JP2008197031A - 加速度検知ユニット及び加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速度の印加によって変位しない固定部材5と、第1及び第2の可動部材20、21と、第1及び第2の梁10、11と、第1及び第2の応力感応素子30、40と、を備え、第1の応力感応素子30の一方の固定端31は固定部材5の一方端に支持されると共に、他方の固定端32は第1の可動部材20に支持される。また第2の応力感応素子40の一方の固定端は固定部材5の他方端に支持され、第2の応力感応素子40の他方の固定端は第2の可動部材21に支持される。第1及び第2の梁10、11は、第1及び第2の可動部材20、21に加速度が印加されると、第1及び第2の可動部材20、21を加速度検出軸方向へ変位させるよう屈曲可能な可撓性を有する。
【選択図】図1
Description
またX軸方向に加速度α2が加わると、支柱110は重り120からMα2の力を受けて撓み、振動梁150、151の一方は圧縮、他方は引張りの力を受け、固有振動数は加速度の大きさに応じて変化する。
加速度に応じて変化した振動梁150、151のそれぞれの周波数f1、f2は加算器170及び減算器180に入力され、加算された(f1+f2)の出力がZ方向の、減算された(f1−f2)がX方向の加速度に関連した出力となることが開示されている。
本発明は上記問題を解決するためになされたもので、2つの可動部材の機械的結合が生じない加速度検知ユニット及び加速度センサを提供する。また温度特性が良好で測定精度の高い加速度検知ユニット及び加速度センサを提供することにある。
また本発明の加速度検知ユニットは、第1の応力感応素子は、一方の固定端を第1の可動部材の端部上面に、他方の固定端を固定部材の一方の端部の上面に固定され、第2の応力感応素子は、一方の固定端を第2の可動部材の端部下面に、他方の固定端を固定部材の他方の端部の下面に固定されている。このような本発明によれば、2つの応力感応素子が平行になるので、加速度に対する周波数の変化量の絶対値をほぼ等しくすることができる。
また本発明の加速度検知ユニットは、第1及び第2の梁は、加速度検出軸方向と直交する奥行き方向への第1及び第2の可動部材の変位を阻止する形状を有している。このような本発明によれば、加速度検出軸方向と直交する奥行き方向の加速度成分の検出を小さく抑えることができる。
また本発明の加速度検知ユニットは、第1及び第2の応力感応素子は、2つの固定端、及び各固定端間を連設する2つの振動ビームを備えた圧電基板からなる応力感応部と、圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子である。このような本発明によれば、応力−周波数変化特性が直線であるため、加速度検出感度が一段と良くなると共に、温度特性が二次曲線を呈するので改善され、その上再現性が良くなるという効果がある。
また本発明の加速度センサは、本発明の加速度検知ユニットを備えたことを特徴とする。このような本発明によれば、熱膨張による加速度測定精度への影響を少なくすることができると共に、可動部材、梁、固定部材間の音響結合を減少させることができるという効果と、応力感応素子に双音叉型水晶振動素子を用いるので、加速度測定感度、精度、再現性、温度特性が改善されるという効果がある。
図1は本発明に係る加速度検知ユニットの構成を示す斜視図である。
この図1に示す加速度検知ユニット1は、加速度の印加によって変位しない固定部材5と、第1及び第2の可動部材20、21と、固定部材5に第1及び第2の可動部材20、21を夫々支持する第1及び第2の梁10、11と、応力感応部とこの応力感応部を挟むよう応力感応部と連結された2つの固定端をそれぞれ有する第1及び第2の応力感応素子30、40と、を備えている。
第1の応力感応素子30の一方の固定端31は、例えば柱状の固定部材5の一方端に支持されると共に、他方の固定端32は、第1の可動部材20に支持される。
また第2の応力感応素子40の一方の固定端(図示しない)は固定部材5の他方端に支持され、第2の応力感応素子40の他方の固定端(図示しない)は第2の可動部材21に支持される。
第1及び第2の梁10、11は、第1及び第2の可動部材20、21のそれぞれほぼ中央側面に固定される共に、第1の可動部材20の端部上面20aが固定部材5の端部の上面5aと、第2の可動部材21の端部下面21aが固定部材5の端部の下面5bと、それぞれ平行となる固定部材5の側面の位置に固定される。つまり、第1及び第2の梁10、11は共に主面がXY平面に平行に取り付けられている。
第1の応力感応素子30の固定端31は、固定部材5の一方の端部の上面5aに固定され、他方の固定端32は第1の可動部材20の端部上面20aに固定される。さらに、第2の応力感応素子40の一方の固定端(図示しない)は、固定部材5の他方の端部の下面5bに固定され、他方の固定端(図示しない)は、第2の可動部材21の端部下面21aに固定される。つまり、第1及び第2の応力感応素子30、40は、互いに平行して両固定端が固定されている。
第1及び第2の梁10、11は、加速度検出軸方向(Z軸方向)と直交する奥行き方向への第1及び第2の可動部材10、11の変位を阻止するように、第1及び第2の梁10、11のY軸方向の幅が幅広の形状に形成されている。
また第1及び第2の梁10、11の奥行き方向(Y軸方向)の寸法は、加速度検出軸方向(Z軸方向)の第1及び第2の梁10、11の幅の寸法以上の長さを有するように形成されている。
また第1及び第2の応力感応素子30、40は、それぞれ2つの固定端31、32及び41、42と、これら固定端31、32及び41、42間を連設するそれぞれ2つの振動ビームを備えた圧電基板からなる応力感応部と、この圧電基板の振動領域上に形成した励振電極とを備えた双音叉型圧電振動素子によって形成されている。
双音叉型水晶振動素子の2本の振動ビームに外力Fを加えたときの共振周波数fFは以下の如くである。
[数1]
ここで、f0は外力がないときの双音叉型水晶振動素子の共振周波数、Kは基本波モードによる定数(=0.0458)、Lは振動ビームの長さ、Eは縦弾性定数、Iは断面2次モーメントである。断面2次モーメントIはI=dw3/12より、式(1)は次式のように変形することができる。ここで、dは振動ビームの厚さ、wは幅である。
[数2]
但し、応力感度SFと、応力σとはそれぞれ次式で表される。
[数3]
[数4]
ここで、Aは振動ビームの断面積(=w・d)である。
加速度センサは、上記第1及び第2の応力感応素子(双音叉型水晶振動素子)を有する加速度検知ユニットと、この加速度検知ユニットを内部に収容して気密的に封止するハウジングと、第1及び第2の応力感応素子を構成する励振電極と電気的に接続される2つの発振回路と、減算回路と、を組み立て接続することにより構成することができる。
例えば、加速度が図1のZ軸(加速度検出軸方向)の矢印方向に加えられたとする。この場合、第1の応力感応素子30には圧縮応力が、第2の応力感応素子40には伸張応力が加わることになり、共振周波数がそれぞれf1、f2からF1、F2に変化する。この周波数F1、F2をミキサ60にて混合し、その出力を、ローパスフィルタを通して出力することにより、(F1−F2)の周波数を取り出すことができ、X軸、Y軸方向の加速度成分を分離し、Z軸方向の成分のみを測定することができる。
Claims (7)
- 加速度の印加によって変位しない固定部材と、第1及び第2の可動部材と、前記固定部材に前記第1及び第2の可動部材を夫々支持する第1及び第2の梁と、応力感応部と該応力感応部を挟むよう該応力感応部と連結された2つの固定端をそれぞれ有する第1及び第2の応力感応素子と、を備え、
前記第1の応力感応素子は、一方の固定端が前記固定部材の一方の端部に支持されると共に、他方の固定端が前記第1の可動部材に支持されたものであり、
前記第2の応力感応素子は、一方の固定端が前記固定部材の他方の端部に支持されると共に、他方の固定端が前記第2の可動部材に支持されたものであり、
前記第1及び第2の梁は、前記第1及び第2の可動部材に加速度が印加されると前記第1及び第2の可動部材を加速度検出軸方向へ変位させるよう屈曲可能な可撓性を有することを特徴とする加速度検知ユニット。 - 前記第1及び第2の梁には、少なくとも1つ括れ部が設けられていることを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。
- 前記第1の応力感応素子は、一方の固定端を前記第1の可動部材の端部上面に、他方の固定端を前記固定部材の一方の端部の上面に固定され、
前記第2の応力感応素子は、一方の固定端を前記第2の可動部材の端部下面に、他方の固定端を前記固定部材の他方の端部の下面に固定されたことを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。 - 前記第1及び第2の梁は、前記加速度検出軸方向と直交する奥行き方向への前記第1及び第2の可動部材の変位を阻止する形状を有していることを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。
- 前記第1及び第2の梁の奥行き方向の寸法は、前記加速度検出軸方向の前記第1及び第2の梁の幅の寸法以上の長さを有することを特徴とする請求項1に係る加速度検知ユニット。
- 前記第1及び第2の応力感応素子は、2つの前記固定端、及び各固定端間を連設する2つの振動ビームを備えた圧電基板からなる応力感応部と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の加速度検知ユニット。
- 請求項1乃至6の何れか1項に記載の加速度検知ユニットを備えたことを特徴とする加速度センサ。
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JP2007034378A JP2008197031A (ja) | 2007-02-15 | 2007-02-15 | 加速度検知ユニット及び加速度センサ |
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2007
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