JP2008170166A - 加速度検知ユニット、及び加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】応答速度が速く、高感度、高安定性で、しかも温度特性のよい加速度検知ユニット及び加速度センサを得る。
【解決手段】加速度印加によって変位しない固定部材と、該固定部材によって加速度印加方向へ可動な状態で支持される可動部材と、該固定部材と該可動部材とを連結する可撓性を有した梁と、前記固定部材と前記可動部材とによって両端部を支持された応力感応素子と、を備え、前記梁は、前記可動部材に加速度が印加され、前記応力感応素子に伸張・圧縮応力が加わる場合に前記可動部材を加速度印加方向へ変位させるように加速度検知ユニットを構成する。
【選択図】図1
【解決手段】加速度印加によって変位しない固定部材と、該固定部材によって加速度印加方向へ可動な状態で支持される可動部材と、該固定部材と該可動部材とを連結する可撓性を有した梁と、前記固定部材と前記可動部材とによって両端部を支持された応力感応素子と、を備え、前記梁は、前記可動部材に加速度が印加され、前記応力感応素子に伸張・圧縮応力が加わる場合に前記可動部材を加速度印加方向へ変位させるように加速度検知ユニットを構成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、加速度センサに関し、特に圧電振動子の共振周波数変化から加速度を検出する種類の加速度検知ユニット、及び加速度センサに関する。
加速度センサは従来から自動車、航空機、ロッケットから各種プラントの異常振動監視等まで、広く使用されている。特許文献1に図5の斜視図に示すような力感知装置100が開示されている。固定部材110と、該固定部材110の先に取り付けられた可撓蝶番(ピポット)120と、該可撓蝶番120に直交して取り付けられた力伝達部材130と、を一体的に形成した機能部材を構成する。固定部材110の基底の端部111と、力伝達部材130の一方の端部131との間に双音叉型圧電振動子140を差し渡して接着固定している。力伝達部材130の他方の端部に力Fが印加されると、可撓蝶番(ピポット)120の中心を支点とするモーメントが生じ、双音叉型圧電振動子140に伸張あるいは圧縮応力が加わる。双音叉型圧電振動子140に応力が印加されるとその応力に応じて双音叉型圧電振動子140の共振周波数が変化し、該周波数の変化から応力の大きさを検知する。
また、特許文献2には図6の斜視図に示すような半導体加速度センサが開示されている。図6に示す半導体加速度センサは、方形状に形成されたシリコン単結晶基板(以下、Si基板という)150の面内に周縁部に沿った略C字状スリット状に空隙部151を貫通形成し、空隙部151の内側部を重り部160、その外側部をSi基板枠部152とし、重り部160とSi基板枠部152とは片持梁部161で連結されている。片持梁部161の2箇所にボロン等の3族元素を熱拡散あるいはイオン注入してゲージ抵抗170、171を形成すると共に、片持梁部161の近傍のSi基板枠部152にも同様にゲージ抵抗172、173を形成する。4つのゲージ抵抗170〜173をゲージ抵抗170と171とが対辺となるようにブリッジ接続回路を構成する。
図6に示すように矢印方向から加速度αが印加されると、印加された方向に重り部160が偏位し、片持梁部161は撓む。片持梁部161に設けたゲージ抵抗170、171は各々引っ張り応力を受け、この応力に応じて抵抗値が変化し、ブリッジ回路の出力端から加わった加速度の大きさに応じた出力電圧が得られると開示されている。
特許文献1以外に圧電振動子(例えば、水晶振動子)に応力を加えることによって共振周波数が変化する性質を利用した加速度センサが各種実用化され、公開特許公報、文献等に数多く公開されている。例えば、非特許文献1には双音叉水晶振動子の構造、外力が無いときの共振周波数式、外力が印加されたときの共振周波数式、印加された力と共振周波数の関係、水晶圧力センサ用発振回路、双音叉水晶振動子を用いた圧力センサ等が詳しく開示されている。
特許文献3には図7に示すような圧力センサが開示されている。図7(a)は圧力センサ180の概略平面透視図、同図(b)はQ−Qにおける概略断面図である。圧力センサ180は上部のダイヤフラム190と、該ダイヤフラム190と対向する下部のダイヤフラム200と、双音叉圧電振動子210とを備えている。上部ダイヤフラム190は円形であり、中央部の下面に円形の凹陥部191が形成されている。下部ダイヤフラム200も円形であり中央部の上面に力伝達用の2つの支柱202と、該力伝達用の2つの支柱202の近傍に2つの載置部203、204とを設け、これらの周囲に円形の凹陥部201が形成されている。凹陥部191、201同士は上下対向するように形成されている。双音叉圧電振動子210には応力感度のよい双音叉水晶振動子を用い、双音叉水晶振動子210の両基端部が載置部203、204に搭載され、接着剤で固定される。
支柱202を介して双音叉水晶振動子210に応力が加えられた場合の応力と周波数変化との関係は、図8に示すように略直線となる。双音叉水晶振動子に応力が加えられないときの双音叉水晶振動子の共振周波数をf0とし、双音叉水晶振動子に伸張応力が加わると共振周波数はf0より高くなり、圧縮応力が加わると共振周波数はf0より減少し、印加応力と共振周波数との関係は略直線となると開示されている。
特開昭57−113335号公報
特開平1−259264号公報
特開2004−132913公報
栗原正雄、外3名,「双音叉振動子を用いた水晶圧力センサ」,東洋通信機技報,東洋通信機株式会社,1990年,No.46,p.1−8
しかしながら、特許文献1に記載されているように、可撓蝶番に直交して取り付けられた力伝達部材の構造では、力Fに対し可撓蝶番が撓みにくく、微細な力の検出が難しいという問題があった。また、特許文献2に記載の半導体加速度センサでは、梁が数ミクロン撓んでから加速度が検出されるので、梁が大きく撓むまでの時間を必要とする分、検出までに時間がかかるという問題と、加速度αが瞬間的に変化するような場合では梁が加速度αの変化に追従するよう大きく撓むことができないので高い周波数の応答(高感度検知)が難しいという問題があった。さらに、半導体にボロン等の3族元素を熱拡散あるいはイオン注入して形成するゲージ抵抗のピエゾ抵抗は温度特性が悪く、また抵抗値の変化量が小さいので、加速度の精密な測定ができないという問題があった。
本発明は上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、微細な加速度も検出できる高感度、高安定性で、しかも温度特性のよい加速度検知ユニット、及び加速度センサを提供することにある。
本発明は上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、微細な加速度も検出できる高感度、高安定性で、しかも温度特性のよい加速度検知ユニット、及び加速度センサを提供することにある。
本発明は、高応答速度、高感度、高再現性で、しかも温度特性のよい加速度検知ユニットと加速度センサを得るため、加速度の印加によって変位しない固定部材と、前記固定部材に梁にて支持される可動部材と、応力感応部と該応力感応部を挟むように該応力感応部と連結した2つの固定端とを有する応力感応素子と、を備え、前記応力感応素子が、前記固定部材に一方の固定端を支持されると共に、前記可動部材に他方の固定端を支持されたものであり、前記梁は、前記可動部材に加速度が印加されると前記可動部材を加速度検出軸方向へ変位させるように屈曲可能な可撓性を有する加速度検知ユニットを構成する。
このように加速度検知ユニットを構成することにより、重量のある可動部材が梁により容易に撓み、変換された応力(加速度×質量)を応力感応素子に印加できるので、高応答速度で、感度の良好な加速度検知ユニットを構成することができる。
このように加速度検知ユニットを構成することにより、重量のある可動部材が梁により容易に撓み、変換された応力(加速度×質量)を応力感応素子に印加できるので、高応答速度で、感度の良好な加速度検知ユニットを構成することができる。
前記固定部材は前記応力感応素子の一端を支持する素子支持部と、該素子支持部から前記応力感応素子の張出し方向と平行する側方へ張出し形成され上面に前記梁を備えた張出し部と、を備え、前記梁は、前記可動部材を支持するように構成する。
このように機能部材を構成することにより、可動部材が梁により容易に撓み、加速度をすばやく応力に容易に変換することが可能となる。
このように機能部材を構成することにより、可動部材が梁により容易に撓み、加速度をすばやく応力に容易に変換することが可能となる。
前記梁は、前記可動部材の重心線上の位置を支持するよう加速度検知ユニットを構成する。
このように機能部材を構成することにより、可動部材がある方向に撓んだ場合に他の方向に撓みの影響が生ずることが無く、精度のよい加速度検出が可能となる。
このように機能部材を構成することにより、可動部材がある方向に撓んだ場合に他の方向に撓みの影響が生ずることが無く、精度のよい加速度検出が可能となる。
前記梁は、前記加速度検出軸方向と直交する奥行き方向への前記可動部材の変位を阻止する形状を有するように構成する。
このように梁の形状を構成することにより、梁と直交する方向には撓むが、梁方向に撓むことは無く、所定方向の加速度を精度よく測定できるという効果がある。
このように梁の形状を構成することにより、梁と直交する方向には撓むが、梁方向に撓むことは無く、所定方向の加速度を精度よく測定できるという効果がある。
前記梁の奥行き方向の寸法は、前記加速度検出軸方向の前記梁の幅の寸法以上の長さを有するように構成する。
このように梁を構成することにより、測定すべき加速度の範囲に応じて最適な梁の奥行き寸法を設定することが可能となる。
このように梁を構成することにより、測定すべき加速度の範囲に応じて最適な梁の奥行き寸法を設定することが可能となる。
前記応力感応素子は、2つの前記固定端、及び各固定端間を連設する振動領域を備えた圧電基板からなる応力感応部と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた圧電振動素子を用いて加速度検知ユニットを構成する。
このように応力感応素子に圧電振動素子を用いることにより、応答速度、応力感度、再現性等が向上すると共に、温度特性が改善されるという効果がある。
このように応力感応素子に圧電振動素子を用いることにより、応答速度、応力感度、再現性等が向上すると共に、温度特性が改善されるという効果がある。
前記応力感応素子は、2つの前記固定端、及び各固定端間を連設する2つの振動ビームを備えた圧電基板からなる応力感応部と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子を用いて加速度検知ユニットを構成する。
このように応力感応素子に双音叉型圧電振動素子を用いることにより、双音叉型圧電振動素子を接着、固定する際の感度への影響が減少し、応答速度、応力感度、再現性等が大幅に向上すると共に、温度特性が改善されるという効果がある。
このように応力感応素子に双音叉型圧電振動素子を用いることにより、双音叉型圧電振動素子を接着、固定する際の感度への影響が減少し、応答速度、応力感度、再現性等が大幅に向上すると共に、温度特性が改善されるという効果がある。
請求項1乃至7に記載された加速度検知ユニットと、該加速度検知ユニットを内部に収容して気密的に封止するハウジングと、前記応力感応素子を構成する励振電極と電気的に接続される発振回路と、を備えた加速度センサを構成する。
このように加速度センサを構成することにより、周囲の環境条件に対応でき、応答速度、応力感度、再現性等が大幅に向上すると共に、温度特性が改善されるという効果がある。
このように加速度センサを構成することにより、周囲の環境条件に対応でき、応答速度、応力感度、再現性等が大幅に向上すると共に、温度特性が改善されるという効果がある。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る加速度検知ユニット1の構成を示す斜視図であって、加速度の印加によって変位しない固定部材2と、該固定部材2によって加速度印加方向(加速度検出軸方向)へ可動な状態で支持される可動部材10と、固定部材2と可動部材10とを連結する可撓性を有した梁20と、固定部材2と可動部材10とによって両端の固定端を夫々支持された応力感応素子30と、を備えている。梁20は、加速度検知ユニット1に加速度検出軸方向であるX軸方向(図1の左下端に示す)の加速度が印加された場合、可動部材10を介して応力感応素子30に伸張・圧縮応力(加速度×質量)が加わるよう、可動部材10を加速度印加方向(X軸)へ変位させるように屈曲可能に構成される。なお、固定部材2、可動部材10、梁20は真鍮、アルミニウム、リン青銅等の金属材料を機械加工して一体的に構成されている。
直方体状の固定部材2は応力感応素子30の一端を支持する素子支持部3と、該素子支持部3から応力感応素子30の張出し方向と平行する側方へ(X軸方向)張出し形成され上面に梁20を備えた張出し部4と、を備え、梁20は可動部材10の底部を支持するように構成される。そして、素子支持部3の図中上端隅には応力感応素子30を素子支持部3に固定する際に所定の位置に固定できるように、応力感応素子30の幅(Y軸)及び厚さ(Z軸)寸法と同程度の段差部5を形成する。該段差部5のX軸方向の寸法は、応力感応素子30の振動を妨げないように応力感応素子30の固定端の長さ(X軸方向)と同程度とする。
固定部材2の張出し部4と可動部材10とを連結する梁20は、加速度が印加されない時には張出し部4の上面に対して直交した姿勢を維持し、X軸方向への加速度が印加された時には梁20の中央部に在る支点(くびれ部)21を中心として横方向(X軸方向)へ撓み、加速度印加方向(X軸)と直交する奥行き方向(Y軸)への可動部材10の変位を阻止する形状とする。図1では端面の形状がなだらかな双曲線状の梁20を図示しているが、端面の形状が機械加工に適した2つの半円状を背中合わせした凹状の円弧形状であってもよい。また、図2の側面図に示すように可動部材10の底部と、張出し部4の上部の何れか一方をテイパー状に加工し、梁20は薄い直方体であってもよい。要は可動部材10が常に一定の支点で撓むような形状であればよい。
また、梁20の奥行き方向(Y軸方向)寸法は、可動部材10が加速度印加方向と直交する方向に変形することがないように構成すればよく、梁の奥行き方向(Y軸方向)の寸法を梁の幅方向(X軸方向)の寸法よりも長くした構成を有していれば例えば可動部材10の奥行き方向(Y軸方向)全長と同等か、該奥行き方向全長よりも短いか、或いは該奥行き方向よりも長い場合のいずれでもよい。
また、梁20の奥行き方向(Y軸方向)寸法は、可動部材10が加速度印加方向と直交する方向に変形することがないように構成すればよく、梁の奥行き方向(Y軸方向)の寸法を梁の幅方向(X軸方向)の寸法よりも長くした構成を有していれば例えば可動部材10の奥行き方向(Y軸方向)全長と同等か、該奥行き方向全長よりも短いか、或いは該奥行き方向よりも長い場合のいずれでもよい。
直方体状の可動部材10の上部で奥行き方向(Y軸方向)の一端部に応力感応素子30を所定の位置で位置決めするためのストッパ11を形成すると共に、応力感応素子30の振動を妨げないように、応力感応素子30の振動ビーム32の下部に当たる可動部材10の上端を研削し、応力感応素子30の振動ビーム32と可動部材10の上端との間に段差部12を形成する。
また、可動部材10は、張出し部4の奥行き方向(Y軸)の一端寄りに偏位した領域を占め、可動部材10の奥行き方向(Y軸)の一側面と張出し部4の奥行き方向の一端縁との間には空隙を設けるように構成する。これは加速度検知ユニット1をハウジングの内壁に取り付け、加速度センサを構成し、該加速度センサを横置きして用いる際にハウジング内壁と可動部材10とが干渉しないようにするための空隙である。
また、可動部材10は、張出し部4の奥行き方向(Y軸)の一端寄りに偏位した領域を占め、可動部材10の奥行き方向(Y軸)の一側面と張出し部4の奥行き方向の一端縁との間には空隙を設けるように構成する。これは加速度検知ユニット1をハウジングの内壁に取り付け、加速度センサを構成し、該加速度センサを横置きして用いる際にハウジング内壁と可動部材10とが干渉しないようにするための空隙である。
応力感応素子30は、固定部材2の素子支持部3上面に形成された段差部5と、可動部材10の上面及びストッパ11との間に差し渡して配置されている。応力感応素子30としては、両端部に位置する固定端31、及び各固定端間を連設する2つの振動ビーム32を備えた圧電基板と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子を用いると応力感度が優れ、検出の応答速度が速いという特徴を有する。特に水晶材料を用いて双音叉型圧電振動素子(双音叉型水晶振動素子)構成すると、周波数の温度特性、周波数安定性、応力感度が優れた加速度検知ユニットが構成できる。
本実施形態では、応力感応素子として2つの固定端31の間に固定端31と連結するよう応力感応部である2本の振動ビーム32を備えた双音叉型水晶振動素子を用いている。双音叉型水晶振動素子は伸張・圧縮応力に対する感度が良好であり、高度計用、或いは深度計用の応力感応素子として使用した場合には分解能力が優れるために僅かな気圧差から高度差、深度差を知ることができる。
双音叉型水晶振動素子の2本の振動ビームに外力Fを加えたときの共振周波数fFは以下の如くである。
双音叉型水晶振動素子の2本の振動ビームに外力Fを加えたときの共振周波数fFは以下の如くである。
図3は加速度センサ40の側面図であり、図1に示したような加速度検知ユニット1をX軸の回りで90°回転させ、ハウジング50の内部に収容して構成した加速度センサである。図1に示した部位と同じ部位には同符号を用いて表す。加速度検知ユニット1をハウジング50の内壁に固定したうえ、双音叉型水晶振動素子30の固定端31に設けたパッド電極33と、発振回路を形成した基板60の端子電極とをボンディングワイヤ65にて接続し、金属蓋51をハウジング50に被せてハウジング50を気密的に封止する。発振回路の基板60とハウジング50の端子電極52とは電気的に導通している。なお、基板60を固定部材2寄りに設けると、固定部材2側の固定端31に双音叉型水晶振動素子30のパット電極33を配置し、基板60の端子電極とパッド電極33とをボンディングワイヤ65にて接続できる。
これにより固定部材3が加速度の印加に対して変位しないことからボンディングワイヤ65が屈曲することが無いのでボンディングワイヤ65の断線を防止することができる。
これにより固定部材3が加速度の印加に対して変位しないことからボンディングワイヤ65が屈曲することが無いのでボンディングワイヤ65の断線を防止することができる。
図4は、図1に示したような加速度検知ユニット1から応力感応素子30を取り除いた状態を示す斜視図であり、金属ブロックから機械加工により一体的に形成した機能ブロックの斜視図である。加速度印加によって変位しない固定部材2と、該固定部材2によって加速度印加方向へ可動な状態で支持される可動部材10と、固定部材2と可動部材10とを連結する可撓性を有した梁20と、を備えている。可動部材10が直方体であればその重心Gは、可動部材10のX、Y、Zそれぞれの面の中心を結ぶ位置になるが、可動部材10にストッパ11や、段差部12を形成することにより、重心Gは元に位置からシフトする。そこで、図4に示す形状の可動部材10の重心Gを計算し、該重心Gより張出し部4に垂線を下ろし、該垂線と張出し部4との交点に沿って梁20を設けるようにする。このように重心Gの真下(重心線上の位置)に梁20を設けることにより、可動部材10にX軸方向の加速度が加わり、可動部材10が梁20の支点を中心として撓んでもY方向、Z方向に不要な撓みが生じることは無い。尚、重心Gより張出し部4に下ろした垂線(重心線)と加速度印加方向とは直交する関係である。
1 加速度検知ユニット、2 固定部材、3 素子支持部、4、4a 張出し部、5、12 段差部、10 可動部材、11 ストッパ、20、20a 梁、21 支点、30 応力感応素子、31 固定端、32 振動ビーム、40 加速度センサ、50 ハウジング、51 金属蓋、52 端子電極、60 基板、65 ボンディングワイヤ、G 重心
Claims (8)
- 加速度の印加によって変位しない固定部材と、前記固定部材に梁にて支持される可動部材と、応力感応部と該応力感応部を挟むよう該応力感応部と連結した2つの固定端とを有する応力感応素子と、を備え、前記応力感応素子が、前記固定部材に一方の固定端を支持されると共に前記可動部材に他方の固定端を支持されたものであり、
前記梁は、前記可動部材に加速度が印加されると前記可動部材を加速度検出軸方向へ変位させるよう屈曲可能な可撓性を有する構成であることを特徴とする加速度検知ユニット。 - 前記固定部材は前記応力感応素子の一方の固定端を支持する素子支持部と、該素子支持部から前記応力感応素子の張出し方向と平行する側方へ張出し形成され上面に前記梁を備えた張出し部と、を備え、
前記梁は、前記可動部材を支持していることを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。 - 前記梁は、前記可動部材の重心線上の位置を支持していることを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。
- 前記梁は、前記加速度検出軸方向と直交する奥行き方向への前記可動部材の変位を阻止する形状を有していることを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。
- 前記梁の奥行き方向の寸法は、前記加速度検出軸方向の前記梁の幅の寸法以上の長さを有することを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。
- 前記応力感応素子は、2つの前記固定端、及び各固定端間を連設する振動領域を備えた圧電基板からなる応力感応部と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた圧電振動素子であることを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。
- 前記応力感応素子は、2つの前記固定端、及び各固定端間を連設する2つの振動ビームを備えた圧電基板からなる応力感応部と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子であることを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。
- 請求項1乃至7に記載された加速度検知ユニットと、該加速度検知ユニットを内部に収容して気密的に封止するハウジングと、前記応力感応素子を構成する励振電極と電気的に接続される発振回路と、を備えたことを特徴とする加速度センサ。
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Cited By (1)
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CN113959479A (zh) * | 2021-10-20 | 2022-01-21 | 中国科学院地理科学与资源研究所 | 一种基于树干摆动加速度的活立木物候监测装置与方法 |
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- 2007-01-09 JP JP2007001103A patent/JP2008170166A/ja not_active Withdrawn
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CN113959479A (zh) * | 2021-10-20 | 2022-01-21 | 中国科学院地理科学与资源研究所 | 一种基于树干摆动加速度的活立木物候监测装置与方法 |
CN113959479B (zh) * | 2021-10-20 | 2024-04-26 | 中国科学院地理科学与资源研究所 | 一种基于树干摆动加速度的活立木物候监测装置与方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100406 |