JP2008170203A - 加速度検知ユニット、及び加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】応答速度が速く、高感度、高安定性で、しかも周波数温度特性の頂点温度が常温近傍にある加速度検知ユニットを得る。
【解決手段】加速度印加によって変位しない固定部材2と、固定部材によって加速度印加方向へ可動な状態で支持される可動部材10と、固定部材と可動部材とを連結する可撓性を有した梁20と、固定部材と可動部材との両端部にそれぞれ固定した第1及び第2の緩和部材と、第1及び第2の緩和部材40、41によって両端部を支持された応力感応素子30と、を備え、梁は、可動部材に加速度が印加され、応力感応素子に伸張・圧縮応力が加わる場合に可動部材を加速度印加方向へ変位させ、第1及び第2の緩和部材は、応力感応素子の両端部と、固定部材及び前記可動部材との間に生じる歪を緩和するように加速度検知ユニットを構成する。
【選択図】図1
【解決手段】加速度印加によって変位しない固定部材2と、固定部材によって加速度印加方向へ可動な状態で支持される可動部材10と、固定部材と可動部材とを連結する可撓性を有した梁20と、固定部材と可動部材との両端部にそれぞれ固定した第1及び第2の緩和部材と、第1及び第2の緩和部材40、41によって両端部を支持された応力感応素子30と、を備え、梁は、可動部材に加速度が印加され、応力感応素子に伸張・圧縮応力が加わる場合に可動部材を加速度印加方向へ変位させ、第1及び第2の緩和部材は、応力感応素子の両端部と、固定部材及び前記可動部材との間に生じる歪を緩和するように加速度検知ユニットを構成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、加速度センサに関し、特に圧電振動子に加わる応力を、圧電振動子の周波数の変化から検出する種類の加速度検知ユニット、及び加速度センサに関する。
加速度センサは、従来より自動車、航空機、ロッケットから各種プラントの異常振動監視装置等まで、広く使用されている。特許文献1には図7の斜視図に示すような力感知装置100が開示されている。力感知装置100は、固定部材110と、該固定部材110の先に取り付けられた可撓蝶番(ピポット)120と、該可撓蝶番120に直交して取り付けられた力伝達部材130と、を一体的に形成した機能部材を構成する。固定部材110の基底の端部111と、力伝達部材130の一方の端部131との間に双音叉型圧電振動子140を差し渡して接着固定している。力伝達部材130の他方の端部に力Fが印加されると、可撓蝶番(ピポット)120の中心を支点とするモーメントが生じ、双音叉型圧電振動子140に伸張あるいは圧縮応力が加わる。双音叉型圧電振動子140に応力が印加されるとその応力に応じて双音叉型圧電振動子140の共振周波数が変化し、該周波数の変化から応力の大きさを検知する。
また、特許文献2には図8の斜視図に示すような半導体加速度センサが開示されている。図8に示す半導体加速度センサは、方形状に形成されたシリコン単結晶基板(以下、Si基板という)150の面内に周縁部に沿った略C字スリット状に空隙部151を貫通形成し、空隙部151の内側部を重り部160、その外側部をSi基板枠部152とし、重り部160とSi基板枠部152とは片持梁部161で連結されている。片持梁部161の2箇所にボロン等の3族元素を熱拡散あるいはイオン注入してゲージ抵抗170、171を形成すると共に、片持梁部161の近傍のSi基板枠部152にも同様にゲージ抵抗172、173を形成する。4つのゲージ抵抗170〜173をゲージ抵抗170と171とが対辺となるようにブリッジ接続回路を構成する。
図8に示すように矢印方向から加速度αが印加されると、印加された方向に重り部160が偏位し、片持梁部161は撓む。片持梁部161に設けたゲージ抵抗170、171は各々引っ張り応力を受け、この応力に応じて抵抗値が変化し、ブリッジ回路の出力端から加わった加速度の大きさに応じた出力電圧が得られると開示されている。
図8に示すように矢印方向から加速度αが印加されると、印加された方向に重り部160が偏位し、片持梁部161は撓む。片持梁部161に設けたゲージ抵抗170、171は各々引っ張り応力を受け、この応力に応じて抵抗値が変化し、ブリッジ回路の出力端から加わった加速度の大きさに応じた出力電圧が得られると開示されている。
特許文献1以外に圧電振動子(例えば、水晶振動子)に応力を加えることによって共振周波数が変化する性質を利用した加速度センサが各種実用化され、公開特許公報、文献等に数多く公開されている。例えば、非特許文献1には双音叉水晶振動子の構造、外力が無いときの共振周波数式、外力が印加されたときの共振周波数式、印加された力と共振周波数の関係、水晶圧力センサ用発振回路、双音叉水晶振動子を用いた圧力センサ等が詳しく開示されている。
特許文献3には図9に示すような圧力センサが開示されている。図9(a)は圧力センサ180の概略平面透視図、同図(b)はQ−Qにおける概略断面図である。圧力センサ180は、上部のダイヤフラム190と、該ダイヤフラム190と対向する下部のダイヤフラム200と、双音叉圧電振動子210とを備えている。上部ダイヤフラム190は円形であり、中央部の下面に円形の凹陥部191が形成されている。下部ダイヤフラム200も円形であり中央部の上面に力伝達用の2つの支柱202と、該力伝達用の2つの支柱202の近傍に2つの載置部203、204とを設け、これらの周囲に円形の凹陥部201が形成されている。凹陥部191、201同士は上下対向するように形成されている。双音叉圧電振動子210には応力感度のよい双音叉水晶振動子を用い、双音叉水晶振動子210の両基端部が載置部203、204に搭載され、接着剤で固定される。
支柱202を介して双音叉水晶振動子210に応力が加えられた場合の応力と周波数変化との関係は、図10に示すように略直線となる。双音叉水晶振動子に応力が加えられないときの双音叉水晶振動子の共振周波数をf0とし、双音叉水晶振動子に伸張応力が加わると共振周波数はf0より高くなり、圧縮応力が加わると共振周波数はf0より減少し、印加応力と共振周波数との関係は略直線となると開示されている。
特開昭57−113335号公報
特開平1−259264号公報
特開2004−132913公報
栗原正雄、外3名、「双音叉振動子を用いた水晶圧力センサ」、東洋通信機技報、東洋通信機株式会社、1990年、No.46、p.1−8
支柱202を介して双音叉水晶振動子210に応力が加えられた場合の応力と周波数変化との関係は、図10に示すように略直線となる。双音叉水晶振動子に応力が加えられないときの双音叉水晶振動子の共振周波数をf0とし、双音叉水晶振動子に伸張応力が加わると共振周波数はf0より高くなり、圧縮応力が加わると共振周波数はf0より減少し、印加応力と共振周波数との関係は略直線となると開示されている。
しかしながら、特許文献1に記載されているように、可撓蝶番に直交して取り付けられた力伝達部材の構造では、力Fに対し可撓蝶番が可撓しづらく、微細な力の検出が難しいという問題があった。更に、双音叉型圧電振動子を固定部材と、力伝達部材の端部との間に接着固定すると、接着剤、固定部材及び力伝達部材からの歪の影響で、双音叉型圧電振動素子が呈する周波数温度特性の頂点温度が、設計時のそれからシフトするという問題とがあった。
また、特許文献2に記載の半導体加速度センサでは、梁が数ミクロン撓んでから加速度が検出されるので、検出までに時間がかかるという問題と、半導体にボロン等の3族元素を熱拡散、あるいはイオン注入して形成するゲージ抵抗のピエゾ抵抗は温度特性が悪いという問題があった。
本発明は上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、微細な加速度も検出できる高感度、高安定性で、しかも周波数温度特性の頂点温度を改善した加速度検知ユニット、及び加速度センサを提供することにある。
また、特許文献2に記載の半導体加速度センサでは、梁が数ミクロン撓んでから加速度が検出されるので、検出までに時間がかかるという問題と、半導体にボロン等の3族元素を熱拡散、あるいはイオン注入して形成するゲージ抵抗のピエゾ抵抗は温度特性が悪いという問題があった。
本発明は上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、微細な加速度も検出できる高感度、高安定性で、しかも周波数温度特性の頂点温度を改善した加速度検知ユニット、及び加速度センサを提供することにある。
本発明は、応答速度が速く、高感度、高再現性で、しかも周波数温度特性の頂点温度が常温近傍にある加速度検知ユニット及び加速度センサを得るため、加速度の印加によって変位しない固定部材と、可動部材と、該固定部材と該可動部材とを連結する梁と、前記固定部材と前記可動部材との両端部にそれぞれ固定した第1及び第2の緩和部材と、応力感応部と該応力感応部を挟むように該応力感応部と連結した2つの固定端とを有する応力感応素子と、を備え、前記第1及び第2の緩和部材によって前記応力感応素子の前記固定端を支持した構成を有し、前記梁は、前記可動部材に加速度が印加されると前記可動部材を加速度検出軸方向へ変位させるように屈曲可能な可撓性を有する構成であり、前記第1及び第2の緩和部材は、前記応力感応素子の両固定端と、前記固定部材及び前記可動部材との間に生じる歪を緩和するものである加速度検知ユニットを構成する。
このようにして加速度検知ユニットを構成すると、可動部材が梁により容易に撓み、変換された応力(加速度×質量)を応力感応素子に印加できるので、応答速度が速く、感度の良好な加速度センサを構成できるという利点と、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるという利点がある。
このようにして加速度検知ユニットを構成すると、可動部材が梁により容易に撓み、変換された応力(加速度×質量)を応力感応素子に印加できるので、応答速度が速く、感度の良好な加速度センサを構成できるという利点と、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるという利点がある。
加速度の印加によって変位しない固定部材と、可動部材と、該固定部材と該可動部材とを連結する梁と、前記固定部材と前記可動部材との端部にそれぞれ固定した第1及び第2の緩和部材と、応力感応部と該応力感応部を挟むように該応力感応部と連結した2つの固定端とを有する応力感応素子と、を備え、前記第1及び第2の緩和部材によって前記応力感応素子の前記固定端を支持した構成を有し、前記可動部材は、前記梁を介して該固定部材によって凹部内が支持される略コ字状の第1の可動部材と、前記第1の可動部材に固定された第2の可動部材と、を備え、前記梁は、前記可動部材に加速度が印加されると、前記可動部材を加速度検出軸方向へ変位させるように屈曲可能な可撓性を有する構成であり、前記第1及び第2の緩和部材は、前記応力感応素子の両端部と、前記固定部材及び前記可動部材との間に生じる歪を緩和するものである加速度検知ユニットを構成する。
このように加速度検知ユニットを構成することにより、第1の可動部材を梃子として用いることができ、第2の可動部材の重心にかかる応力(加速度×質量)が、腕の長さの比だけ増幅されて応力感応素子に印加されるので、感度が向上するという利点と、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるという利点がある。
このように加速度検知ユニットを構成することにより、第1の可動部材を梃子として用いることができ、第2の可動部材の重心にかかる応力(加速度×質量)が、腕の長さの比だけ増幅されて応力感応素子に印加されるので、感度が向上するという利点と、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるという利点がある。
前記応力感応素子は、固定端、及び各固定端間を連設する振動領域を備えた圧電基板と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた加速度検知ユニットを構成する。
このように加速度検知ユニットを構成することにより、加速度検知ユニットの感度を向上させることができるという効果がある。
このように加速度検知ユニットを構成することにより、加速度検知ユニットの感度を向上させることができるという効果がある。
前記応力感応素子は、固定端、及び各固定端間を連設する2つの振動ビームを備えた圧電基板と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子である加速度検知ユニットを構成する。
このように加速度検知ユニットを構成すると、応答速度が速く、感度の良好な加速度検知ユニットを構成できると共に、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるという利点がある。
このように加速度検知ユニットを構成すると、応答速度が速く、感度の良好な加速度検知ユニットを構成できると共に、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるという利点がある。
前記応力感応素子と緩和部材は、水晶材料を用いて構成されている加速度検知ユニットを構成する。
このようにして加速度検知ユニットを構成すると、加速度検知ユニットの応答速度が速く、感度の良好な加速度センサを構成できるという利点と、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるという利点がある。
このようにして加速度検知ユニットを構成すると、加速度検知ユニットの応答速度が速く、感度の良好な加速度センサを構成できるという利点と、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるという利点がある。
上記の加速度検知ユニットと、該加速度検知ユニットを内部に収容して気密的に封止するパッケージと、前記応力感応素子を構成する励振電極と電気的に接続される発振回路と、を備えた加速度センサを構成する。
このよう加速度センサを構成すると、応力の印加された応力感応素子の変化を発振回路により瞬時に検出できるので、応答速度が速いと共に、出力される周波数は外部回路のより、必要なデータとして容易に加工できるという利点と、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるので、加速度センサの温度特性が大幅に改善できるという利点がある。
このよう加速度センサを構成すると、応力の印加された応力感応素子の変化を発振回路により瞬時に検出できるので、応答速度が速いと共に、出力される周波数は外部回路のより、必要なデータとして容易に加工できるという利点と、緩和部材により、加速度非付加時の応力感応素子が呈する周波数温度特性の頂点温度を常温近傍にできるので、加速度センサの温度特性が大幅に改善できるという利点がある。
前記パッケージの側壁に、前記可動部材を加速度の印加方向と同方向に弾性付勢する弾性付勢部材を配置した加速度センサを構成する。
このように加速度センサを構成すると、応答速度が速く、感度の良好な加速度センサを構成できるという利点と、緩和部材により緩和しきれなかった歪による頂点温度のシフトを、弾性付勢部材を調整することにより、常温近傍にできるという利点がある。
このように加速度センサを構成すると、応答速度が速く、感度の良好な加速度センサを構成できるという利点と、緩和部材により緩和しきれなかった歪による頂点温度のシフトを、弾性付勢部材を調整することにより、常温近傍にできるという利点がある。
前記固定部材に、前記可動部材を加速度の印加方向と同方向に弾性付勢する弾性付勢部材を配置した加速度センサを構成する。
このように加速度センサを構成すると、応答速度が速く、感度の良好な加速度センサを構成できるという利点と、緩和部材により緩和しきれなかった歪による頂点温度のシフトを、弾性付勢部材を調整することにより、常温近傍にできるという利点がある。
このように加速度センサを構成すると、応答速度が速く、感度の良好な加速度センサを構成できるという利点と、緩和部材により緩和しきれなかった歪による頂点温度のシフトを、弾性付勢部材を調整することにより、常温近傍にできるという利点がある。
前記弾性付勢手段は、前記可動部材を前記パッケージ側壁、又は前記固定部材から離間する方向、又は近接する方向に付勢する加速度センサを構成する。
このように加速度センサを構成すると、緩和部材により緩和しきれなかった歪による頂点温度のシフトを、弾性付勢部材を調整することにより、頂点温度を低温側あるいは高温側に調整できるという利点がある。
このように加速度センサを構成すると、緩和部材により緩和しきれなかった歪による頂点温度のシフトを、弾性付勢部材を調整することにより、頂点温度を低温側あるいは高温側に調整できるという利点がある。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る加速度検知ユニット1の構成を示す斜視図である。加速度検知ユニット1は、加速度の印加によって変位しない固定部材2と、該固定部材2によって加速度の印加(作用)の方向(加速度検出軸方向)へ可動な状態で支持される可動部材10と、固定部材2と可動部材10とを連結する可撓性を有した梁20と、固定部材2と可動部材10との両端部にそれぞれ固定した第1及び第2の緩和部材40、41と、前記第1及び第2の緩和部材40、41によって両端の固定端31を支持された応力感応素子30と、を備えている。梁20は、可動部材10に加速度が印加され、応力感応素子30に伸張・圧縮応力が加わる場合に可動部材10を加速度の印加方向と逆の方向(慣性力の方向)へ変位させるように構成されている。そして、第1及び第2の緩和部材40、41は、応力感応素子30の両端部と、固定部材2及び可動部材10との間に生じる歪を緩和するように加速度検知ユニット1を構成する。なお、固定部材2、可動部材10、梁20は真鍮、燐青銅等の金属材料を機械加工して一体的に構成されている。
直方体状の固定部材2は、応力感応素子30の一端を支持する素子支持部3と、該素子支持部3から応力感応素子30の張出し方向と平行する側方(図1の左下端に示した座標軸のX軸方向)へ張出し形成され梁20を先端部に備えた張出し部4と、を備えている。そして、素子支持部3の図中上端隅には応力感応素子30を素子支持部3に固定する際に所定の位置に固定できるように、応力感応素子30の幅(Y軸)寸法と同程度で、厚さ(Z軸)寸法より大きな段差部5を設ける。該段差部5のX軸方向の寸法は、応力感応素子30の固定端31(振動しない領域)に相当する長さとし、段差部5に固定端31に相当する大きさの第1の緩和部材40を接着・固定する。
固定部材2の張出し部4と可動部材10とを連結する梁20は、加速度が印加されない時には張出し部4の上面に対して直交した姿勢を維持し、X軸方向(加速度検出軸方向)として例えば図1に示すX軸の矢印方向と逆方向への加速度が印加された時には慣性力の影響を受けて梁20の中央部に在る支点(くびれ部)を中心として横方向(図1に示すX軸の矢印方向)へ撓み、加速度検出軸方向(X軸)と直交する奥行き方向(Y軸)への可動部材10の変位を阻止する形状とする。図1では端面の形状がなだらかな双曲線状の梁20を図示しているが、端面の形状が機械加工に適した2つの半円状を背中合わせした凹状の円弧形状であってもよい。
また、梁20の奥行き方向(Y軸方向)寸法は、梁の奥行き方向(Y軸方向)の寸法を梁の幅方向(X軸方向)の寸法よりも長くした構成を有していれば可動部材10が加速度の印加方向と直交する方向に変形することがなく、例えば可動部材10の奥行き方向(Y軸方向)全長と同等か、該奥行き方向全長よりも短いか、或いは該奥行き方向よりも長い場合のいずれでもよい。
また、梁20の奥行き方向(Y軸方向)寸法は、梁の奥行き方向(Y軸方向)の寸法を梁の幅方向(X軸方向)の寸法よりも長くした構成を有していれば可動部材10が加速度の印加方向と直交する方向に変形することがなく、例えば可動部材10の奥行き方向(Y軸方向)全長と同等か、該奥行き方向全長よりも短いか、或いは該奥行き方向よりも長い場合のいずれでもよい。
直方体状の可動部材10の上部(緩和部材41を搭載する面)で奥行き方向(Y軸方向)の一端部に応力感応素子30を所定の位置で位置決めするためのストッパ15を形成する。可動部材10の上部と、ストッパ15との間に、応力感応素子30の固定端31(振動しない領域)に相当する大きさの緩和部材41を接着・固定する。可動部材10は、張出し部4の奥行き方向(Y軸)の一端寄りに偏位した領域を占め、可動部材10の奥行き方向(Y軸)の一側面と張出し部4の奥行き方向の一端縁との間には空隙Sを設けるように構成する。これは加速度検知ユニット1をパッケージの内壁に取り付け、加速度センサを構成し、該加速度センサを横置きして用いる際にパッケージ内壁と可動部材10とが干渉しないようにするための空隙Sである。
応力感応素子30は、素子支持部3上面(緩和部材40を搭載する面)の段差部5に固定した第1の緩和部材40と、可動部材10の上面及びストッパ11との間に固定した第2の緩和部材41との間に差し渡して配置され、両固定端31と、第1及び第2の緩和部材40、41とを接着剤で固定する。応力感応素子30としては、両端部に位置する固定端、及び各固定端間を連設する振動領域を備えた圧電基板と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた圧電振動素子を用いる。また、応力感応素子30として、両端部に位置する固定端31、及び各固定端間を連設する2つの振動ビームを備えた圧電基板と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子を用いると応力感度が優れ、検出の応答速度が速いという特徴を有する。
本実施形態では、応力感応素子として2つの固定端31の間に固定端31と連結するように応力感応部である2本の振動ビームを備えた双音叉型水晶振動素子を用いている。双音叉型水晶振動素子は伸張・圧縮応力に対する感度が良好であり、高度計用、或いは深度計用の応力感応素子として使用した場合には分解能力が優れるために僅かな気圧差から高度差、深度差を知ることができる。また、双音叉型水晶振動素子が呈する周波数温度特性は、上に凸の二次曲線となり、その頂点温度が常温(25℃)になるように各パラメータを設定する。
双音叉型水晶振動素子の2本の振動ビームに外力Fを加えたときの共振周波数fFは以下の如くである。
[数1]
fF=f0(1−(KL2F)/(2EI))1/2 (1)
ここで、f0は外力がないときの双音叉型水晶振動素子の共振周波数、Kは基本波モードによる定数(=0.0458)、Lは振動ビームの長さ、Eは縦弾性定数、Iは断面2次モーメントである。断面2次モーメントIはI=dw3/12より、式(1)は次式のように変形することができる。ここで、dは振動ビームの厚さ、wは幅である。
[数2]
fF=f0(1−SFσ)1/2 (2)
但し、応力感度SFと、応力σとはそれぞれ次式で表される。
[数3]
SF=12(K/E)(L/w)2 (3)
[数4]
σ=F/(2A) (4)
[数1]
fF=f0(1−(KL2F)/(2EI))1/2 (1)
ここで、f0は外力がないときの双音叉型水晶振動素子の共振周波数、Kは基本波モードによる定数(=0.0458)、Lは振動ビームの長さ、Eは縦弾性定数、Iは断面2次モーメントである。断面2次モーメントIはI=dw3/12より、式(1)は次式のように変形することができる。ここで、dは振動ビームの厚さ、wは幅である。
[数2]
fF=f0(1−SFσ)1/2 (2)
但し、応力感度SFと、応力σとはそれぞれ次式で表される。
[数3]
SF=12(K/E)(L/w)2 (3)
[数4]
σ=F/(2A) (4)
ここで、Aは振動ビームの断面積(=w・d)である。以上から双音叉型振動子に作用する力Fを圧縮方向のとき負、伸張方向(引張り方向)を正としたとき、力Fと共振周波数fFの関係は、力Fが圧縮力で共振周波数fFが減少し、伸張(引張り)力では増加する。また応力感度SFは振動ビームのL/wの2乗に比例する。しかし、圧電振動素子としては、双音叉型水晶振動子に限らず、伸張・圧縮応力によって周波数が変化する圧電振動素子であればどのようなものを用いても良い。
また、応力と頂点温度との関係は、双音叉型水晶振動素子に伸張応力を付加すると頂点温度は低音側へシフトし、圧縮応力を加えると高温側へシフトする特性を有している。
また、応力と頂点温度との関係は、双音叉型水晶振動素子に伸張応力を付加すると頂点温度は低音側へシフトし、圧縮応力を加えると高温側へシフトする特性を有している。
本発明の特徴は、固定部材2の素子支持部3上面隅に形成された段差部5と、可動部材10の上面の一部と、にそれぞれ第1及び第2の緩和部材40、41設けた構成にある。第1及び第2の緩和部材40、41の線膨張係数は、応力感応素子30と、機能部材(固定部材2、可動部材10、梁20)とのそれぞれの線膨張係数の中間値を有する材質を選定する。応力感応素子30に双音叉型水晶振動素子を用いる場合には、水晶の線膨張係数と、機能部材との線膨張係数との中間値又は水晶と同等とする。例えば、水晶、真鍮、燐青銅、ステンレス鋼の線膨張係数はそれぞれ12.2×10-6/℃、17.3×10-6/℃、17×10-6/℃、14.7×10-6/℃である。機能部材と応力感応素子30との間に緩和部材40、41を挟むことにより、例えば接着剤の乾燥時の温度変化等により機能部材と応力感応素子30との間に生じる残留歪を、緩和部材40、41の内部で低減することが可能となる。残留歪を小さくすることにより応力感応素子30が呈する周波数温度特性を改善することができる。応力感応素子30に双音叉型水晶振動素子を用いる場合には、周波数温度特性の頂点温度を設計時の常温近傍に維持することが可能となる。
特に、緩和部材40、41として水晶と同等特性の材料を使用する場合は、水晶の比重2.7に対して±1の範囲の比重である材料が好ましく、例えば水晶、アルミニウム、ガラスが良い。特に緩衝部材40、41の材料が水晶であれば、応力感応素子30の固定端31の搭載面となる緩和部材40、41の主面の法線と水晶結晶の光学軸(Z軸)とが一致するような水晶板(Z板)を適用することが好ましい。
このような水晶板は、主面内に圧電効果が発生し難い。従って、緩和部材40、41にZ板を使用すれば、加速度の印加に伴い緩和部材40に応力が発生しても圧電効果に伴う電気的ノイズが応力感応素子30へ伝達されてしまうことがない。
尚、緩和部材40、41の厚さは、応力感応素子30の固定端の厚さ以上であることが好ましい。
これにより緩和部材40、41の剛性が固定端31の合成よりも上回るので固定部材2と可動部材10から伝達される応力が応力感応素子30に伝達され難くなる。
このような水晶板は、主面内に圧電効果が発生し難い。従って、緩和部材40、41にZ板を使用すれば、加速度の印加に伴い緩和部材40に応力が発生しても圧電効果に伴う電気的ノイズが応力感応素子30へ伝達されてしまうことがない。
尚、緩和部材40、41の厚さは、応力感応素子30の固定端の厚さ以上であることが好ましい。
これにより緩和部材40、41の剛性が固定端31の合成よりも上回るので固定部材2と可動部材10から伝達される応力が応力感応素子30に伝達され難くなる。
図2は、固定部材2と可動部材10と梁20とを備えた機能部材6に、第1及び第2の緩和部材40、41を搭載し、該第1及び第2の緩和部材40、41の上に応力感応素子30を載置する様子を示した斜視図である。固定部材2の素子支持部3の上端隅に設けた段差部5と、固定部材10の上端とに、第1及び第2の緩和部材40、41を、接着剤等を用いて接着・固定する。この第1及び第2の緩和部材40、41の上に応力感応素子30を載置し、該応力感応素子30の両固定端31を、接着剤等を用いて固定して、加速度検知ユニットを構成する。
図3は、本発明の他の実施形態に係る加速度検知ユニット7の構成を示すの斜視図である。加速度検知ユニット7は、加速度の印加によって変位しない固定部材2と、該固定部材2によって加速度の印加方向へ可動な状態で支持される可動部材10と、固定部材2と可動部材10とを連結する可撓性を有した梁21と、固定部材2と可動部材10との端部にそれぞれ固定する第1及び第2の緩和部材40、41と、第1及び第2の緩和部材40、41によって両端部を支持された応力感応素子30と、を備えている。可動部材10は、梁21を介して固定部材2によって凹部内が支持される略コ字状(凹形状)の第1の可動部材11と、第1の可動部材に固定された第2の可動部材12と、を備えている。そして、梁21は、可動部材10に加速度が印加され、前記応力感応素子に伸張・圧縮応力が加わる場合に可動部材12が加速度の印加方向と逆方向へ変位すると共に可動部材10を加速度の印加方向へ変位させるように支点として機能するよう構成されている。第1及び第2の緩和部材40、41は、応力感応素子30の両端部と、固定部材2及び可動部材10との間に生じる歪を緩和するように構成されている。なお、固定部材2、可動部材10、梁20は真鍮、燐青銅等の金属材料を機械加工して構成されている。
直方体状の固定部材2は応力感応素子30の一端を支持する素子支持部3と、該素子支持部3から側方(図1の左下端に示した座標軸のX軸方向)へ張出し形成され梁21を先端部に備えた張出し部4と、を備えている。そして、素子支持部3の図中上端隅には応力感応素子30を素子支持部3に固定する際に所定の位置に固定できるように、応力感応素子30の幅(Y軸)寸法と同程度で、厚さ(Z軸)寸法より大きな段差部5を設ける。該段差部5のX軸方向の寸法は、応力感応素子30の固定端31(振動しない領域)に相当する長さとし、段差部5に固定端31に相当する大きさの第1の緩和部材40を接着・固定する。
固定部材2の張出し部4と可動部材10とを連結する梁21は、第1の可動部材11の開口内部に非接触嵌合された張出し部4の先端と、第1の可動部材11の縦片の内側面との間を連結するように構成されている。梁21は加速度によって変形する個所、つまり梁21のくびれ部にある支点が、第2の可動部材12の重心の位置に対応するように配置されている。梁21は、加速度が印加されない時には張出し部4の延長線上に水平な姿勢を維持する。X軸方向への加速度が印加された時には梁21のくびれ部に在る支点を中心として撓み、支点を中心としたモーメントがはたらき、その結果、応力感応素子30に応力が加わるように作用する。また、梁21は、加速度の印加方向(X軸)と直交する奥行き方向(Y軸)への可動部材10の変位を阻止する形状とする。図1では端面の形状が2つの半円状を背中合わせした凹状の円弧形状の梁21を図示しているが、端面の形状は可動部材10が常に一定の支点で撓むような形状であれば他の形状であってもよい。
また、梁21の奥行き方向(Y軸方向)寸法は、梁の奥行き方向(Y軸方向)の寸法を梁の幅方向(X軸方向)の寸法よりも長くした構成を有していれば可動部材10が加速度の印加方向と直交する方向に変形することがなく、例えば可動部材10の奥行き方向(Y軸方向)全長と同等か、該奥行き方向全長よりも短いか、或いは該奥行き方向よりも長い場合のいずれでもよい。
また、梁21の奥行き方向(Y軸方向)寸法は、梁の奥行き方向(Y軸方向)の寸法を梁の幅方向(X軸方向)の寸法よりも長くした構成を有していれば可動部材10が加速度の印加方向と直交する方向に変形することがなく、例えば可動部材10の奥行き方向(Y軸方向)全長と同等か、該奥行き方向全長よりも短いか、或いは該奥行き方向よりも長い場合のいずれでもよい。
略コ字状の可動部材11の上部で奥行き方向(Y軸方向)の一端部に応力感応素子30を所定の位置で位置決めするためのストッパ15を形成する。可動部材11の上部と、ストッパ15との間に、応力感応素子30の固定端31に相当する大きさの緩和部材41を接着・固定する。可動部材10は、張出し部4の奥行き方向(Y軸)の一端寄りに偏位した領域を占め、可動部材10の奥行き方向(Y軸)の一側面と張出し部4の奥行き方向の一端縁との間には空隙Sを設けるように構成する。これは加速度検知ユニット7をパッケージの内壁に取り付け、加速度センサを構成し、該加速度センサを横置きして用いる際にパッケージ内壁と可動部材10とが干渉しないようにするための空隙Sである。
応力感応素子30は、素子支持部3上面の段差部5に固定した第1の緩和部材40と、可動部材10の上面及びストッパ11との間に固定した第2の緩和部材41との間に差し渡して配置され、接着剤等を用いて接着、固定する。応力感応素子30として、両端部に位置する固定端、及び各固定端間を連設する振動領域を備えた圧電基板と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた圧電振動素子を用いる。また、図3に示すように両端部に位置する固定端31、及び各固定端間を連設する2つの振動ビームを備えた圧電基板と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子30を用いると、さらに優れた応力感度が得られ、検出の応答速度が速いという特徴を有する。特に、水晶材料を用いた双音叉型水晶振動素子の特性については、上述した通りである。
また、第1及び第2の緩和部材40、41の材質の選定については加速度検知ユニット1に説明した通りであり、その作用、効果も上述した通りであり、説明を省く。
また、第1及び第2の緩和部材40、41の材質の選定については加速度検知ユニット1に説明した通りであり、その作用、効果も上述した通りであり、説明を省く。
図4は、本発明の他の実施形態に係る加速度検知ユニット8の構成を示す斜視図である。加速度検知ユニット8は、加速度の印加によって変位しない固定部材2と、該固定部材2によって加速度の印加方向へ可動な状態で支持される可動部材10と、固定部材2と可動部材10とを連結する可撓性を有した梁22と、固定部材2と可動部材10との端部にそれぞれ固定する第1及び第2の緩和部材40、41と、第1及び第2の緩和部材第1及び第2の緩和部材40、41によって両端部を支持された応力感応素子30と、を備えている。固定部材2は応力感応素子30の一端を支持する素子支持部3と、該素子支持部3から側方(X軸方向)へ張出し形成され梁22と連結された張出し部4と、を備えている。さらに、梁22は、第1の可動部材13の開口内部に非接触嵌合された張出し部4の上面と、第1の可動部材の上側片13aの内側面(下面)とを連結するように構成されている。
可動部材10は、梁22を介して固定部材2によって凹部内が支持される略コ字状(凹形状)の第1の可動部材13と、該可動部材13に連結された第2の可動部材12を備えている。梁22は、可動部材10に加速度が印加され、可動部材10を加速度検出軸方向(X軸)へ変位させるように構成されている。また、梁22は、加速度の印加方向と直交する奥行き方向(Y軸)への可動部材10の変位を阻止する形状とする。そして、図4に示すように、第1の可動部材13の形状は、略コ字状の下側片13bを長くし、且つ上側片13aを厚くした構造をしている。これは第1の可動部材13の重心の位置が梁22の支点の位置にくるように構成したためである。また、図4の実施例では梁22の端面の形状として略I字状の例を示したが、2つの半円状を背中合わせした凹状の円弧形状でも、あるいは双曲線状の形状をした例でもよい。
図5は、加速度検知ユニット9の構造を示す図で、図1に示した加速度検知ユニット1の変形実施形態の斜視図である。加速度検知ユニット9が図1に示した加速度検知ユニット1と異なる点は、第2の可動部材14の構造にある。即ち、図5に示すように第2の可動部材14は、重り部14aと、該重り部14aの上面に形成した細幅の連結片14bとを備え、該連結片14bにより、第1の可動部材11に連結されている。連結片14bを設けることにより重り部14aの重心と、梁21の支点との長さを長くすることができる。このため、梁21の支点にはたらくモーメントを大きくすることが可能であり、加速度検知ユニットの感動を高めることができるという特徴を有している。
図6は、本発明に係る加速度センサAの構造を示す斜視図であり、パッケージ50の両側面(X軸方向)と底面以外の側面と上蓋を除いて示している。加速度センサAは、図1に示した加速度検知ユニット1と、パッケージ50と、パッケージ50の側壁50aに設けられて可動部材10を加速度検出軸方向(X軸と平行な方向)と同方向に弾性付勢する弾性付勢部材60と、応力感応素子の電極に接続する図示しない発振器と、を備えている。なお、応力感応素子30の電極に接続される発振器は図示していない。弾性付勢部材60は、ネジ状の金具の中央より先で細くなった部分に、スプリングを取り付け、該スプリングの先端に平板状金具を設けた金具である。パッケージ50の側壁にタップをきった貫通孔に弾性付勢部材60を取り付け、前記平板状金具に接着剤を塗布して可動部材10に押し当て、固定する。弾性付勢部材60のネジ状の金具をドラバー等で回転させることにより、可動部材10に図中左右(加速度方向)の力、つまり、パッケージ50の側壁から離間する方向、又は近接する方向に付勢する力を加えることが可能となる。可動部材10に図中左右の力が加わると、可動部材10の上端に固定された応力感応素子30に圧縮・伸張の応力が加わることになる。伸張あるいは圧縮応力を付加することにより、歪等で設計時の温度からシフトした、応力感応素子30の頂点温度を常温(25℃)近傍に調整することができるようになる。本発明に係る緩和部材40、41により応力感応素子30に及ぼす各種の歪の影響は低減できるが、残った歪に対しては、弾性付勢部材60を調整して、加速度センサAの温度特性を調整することができる。
以上では、図1に示した加速度検知ユニット1を用いて加速度センサを構成した例を説明したが、同様に加速度検知ユニット7、8、9の何れか一つと、パッケージ50と、必要によりパッケージ50の側壁50aに設けた弾性付勢部材60と、を用いてより感度のよい加速度センサを構成することができる。
また、図1に示す固定部材2に、可動部材10を加速度の印加方向と同方向に弾性付勢する弾性付勢部材(図6に示した弾性付勢部材60と同様な部材)を配置して加速度センサを構成することができる。
また、図1に示す固定部材2に、可動部材10を加速度の印加方向と同方向に弾性付勢する弾性付勢部材(図6に示した弾性付勢部材60と同様な部材)を配置して加速度センサを構成することができる。
1、7、8、9 加速度検知ユニット、2 固定部材、3 素子支持部、4 張出し部、5 段差部、10 可動部材、11、13 第1の可動部材、12、14 第2の可動部材、13a 上側片、13b 下側片、14a 重り部、14b 連結片、15 ストッパ、20、21、22 梁、30 応力感応素子、31 固定端、40、41 緩和部材、50 パッケージ、60 弾性付勢部材、A 加速度センサ
Claims (9)
- 加速度の印加によって変位しない固定部材と、可動部材と、該固定部材と該可動部材とを連結する梁と、前記固定部材と前記可動部材にそれぞれ固定した第1及び第2の緩和部材と、応力感応部と該応力感応部を挟むように該応力感応部と連結した2つの固定端とを有する応力感応素子と、を備え、前記第1及び第2の緩和部材によって前記応力感応素子の前記固定端を支持した構成を有し、
前記梁は、前記可動部材に加速度が印加されると前記可動部材を加速度検出軸方向へ変位させるように屈曲可能な可撓性を有する構成であり、
前記第1及び第2の緩和部材は、前記応力感応素子の両固定端と、前記固定部材及び前記可動部材との間に生じる歪を緩和するものであることを特徴とする加速度検知ユニット。 - 加速度の印加によって変位しない固定部材と、可動部材と、該固定部材と該可動部材とを連結する梁と、前記固定部材と前記可動部材の各端部にそれぞれ固定した第1及び第2の緩和部材と、応力感応部と該応力感応部を挟むように該応力感応部と連結した2つの固定端とを有する応力感応素子と、を備え、前記第1及び第2の緩和部材によって前記応力感応素子の前記固定端を支持した構成を有し、
前記可動部材は、前記梁を介して該固定部材によって凹部内が支持される略コ字状の第1の可動部材と、前記第1の可動部材に固定された第2の可動部材と、を備え、
前記梁は、前記可動部材に加速度が印加されると前記可動部材を加速度検出軸方向へ変位させるように屈曲可能な可撓性を有する構成であり、
前記第1及び第2の緩和部材は、前記応力感応素子の両端部と、前記固定部材及び前記可動部材との間に生じる歪を緩和するものであることを特徴とする加速度検知ユニット。 - 前記応力感応素子は、固定端、及び各固定端間を連設する振動領域を備えた圧電基板と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えていることを特徴とする請求項1、又は2に記載の加速度検知ユニット。
- 前記応力感応素子は、固定端、及び各固定端間を連設する2つの振動ビームを備えた圧電基板と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子であることを特徴とする請求項1、又は2に記載の加速度検知ユニット。
- 前記応力感応素子と前記緩和部材は、水晶材料を用いて構成されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の加速度検知ユニット。
- 請求項3または5に記載された加速度検知ユニットと、該加速度検知ユニットを内部に収容して気密的に封止するパッケージと、前記応力感応素子を構成する励振電極と電気的に接続される発振回路と、を備えたことを特徴とする加速度センサ。
- 前記パッケージの側壁に、前記可動部材を加速度の印加方向と同方向に弾性付勢する弾性付勢部材を配置したことを特徴とする請求項6に記載の加速度センサ。
- 前記固定部材に、前記可動部材を加速度の印加方向と同方向に弾性付勢する弾性付勢部材を配置したことを特徴とする請求項6に記載の加速度センサ。
- 前記弾性付勢手段は、前記可動部材を前記パッケージ側壁、又は前記固定部材から離間する方向、又は近接する方向に付勢することを特徴とする請求項7、又は8に記載の加速度センサ。
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JP2007002036A JP2008170203A (ja) | 2007-01-10 | 2007-01-10 | 加速度検知ユニット、及び加速度センサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101299729B1 (ko) * | 2012-05-29 | 2013-08-22 | 삼성전기주식회사 | 센서 |
CN116148499A (zh) * | 2023-04-20 | 2023-05-23 | 中北大学 | 一种力反馈高灵敏moems集成加速度传感器 |
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-
2007
- 2007-01-10 JP JP2007002036A patent/JP2008170203A/ja not_active Withdrawn
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