31 | 2020-11-03 | 防灾科技学院 | 基于应变啁啾效应的温度不敏感fbg加速度传感器及方法 |
CN113670429A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-11-19 | 重庆大学 | 一种光纤光栅变压器绕组振动加速度传感器及其加工方法 |
-
2009
- 2009-02-03 JP JP2009023142A patent/JP2010181210A/ja not_active Withdrawn
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