JP5013250B2 - 加速度センサ - Google Patents
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Description
また、本発明は、温度特性を改善することを目的としている。
(センサ素子)
図4に示すように、第2圧電振動片24は、第1圧電振動片16とともに、加速度センサ素子30を構成している。この加速度センサ素子30は、第1圧電振動片16と第2圧電振動片24とが同一のパッケージ32内に並列に実装してある。パッケージ32は、パッケージ本体がセラミックなどから箱型に形成され、上面に図示しない蓋体が接合してあって、パッケージ本体に収容した第1圧電振動片16と第2圧電振動片24とを気密に封止している。
第2圧電振動片24は、水晶板からなる音叉型振動片であって、加速度が印加されない状態での共振周波数f0が発振部12の加速度が印加されない状態での発振周波数と同じにしてある。なお、実施形態の場合、第2圧電振動片24の加速度が印加されない状態での共振周波数f0は、第1圧電振動片16の共振周波数と同じにしてある。そして、共振周波数および入力信号の周波数が安定した状態における移相回路部22の入力信号の周波数に対する移相特性、すなわち周波数対移相特性を、図2に示す。図2の横軸は移相回路部22に入力する信号の周波数fであり、縦軸が入力した信号に対する出力信号の移相角度(位相変化)を度(°)で表している。
初期状態において、第2圧電振動片24の共振周波数および移相回路部22の入力周波数がともにf0であった状態から、第2圧電振動片24の共振周波数がf0−Δfに変化し、入力信号の周波数がf0+Δfに変化した場合、移相角度は、図3の(ニ)のように推移する。すなわち、移相角度は、0°から減少し、−αで飽和する。
移相角度を時間で微分した値dθ/dtにより加速度を求めることで、移相角度が飽和する前の加速度を求めることができる。
実施例1は、パッケージが、表裏に導電パターンを形成した共通の配線基板330を挟んで、2つのキャビティを上下に重ねて形成したものであり、一方のキャビティに第1および第2の音叉型圧電振動片を収容し、他方のキャビティに前記集積回路を収容した構成に関するものである。
図8〜図10において、H型のパッケージ301の一方のキャビティ302に、第1の音叉型圧電振動片16と第2の音叉型圧電振動片24とをマウントし、蓋体304で気密に封止するようにされている。なお、図8の平面図では、説明の便宜のため、蓋体304を図示していない。H型のパッケージ301の他方のキャビティ303には、ICチップ305を取り付けている。
この引出し電極に駆動電圧を印加すると、各振動腕36,40の先端部を互いに接近・離間させるようにして水平な屈曲運動を生じる。
実施例2は、個々に配線基板431,432を有する2つのキャビティを上下に重ねて形成したものであり、一方のキャビティに第1および第2の音叉型圧電振動片を収容し、他方のキャビティに集積回路を収容した構成に関するものである。
図11〜図13に示す例では、パッケージ401の上段のキャビティ402に、第1の音叉型圧電振動片16と第2の音叉型圧電振動片24とをマウントし、蓋体404で気密に封止するようにされている。なお、図11の平面図では、説明の便宜のため、蓋体404を図示していない。パッケージ401の下段のキャビティ403には、ICチップ405を取り付けている。
その他の構成は実施例1と同じである。
Claims (8)
- 屈曲振動する振動腕が形成された第1圧電振動片と、前記第1圧電振動片を発振させる発振回路とを備え、前記発振回路の発振信号を出力する発振部と、
前記発振部の出力信号の位相を所与の角度変化させて出力する移相部と、
前記移相部の出力側に設けられ、屈曲振動する振動腕が形成された第2圧電振動片を備えた移相回路部と、
前記移相回路部の出力信号と前記発振部の出力信号とを乗算する乗算器と、
前記乗算器の出力が入力され、前記移相回路部の入力信号と前記移相回路部の出力信号との間の移相角度の変化に対応した値を出力する移相変化出力部と、を有し、
加速度が印加されていない状態において、前記第2圧電振動片の共振周波数は、前記発振部の前記出力信号の周波数と等しいことを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1に記載の加速度センサにおいて、
前記第1圧電振動片の前記振動腕の軸線方向と、前記第2圧電振動片の前記振動腕の軸線方向とが互いに逆になるように、前記第1圧電振動片と前記第2圧電振動片とが配置されていることを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1または2に記載の加速度センサにおいて、
前記移相回路部の周波数対移相特性は、加速度が印加されていないときの前記第2圧電振動片の共振周波数を中心に点対称であることを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の加速度センサにおいて、
前記第1圧電振動片と前記第2圧電振動片とは、圧電体からなる音叉型振動片であることを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の加速度センサにおいて、
前記第1圧電振動片と前記第2圧電振動片とは、圧電体からなる双音叉振動片であることを特徴とする加速度センサ。 - 前記発振回路を構成する第1の音叉型圧電振動片及び集積回路と、前記移相回路部を備える前記第2の音叉型圧電振動片とを収容するパッケージと、該パッケージを気密に封止する蓋体とを有することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の加速度センサ。
- 前記パッケージが、個々に配線基板を有する2つのキャビティを上下に重ねて形成したものであり、一方のキャビティに前記第1および第2の音叉型圧電振動片を収容し、他方のキャビティに前記集積回路を収容したことを特徴とする請求項6に記載の加速度センサ。
- 前記パッケージが、共通の配線基板を挟んで、上下に2つのキャビティを形成したパッケージであり、一方のキャビティに前記第1および第2の音叉型圧電振動片を収容し、他方のキャビティに前記集積回路を収容したことを特徴とする請求項6に記載の加速度センサ。
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