JP6392679B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
例えば、そのようなセンサとして、下記の特許文献1に開示された構成が知られている。この構成では、梁部材の変形に対する共振周波数の変化量を大きくする振動子が用いられている。そして、ガスセンサは、互いに連結されて、振動駆動される第1梁部材及び第2梁部材を備えている。第1梁部材には、形状の変化が可能であるガス感応膜が設けられている。第1梁部材は、ガス感応膜の変形によって、第2梁部材とは異なる態様で変形する。特許文献1に記載の構成では、第1梁部材及び第2梁部材の梁本体の材料として、シリコンが用いられる(例えば、特許文献1の段落[0021]−[0022]参照)。
少なくとも一端が固定されて、振動源に共振して振動する梁部材と、
梁部材を支持する支持部と、
梁部材に固定されて梁部材の振動を検出する振動検出素子と、を有するガスセンサであって、
梁部材を高分子材料で形成し、梁部材の表面の少なくとも一部を、揮発性有機化合物を吸着する吸着領域とし、
振動検出素子を、表面電極と裏面電極とで挟まれた圧電特性を有する高分子材料で形成し、
表面電極と裏面電極とのオーバーラップ領域を、梁部材の固定端部分に成形することを特徴とする。
図1は、第1実施形態のガスセンサの斜視構成を示す図である。まず、構成について説明する。
少なくとも一端が固定されて、振動源である駆動部14に共振して振動する梁部材11と、
梁部材11を支持する支持部13と、
梁部材11に固定されて梁部材11の振動を検出する振動検出素子12と、を有する。
ここで、梁部材11を高分子材料で形成し、梁部材11の表面の少なくとも一部を、揮発性有機化合物を吸着する吸着領域10とする構成である。
また、振動検出素子12は、表面電極121と裏面電極122で挟まれた圧電特性を有する高分子材料123で形成されている。
このような構成により、本実施形態のガスセンサ100は、梁部材11が駆動部14により印加される振動に共振して振動するように構成されている。
高分子材料のヤング率は、従来例のシリコンのヤング率よりも低い。このため、本実施形態では上述のヤング率の範囲に設定することで、同じ共振周波数の梁部材と比較して、小型化することができる。
従って、片持ち梁の振動式のガスセンサにおいて高いセンサ性能を得るためには高次の振動モードに対応したセンシングが望ましい。
次に、本発明の第2実施形態に係るガスセンサ200について説明する。
図3は、本実施形態のガスセンサ200を示す斜視図である。第1実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付して、重複する説明は省略する。
このように、配線224は、支持部23と圧電特性を有する高分子材料223を貫いて表面電極221と接続するように形成されている。配線225は、支持部23を貫いて裏面電極222と接続するように形成されている。
図4(a)に示すように、表面電極121と裏面電極122のオーバーラップ領域11aを、梁部材11の固定端部分に成形する構成である。
10 吸着領域
11、21 梁部材
11a オーバーラップ領域
12、22 振動検出素子
13、23 支持部
14 駆動部
121、221 表面電極
122、222 裏面電極
123、223 高分子材料
224 配線(第1の配線)
225 配線(第2の配線)
Claims (2)
- 少なくとも一端が固定されて、振動源に共振して振動する梁部材と、
前記梁部材を支持する支持部と、
前記梁部材に固定されて前記梁部材の振動を検出する振動検出素子と、を有するガスセンサであって、
前記梁部材を高分子材料で形成し、前記梁部材の表面の少なくとも一部を、揮発性有機化合物を吸着する吸着領域とし、
前記振動検出素子を、表面電極と裏面電極とで挟まれた圧電特性を有する高分子材料で形成し、
前記表面電極と前記裏面電極とのオーバーラップ領域を、前記梁部材の固定端部分に成形することを特徴とするガスセンサ。 - 前記振動検出素子を、前記表面電極と前記裏面電極で挟まれた圧電特性を有する前記高分子材料と第1の配線と第2の配線で形成し、
前記第1の配線は、前記支持部と前記圧電特性を有する前記高分子材料を貫いて前記表面電極と接続するように形成され、
前記第2の配線は、前記支持部を貫いて前記裏面電極と接続するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。
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JP2015023039A JP6392679B2 (ja) | 2015-02-09 | 2015-02-09 | ガスセンサ |
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Family Applications (1)
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