JP2008256583A - 水晶振動素子、及び加速度検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加速度の検出精度が高く、しかも小型化が可能な水晶振動素子及び加速度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】板厚方向がX軸である水晶基板により形成される基部11と、この基部11と一体に形成され、基部11から突出するように並行に延びる2本の振動腕12、13とが形成されている。2本の振動腕12、13の両主面には、互いに極性が異なる駆動電極14、15が夫々対向するように配置されている。また基部11の一方の主面上にSAW電極21を形成するようにした。
【選択図】図1
【解決手段】板厚方向がX軸である水晶基板により形成される基部11と、この基部11と一体に形成され、基部11から突出するように並行に延びる2本の振動腕12、13とが形成されている。2本の振動腕12、13の両主面には、互いに極性が異なる駆動電極14、15が夫々対向するように配置されている。また基部11の一方の主面上にSAW電極21を形成するようにした。
【選択図】図1
Description
本発明は、水晶振動素子、及び加速度検出装置に関わり、特に加速度を検出する加速度検出装置に好適なものである。
近年、加速度を検出する加速度センサは、次世代の自動車、ロボット、宇宙産業など幅広い応用を目指して研究、開発が行われている。
民生機器向けに開発されている加速度センサは、加速度検知機構を半導体プロセスにより作製したMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)センサが良く知られている。
また弾性表面波(SAW)を利用した加速度計なども提案されている。例えば、特許文献1には、第1の振動部を振動させるための第1の共振系と第2の振動部を振動させるための第2の共振系とを有し、外力によって第1及び第2の振動部が変形したとき、第1の共振系の共振周波数f1と第2の共振系の共振周波数f2の差Δf=f1−f2より加速度を求める。そして、クロック信号発生部のクロック信号に基づいて、第1及び第2の演算部によって計数された第1及び第2の共振周波数f1、f2のパルス間隔により、第3の演算部により加速度を演算することにより、加速度又は外力が小さいときでも正確に加速度を検出できるようにした加速時計が開示されている。
特開平8−178948号公報
民生機器向けに開発されている加速度センサは、加速度検知機構を半導体プロセスにより作製したMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)センサが良く知られている。
また弾性表面波(SAW)を利用した加速度計なども提案されている。例えば、特許文献1には、第1の振動部を振動させるための第1の共振系と第2の振動部を振動させるための第2の共振系とを有し、外力によって第1及び第2の振動部が変形したとき、第1の共振系の共振周波数f1と第2の共振系の共振周波数f2の差Δf=f1−f2より加速度を求める。そして、クロック信号発生部のクロック信号に基づいて、第1及び第2の演算部によって計数された第1及び第2の共振周波数f1、f2のパルス間隔により、第3の演算部により加速度を演算することにより、加速度又は外力が小さいときでも正確に加速度を検出できるようにした加速時計が開示されている。
しかしながら、特許文献1に開示されている加速時計は、加速度を検出するSAW共振系とクロック信号発生部とを別々に構成する必要があるため、小型化を図るのが困難であった。また比較的高価な圧電材料を用いたSAW共振系及びクロック信号発生部を別々に構成する必要があるためコストアップを招くという問題点もあった。
本発明は上記したような点を鑑みてなされたものであり、小型でしかも精度良く加速度を検出できる水晶振動素子、及びその水晶振動素子を備えた加速度検出装置を提供することを目的とする。また安価でしかも精度良く加速度を検出ができる水晶振動素子及びその水晶振動素子を備えた加速度検出装置を提供することを目的とする。
本発明は上記したような点を鑑みてなされたものであり、小型でしかも精度良く加速度を検出できる水晶振動素子、及びその水晶振動素子を備えた加速度検出装置を提供することを目的とする。また安価でしかも精度良く加速度を検出ができる水晶振動素子及びその水晶振動素子を備えた加速度検出装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の水晶振動素子は、板厚方向がX軸方向である水晶基板により形成される基部、この基部と一体化され且つこの基部から並行に延びる一対の振動腕、及び一対の振動腕の両主面に夫々対向するように形成され且つ互いに極性が異なる駆動電極を備えた音叉型水晶振動素子と、基部及び基部に形成したSAW電極を備えたSAW振動素子と、を有する。
このように構成すれば、一つの水晶基板に音叉型水晶振動素子とSAW振動素子とを一体化することが可能になるため、例えば加速度検出装置において音叉型水晶振動素子とSAW振動素子を別々に構成する場合より、加速度検出装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
このように構成すれば、一つの水晶基板に音叉型水晶振動素子とSAW振動素子とを一体化することが可能になるため、例えば加速度検出装置において音叉型水晶振動素子とSAW振動素子を別々に構成する場合より、加速度検出装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
また、本発明の水晶振動素子は、一対の振動腕と、基部に形成されたSAW電極との間の水晶基板部分に切り欠きを有する。
このように構成すれば、切り欠きにより音叉型水晶振動素子の屈曲振動のエネルギーがSAW振動素子のSAW振動に影響を及ぼすのを防ぐことができる。
このように構成すれば、切り欠きにより音叉型水晶振動素子の屈曲振動のエネルギーがSAW振動素子のSAW振動に影響を及ぼすのを防ぐことができる。
また本発明の加速度検出装置は、本発明の水晶振動素子と、音叉型水晶振動素子を共振素子として備えた第1の発振回路と、SAW振動素子を共振素子として備えた第2の発振回路と、第1の発振回路から出力される出力信号のレベルに基づいて、第2の発振回路から出力される出力信号をカウントするカウント手段と、を備え、カウント手段のカウント値を加速度検出信号として出力するようにした。
このように構成すれば、加速度検出素子として用いる音叉型水晶振動素子と、基準信号源として用いるSAW振動素子を一つの水晶基板上に形成できるため、加速度検出装置の小型化を図ることができる。また材料費や組み立て工程も別々に構成する場合より安価で済むという利点がある。
このように構成すれば、加速度検出素子として用いる音叉型水晶振動素子と、基準信号源として用いるSAW振動素子を一つの水晶基板上に形成できるため、加速度検出装置の小型化を図ることができる。また材料費や組み立て工程も別々に構成する場合より安価で済むという利点がある。
また本発明の加速度検出装置は、第1の発振回路から出力される出力信号を分周する分周器を備えるようにした。
このように構成すれば、第1の発振回路の出力信号を分周器により分周して分解能の向上を図ることで、検出感度をより高めることが可能になる。
このように構成すれば、第1の発振回路の出力信号を分周器により分周して分解能の向上を図ることで、検出感度をより高めることが可能になる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本実施の形態の水晶振動素子の構成を示した図であり、(a)は概略斜視図、(b)は(a)に示すA−A断面図である。
この図1(a)に示す水晶振動素子1は、基部11と、この基部11と一体に形成され、基部11から突出するように並行に延びる2本の振動腕12、13とを備える。2本の振動腕12、13の両主面には、図1(b)に示すように互いに極性が異なる駆動電極14、15が夫々対向するように配置されている。即ち、水晶振動素子1には、音叉型水晶振動素子10が形成されている。
また本実施の形態の水晶振動素子1では、基部11の一方の主面上にSAW(弾性表面波)電極21を形成するようにしている。即ち、基部11及びこの基部11に形成したSAW電極21によりSAW振動素子20を構成するようにしている。
図1は、本実施の形態の水晶振動素子の構成を示した図であり、(a)は概略斜視図、(b)は(a)に示すA−A断面図である。
この図1(a)に示す水晶振動素子1は、基部11と、この基部11と一体に形成され、基部11から突出するように並行に延びる2本の振動腕12、13とを備える。2本の振動腕12、13の両主面には、図1(b)に示すように互いに極性が異なる駆動電極14、15が夫々対向するように配置されている。即ち、水晶振動素子1には、音叉型水晶振動素子10が形成されている。
また本実施の形態の水晶振動素子1では、基部11の一方の主面上にSAW(弾性表面波)電極21を形成するようにしている。即ち、基部11及びこの基部11に形成したSAW電極21によりSAW振動素子20を構成するようにしている。
図2は、SAW振動素子のSAW電極の構成を示した図である。
この図2に示すようにSAW振動素子20のSAW電極21は、一対の反射器22、22と、この一対の反射器22、22の間に設けられる一対の櫛歯状電極(以下、IDTと称する)23とを備える。なお、本実施の形態では、SAW振動素子20の伝搬方向が水晶基板のY軸方向となるように形成しているが、SAW振動素子21の伝搬方向が水晶基板のZ軸方向となるように形成しても良い。
この図2に示すようにSAW振動素子20のSAW電極21は、一対の反射器22、22と、この一対の反射器22、22の間に設けられる一対の櫛歯状電極(以下、IDTと称する)23とを備える。なお、本実施の形態では、SAW振動素子20の伝搬方向が水晶基板のY軸方向となるように形成しているが、SAW振動素子21の伝搬方向が水晶基板のZ軸方向となるように形成しても良い。
図3は、本実施の形態の水晶振動素子を用いて水晶振動子を構成する場合の一例を示した図であり、(a)は上面図、(b)は側面図である。
この図3(a)(b)に示す水晶振動子30は、ガラス、樹脂、セラミック、ガラスエポキシ、アルミナ等から成る絶縁基板31に水晶振動素子1の基部11が固定される。なお、本実施の形態では絶縁基板31上の水晶振動素子1を気密状態で封止するための蓋部材の図示は省略する。この場合、本実施の形態の水晶振動素子1の基部11には振動腕12、13の駆動電極14、15がそれぞれ接続される接続電極17a、17bと、SAW電極21の入出力ラインとそれぞれ接続される接続電極17c、17dとを設ける。これらの接続電極17a〜17dは、ワイヤ33a〜33dを介して絶縁基板31上の接続パッド32a〜32dを夫々接続する。また絶縁基板31の外側底面には図示しない内部導体を介して絶縁基板31上の接続パッド32a〜32dと接続された電極端子34を形成する。これにより、本実施の形態の水晶振動素子1を用いて水晶振動子30を構成することができる。
この図3(a)(b)に示す水晶振動子30は、ガラス、樹脂、セラミック、ガラスエポキシ、アルミナ等から成る絶縁基板31に水晶振動素子1の基部11が固定される。なお、本実施の形態では絶縁基板31上の水晶振動素子1を気密状態で封止するための蓋部材の図示は省略する。この場合、本実施の形態の水晶振動素子1の基部11には振動腕12、13の駆動電極14、15がそれぞれ接続される接続電極17a、17bと、SAW電極21の入出力ラインとそれぞれ接続される接続電極17c、17dとを設ける。これらの接続電極17a〜17dは、ワイヤ33a〜33dを介して絶縁基板31上の接続パッド32a〜32dを夫々接続する。また絶縁基板31の外側底面には図示しない内部導体を介して絶縁基板31上の接続パッド32a〜32dと接続された電極端子34を形成する。これにより、本実施の形態の水晶振動素子1を用いて水晶振動子30を構成することができる。
上記のように構成される本実施の形態の水晶振動素子1は、一つの水晶基板上に音叉型水晶振動素子10とSAW振動素子20とを一体化した点に特徴がある。但し、水晶基板上にSAW振動素子20を形成する場合、SAW電極21は水晶基板のY−Z面上に形成する必要がある。このため、水晶振動素子1においては、その板厚方向がX軸(電気軸)となる所謂X板と呼ばれる水晶基板を用いるようにしている。つまり、本実施の形態では、図1(a)に示すように水晶基板の厚み方向がX軸(電気軸)方向、振動腕12、13の突出方向がY軸(機械軸)方向、振動腕12、13と直交方向がZ軸(光軸)方向となるように切り出した水晶基板を用いるようにしている。これにより、一つの水晶基板に音叉型水晶振動素子10とSAW振動素子20との一体化を図るようにした。
従って、このような本実施の形態の水晶振動素子1を備えた水晶振動子30を用いて加速度検出装置を構成すれば、音叉型水晶振動素子10を加速度検出素子、SAW振動素子20を基準発振器として利用することができるので、加速度検出素子と基準発振器とを別々に構成する場合より、装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
従って、このような本実施の形態の水晶振動素子1を備えた水晶振動子30を用いて加速度検出装置を構成すれば、音叉型水晶振動素子10を加速度検出素子、SAW振動素子20を基準発振器として利用することができるので、加速度検出素子と基準発振器とを別々に構成する場合より、装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
また本実施の形態の水晶振動素子1では、図4に示すように、音叉型水晶振動素子10の各振動腕12、13の駆動電極14、15に駆動電圧を印加することで、各振動腕12、13に電界が発生し、各振動腕12、13が屈曲振動する。そして、この屈曲振動のエネルギーが基部11に伝わった場合には、SAW振動素子20のSAW振動に影響を及ぼすおそれがある。そこで、本実施の形態では、一対の振動腕12、13と、SAW電極21を形成した基部11との間の水晶基板部分に切り欠き16を形成するようにした。これにより、音叉型水晶振動素子10の屈曲振動のエネルギーがSAW振動素子20のSAW振動に影響を及ぼすのを防止するようにした。なお、図4においては説明を分かり易くするために音叉型水晶振動素子10の屈曲振動の概念を破線により示したが、実際には音叉型水晶振動素子10の形状自体は殆ど変位しないものである。
また、本実施の形態の水晶振動素子1においては、基板の厚み方向がX軸方向となるように切り出したX板を用いたことで、X軸方向に強い電界をかけることが可能になり、従来の音叉型水晶振動素子に比べてクリスタルインピーダンス(以下、CI値と称する)を低くすることができるという利点がある。
また、本実施の形態の水晶振動素子1においては、基板の厚み方向がX軸方向となるように切り出したX板を用いたことで、X軸方向に強い電界をかけることが可能になり、従来の音叉型水晶振動素子に比べてクリスタルインピーダンス(以下、CI値と称する)を低くすることができるという利点がある。
ここで、本実施形態の音叉型水晶振動素子の構造と従来の音叉型水晶振動素子の構造とを対比しておく。
図7は、従来の音叉型水晶振動素子の構成を示した図であり、(a)は概略斜視図、(b)は(a)に示すB−B断面図である。
この図7に示す音叉型水晶振動素子100は、基板の厚み方向がZ軸方向となるように切り出された所謂Z板により形成されている。2本の振動腕102、103の両主面及び両側面には駆動電極104、105が形成されている。このように構成される音叉型水晶振動素子100では、図7(b)に示すように両主面及び両側面の駆動電極104、105間の距離が離れていると共に、駆動電極104と駆動電極105とが非平行であるため、矢印で示した電界の効率が悪い。このため、振動腕102、103の屈曲振動が弱くCI値が高くなる。
これに対して、本実施形態の音叉型水晶振動素子10は、X軸(電気軸)を厚み方向となるようにしたことで、図1(b)に示すように駆動電極14、15間の距離を、図7(b)に示したZ板より近づけることができると共に、駆動電極14と駆動電極15とが平行である。これにより、X軸方向に強い電界をかけることが可能になり、低CI値化を図ることができる。
図7は、従来の音叉型水晶振動素子の構成を示した図であり、(a)は概略斜視図、(b)は(a)に示すB−B断面図である。
この図7に示す音叉型水晶振動素子100は、基板の厚み方向がZ軸方向となるように切り出された所謂Z板により形成されている。2本の振動腕102、103の両主面及び両側面には駆動電極104、105が形成されている。このように構成される音叉型水晶振動素子100では、図7(b)に示すように両主面及び両側面の駆動電極104、105間の距離が離れていると共に、駆動電極104と駆動電極105とが非平行であるため、矢印で示した電界の効率が悪い。このため、振動腕102、103の屈曲振動が弱くCI値が高くなる。
これに対して、本実施形態の音叉型水晶振動素子10は、X軸(電気軸)を厚み方向となるようにしたことで、図1(b)に示すように駆動電極14、15間の距離を、図7(b)に示したZ板より近づけることができると共に、駆動電極14と駆動電極15とが平行である。これにより、X軸方向に強い電界をかけることが可能になり、低CI値化を図ることができる。
次に、上記した本実施の形態の水晶振動素子を用いて構成される加速度検出装置について説明する。
図5は、本実施の形態の加速度検出装置の構成を示した図である。
この図5に示す加速度検出装置50は、第1の発振器(OSC)51、第2の発振器(OSC)52、分周器53、アンド回路54、カウンタ回路55、制御部56、及びラッチ・シフトレジスタ回路57により構成される。
OSC51は、音叉型水晶振動素子10を備え、加速度を検出する加速度検出素子として機能する。OSC52は、SAW振動素子20を備え、所定の周波数で発振する基準発振器として機能する。ここで、音叉型水晶振動素子10の共振周波数とSAW振動素子20の共振周波数とは、その桁数が約104倍程度異なるものとされる。例えば、音叉型水晶振動素子10を備えたOSC51の共振周波数を30kHzとした場合は、SAW振動素子20を備えたOSC52の共振周波数は約300MHzとなるようにしている。分周器53は、OSC51の出力信号を1/N(但し、Nは自然数)分周して出力する。なお、分周器53は必ずしも設ける必要はない。
アンド回路54は、OSC51の出力信号S1とOSC52の出力信号S2のレベルが共にハイ「1」となる期間に出力信号S3を出力する。カウンタ回路55はアンド回路54から出力される出力信号S3をカウントする。カウンタ回路55でカウントしたカウント値はラッチ・シフトレジスタ回路57に出力される。ラッチ・シフトレジスタ回路57は、制御部56からのラッチ信号に基づいてカウンタ回路55からのカウント値をラッチして出力する。制御部56は、OSC51の出力信号S1に基づいて各部の制御を行う。例えば、カウンタ回路55に対してリセット信号を出力したり、ラッチ・シフトレジスタ回路57にラッチ信号を出力する。
図5は、本実施の形態の加速度検出装置の構成を示した図である。
この図5に示す加速度検出装置50は、第1の発振器(OSC)51、第2の発振器(OSC)52、分周器53、アンド回路54、カウンタ回路55、制御部56、及びラッチ・シフトレジスタ回路57により構成される。
OSC51は、音叉型水晶振動素子10を備え、加速度を検出する加速度検出素子として機能する。OSC52は、SAW振動素子20を備え、所定の周波数で発振する基準発振器として機能する。ここで、音叉型水晶振動素子10の共振周波数とSAW振動素子20の共振周波数とは、その桁数が約104倍程度異なるものとされる。例えば、音叉型水晶振動素子10を備えたOSC51の共振周波数を30kHzとした場合は、SAW振動素子20を備えたOSC52の共振周波数は約300MHzとなるようにしている。分周器53は、OSC51の出力信号を1/N(但し、Nは自然数)分周して出力する。なお、分周器53は必ずしも設ける必要はない。
アンド回路54は、OSC51の出力信号S1とOSC52の出力信号S2のレベルが共にハイ「1」となる期間に出力信号S3を出力する。カウンタ回路55はアンド回路54から出力される出力信号S3をカウントする。カウンタ回路55でカウントしたカウント値はラッチ・シフトレジスタ回路57に出力される。ラッチ・シフトレジスタ回路57は、制御部56からのラッチ信号に基づいてカウンタ回路55からのカウント値をラッチして出力する。制御部56は、OSC51の出力信号S1に基づいて各部の制御を行う。例えば、カウンタ回路55に対してリセット信号を出力したり、ラッチ・シフトレジスタ回路57にラッチ信号を出力する。
以下、図6を参照しながら本実施の形態の加速度検出装置の動作を説明する。
図6は本実施の形態の加速度検出装置の各部の出力信号波形を示した図であり、(a)はOSC51の出力信号S1、(b)はOSC52の出力信号S2、(c)はアンド回路54の出力信号S3の波形を夫々示した図である。
先にも述べたように音叉型水晶振動素子10を備えたOSC51の共振周波数とSAW振動素子20を備えたOSC52の共振周波数では、共振周波数の桁数が約104倍異なる。例えば、音叉型水晶振動素子10により加速度が検知されていないときのOSC51の共振周波数を30kHz、OSC52の共振周波数を300MHzとした場合、図6(a)に示すOSC51の出力信号S1の1周期の期間Tにおいて、図6(b)に示すOSC52から出力される出力信号S2のパルス数は10000パルスとなる。
アンド回路54は、図6(c)に示すようにOSC51の出力信号S1と、OSC52の出力信号S2のレベルが共にハイ「1」となる期間T1だけカウンタ回路55に出力信号S3を出力するので、OSC51の音叉型水晶振動素子10において加速度が検知されていない時は、カウンタ回路55のカウント値は「5000」になる。よって、この場合は、6Hz(30kHz/5k=6Hz)の分解能を持つ加速度検出装置を実現することができる。
図6は本実施の形態の加速度検出装置の各部の出力信号波形を示した図であり、(a)はOSC51の出力信号S1、(b)はOSC52の出力信号S2、(c)はアンド回路54の出力信号S3の波形を夫々示した図である。
先にも述べたように音叉型水晶振動素子10を備えたOSC51の共振周波数とSAW振動素子20を備えたOSC52の共振周波数では、共振周波数の桁数が約104倍異なる。例えば、音叉型水晶振動素子10により加速度が検知されていないときのOSC51の共振周波数を30kHz、OSC52の共振周波数を300MHzとした場合、図6(a)に示すOSC51の出力信号S1の1周期の期間Tにおいて、図6(b)に示すOSC52から出力される出力信号S2のパルス数は10000パルスとなる。
アンド回路54は、図6(c)に示すようにOSC51の出力信号S1と、OSC52の出力信号S2のレベルが共にハイ「1」となる期間T1だけカウンタ回路55に出力信号S3を出力するので、OSC51の音叉型水晶振動素子10において加速度が検知されていない時は、カウンタ回路55のカウント値は「5000」になる。よって、この場合は、6Hz(30kHz/5k=6Hz)の分解能を持つ加速度検出装置を実現することができる。
一方、音叉型水晶振動素子10の加速度検出軸方向に加速度が印加された場合、OSC51の共振周波数は、加速度に応じて30kHzから変動する。一方、OSC52の共振周波数は300MHzのままとされる。よって、カウンタ回路55のカウント値は加速度に応じて変化することになる。従って、加速度が印加されていない場合のカウンタ回路55のカウント値との差分値により加速度値を得ることができる。
このように本実施の形態の加速度検出装置においては、OSC51の共振周波数とOSC52の共振周波数の桁数が約104倍異なるように設定することで、高い分解能を持つ加速度検出装置を実現するようにした。また、本実施の形態の加速度検出装置では、図1に示した水晶振動素子1を用いることで、一つの水晶基板上に加速度検出素子と基準信号源を形成できるため、加速度検出装置の小型化を図ることができる。また材料費や組み立て工程も別々に構成する場合より安価で済むという利点がある。
また、分周器53によりOSC51の出力信号を1/N(但し、Nは自然数)分周して出力することで分解能をさらに高めることができる。
またカウンタ回路55のカウント値を、ラッチ・シフトレジスタ回路57を介して出力しているので加速度信号のデジタル化を容易であるという利点もある。
このように本実施の形態の加速度検出装置においては、OSC51の共振周波数とOSC52の共振周波数の桁数が約104倍異なるように設定することで、高い分解能を持つ加速度検出装置を実現するようにした。また、本実施の形態の加速度検出装置では、図1に示した水晶振動素子1を用いることで、一つの水晶基板上に加速度検出素子と基準信号源を形成できるため、加速度検出装置の小型化を図ることができる。また材料費や組み立て工程も別々に構成する場合より安価で済むという利点がある。
また、分周器53によりOSC51の出力信号を1/N(但し、Nは自然数)分周して出力することで分解能をさらに高めることができる。
またカウンタ回路55のカウント値を、ラッチ・シフトレジスタ回路57を介して出力しているので加速度信号のデジタル化を容易であるという利点もある。
1…水晶振動素子、10…音叉型水晶振動素子、11…基部、12、13…振動腕、14、15…駆動電極、16…切り欠き、17a〜17d…接続電極、21…IDT電極、22…反射器、30…水晶振動子、31…絶縁基板、32a…接続パッド、33a…ワイヤ、34…電極端子、50…加速度検出装置、51、52…OSC、53…分周器、54…アンド回路、55…カウンタ回路、56…制御部、57…ラッチ・シフトレジスタ回路
Claims (4)
- 板厚方向がX軸方向である水晶基板により形成される基部、該基部と一体化され且つ該基部から並行に延びる一対の振動腕、及び前記一対の振動腕の両主面に夫々対向するように形成され且つ互いに極性が異なる駆動電極を備えた音叉型水晶振動素子と、
前記基部、及び前記基部に形成したSAW電極を備えたSAW振動素子と、
を有することを特徴とする水晶振動素子。 - 前記一対の振動腕と、前記基部に形成された前記SAW電極との間の水晶基板部分に切り欠きを有することを特徴とする請求項1に記載の水晶振動素子。
- 請求項1または請求項2に記載の水晶振動素子と、
前記音叉型水晶振動素子を共振素子として備えた第1の発振回路と、
前記SAW振動素子を共振素子として備えた第2の発振回路と、
前記第1の発振回路から出力される出力信号のレベルに基づいて、前記第2の発振回路から出力される出力信号をカウントするカウント手段と、を備え、
前記カウント手段のカウント値を加速度検出信号として出力することを特徴とする加速度検出装置。 - 前記第1の発振回路から出力される出力信号を分周する分周器を備えたことを特徴とする請求項3に記載の加速度検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007100171A JP2008256583A (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 水晶振動素子、及び加速度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007100171A JP2008256583A (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 水晶振動素子、及び加速度検出装置 |
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JP2008256583A true JP2008256583A (ja) | 2008-10-23 |
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JP2007100171A Withdrawn JP2008256583A (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 水晶振動素子、及び加速度検出装置 |
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JP (1) | JP2008256583A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010249654A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶センサー及び感知装置 |
-
2007
- 2007-04-06 JP JP2007100171A patent/JP2008256583A/ja not_active Withdrawn
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