JP2008039663A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 片持ち梁と、前記片持ち梁の撓みに伴って付加される応力を電気信号に変換して出力可能な検出素子とを有する加速度センサであって、
   前記片持ち梁は、可撓性を有する梁部を構成する板部材と、前記板部材の両端部に接合して固定端または自由端を構成するブロック部材とより構成し、
   前記検出素子を構成する基板の両端部を前記固定端と前記自由端とのそれぞれに固定し、
   前記検出素子と前記梁部との間には間隙を設けたことを特徴とする加速度センサ。
2. 片持ち梁と、前記片持ち梁の撓みに伴って付加される応力を電気信号に変換して出力可能な検出素子とを有する加速度センサであって、
   前記片持ち梁は、固定端と可撓性を有する梁部を構成する梁部材と、前記梁部の先端に接合されて自由端を構成するブロック部材とより構成し、
   前記検出素子を構成する基板の両端部を前記固定端と前記自由端とのそれぞれに固定し、
   前記検出素子と前記梁部との間には間隙を設けたことを特徴とする加速度センサ。
3. 前記ブロック部材は、梁部を構成する部材と異なる材質により構成したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の加速度センサ。
4. 前記梁部には前記固定端と前記自由端との間の領域に幅方向に沿った薄肉部を設け、前記肉薄部は、底部を円弧状に形成したことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の加速度センサ。
5. 前記肉薄部は、前記固定端と前記自由端との中点位置に設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の加速度センサ。
6. 前記検出素子と前記梁部との間に設ける間隙の幅は、前記梁部に設ける肉薄部から固定端または自由端と前記検出素子とが接触する点に向けて延設した直線と、前記肉薄部から梁部に平行に配した直線とによって成す鋭角θに基づいて定められる固定端及び自由端の高さにより決定し、
   前記θの適正範囲を３０°≦θ≦６０°としたことを特徴とする請求項５に記載の加速度センサ。
7. 前記梁部を複数の帯状片により構成したことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の加速度センサ。
8. 前記検出素子は振動片とし、梁部の撓みにより振動片に付加される引張りまたは圧縮の応力に伴って変化する振動片の共振周波数を電気信号として出力する構成としたことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の加速度センサ。
9. 前記振動片を水晶で構成したことを特徴とする請求項８に記載の加速度センサ。
10. 前記振動片を双音叉型圧電振動片としたことを特徴とする請求項８または請求項９に記載の加速度センサ。