JP2010071714A - 振動型センサ - Google Patents

Abstract

【課題】センサに加わる衝撃などによって振動片に生じる応力集中を防止することによって、振動片の破損を防止し、耐衝撃性の優れた振動型センサを提供する。
【解決手段】所定の共振周波数にて平面方向に屈曲振動する梁状の振動腕１５，１６と、振動腕１５，１６の一方の端部から順に、第１基部１２、第１くびれ部８、第１支持部１７が形成され、他方の端部から順に、第２基部１３、第２くびれ部９、第２支持部１８が形成された振動片１１と振動片１１を支持する基台２３と、を有し、振動片１１は、第１支持部１７および第２支持部１８の一主面３１が基台２３と接続されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、加速度などの影響に伴う力が加わることによる圧電振動片の共振周波数の変化を検出する振動型センサに関する。

加えられた加速度などの影響に伴う力を測定する力センサとして、振動型センサが知られている。この振動型センサは、加速度などの影響に伴う力が加わることによって生じる圧電振動片の共振周波数の変化を検出することで力の大きさを検出する（例えば、非特許文献１、特許文献１参照）。

以下に、振動型センサの一例として加速度センサを用い構成を説明する。図６は、従来の加速度センサの概略を示す斜視図である。図６に示すように、加速度センサ５００は、基台１０１に形成された２つの接続台１０２，１０３と、接続台１０２，１０３に接続された振動片１００を有している。振動片１００は、水晶などの圧電材料を用いて形成されており、貫通孔１０４によって分割された振動腕１０５，１０６と、振動腕１０５，１０６の両端部から延設された第１基部１０７、第２基部１０８の２つの基部とが形成されている。

ここで、加速度センサ５００に振動片１００の厚さ方向（Ｐ方向）の加速度が加わる例を用い、加速度の検出動作を簡単に説明する。加速度センサ５００に加速度が加わると、基台１０１は、第２基部１０８側の第２基台部１０１ａが基台１０１に形成されたヒンジ１０９を支点として回転方向に移動するので撓む。加速度センサ５００は、この撓みによって生じる振動腕１０５，１０６の変形による共振周波数の変化を検出することで加えられた加速度の大きさを検出する。このときの検出感度は、式（１）で表されるとおりであり、振動腕の長さｌ（エル）が長いほど良くなることがわかる。

ａ１：支持などにより決定される定数、ｍ：質量、ａ：加速度、Ｅ：弾性定数、ｌ：振動腕の腕長、ｔ：振動片の厚さ、ｗ：振動腕の腕幅。

また、第１基部１０７、第２基部１０８には、振動腕１０５，１０６からの洩れ振動が伝播される。この洩れ振動があると、振動片１００のＱ値が低くなることから共振周波数がばらつき、加速度の検出を高精度に行うことが困難になる。この振動洩れの抑制のため、図７に示すような加速度センサが提案されている（例えば、特許文献２参照）。図７は、加速度センサに用いられる従来の振動片を示す平面図である。

図７に示すように、振動片２００は、１対の振動腕２０５，２０６と、第１基部２０７、第２基部２０８の２つの基部と、第１くびれ部２０９、第２くびれ部２１０と、支持部２１１，２１２と、とが一体的に形成されている。振動腕２０５，２０６は、貫通孔２０４によって分割された２つの梁形状であり、その延伸方向（長手方向）の両端が第１基部２０７および第２基部２０８に延設されている。第１基部２０７および第２基部２０８は、振動腕２０５，２０６の延伸方向に延設されている。第１基部２０７には、第１基部２０７の一部が平面的に幅が狭くなるように両端から溝が切り込まれた第１くびれ部２０９が形成されている。同様に、第２基部２０８には、第２基部２０８の一部が平面的に幅が狭くなるように両端から溝が切り込まれた第２くびれ部２１０が形成されている。なお、振動腕２０５，２０６の延伸方向と直交する方向を幅方向とし、この方向の寸法を幅と称しているさらに、第１基部２０７の一方には、支持部２１１形成され、第２基部２０８の一方には支持部２１２が形成されている。この第１くびれ部２０９および第２くびれ部２１０が形成されることにより、振動腕２０５，２０６の振動が、支持部２１１，２１２に洩れる振動を抑制することが可能となる。

特表平４−５０５５０９号公報（図１） 特開昭６３−２８４４４０号公報（図４） W. C. Albert, "Force sensing using quartz crystal flexure resonators", 38th Annual Frequency Control Symposium 1984, pp233-239

しかしながら、上述した振動片２００を用いた加速度センサでは、第１くびれ部２０９および第２くびれ部２１０の長さＬが短く形成されている。これにより、加速度センサに加わる衝撃などによる応力が第１くびれ部２０９および第２くびれ部２１０に集中し、この部分から振動片２００が破損してしまうことがあり、加速度の検出が不能となるという課題を有していた。特に、図６に示す加速度センサ５００において振動片１００の代わりに図７に示すような振動片２００を適用した場合では、第１基部２０７および第２基部２０８にはＰ方向への曲げの力が加わる。そしてこの曲げ力によって発生した応力は例えば第１基部２０７よりも剛性が低いくびれ部２０９（２つのくびれ部２０９に挟まれた首の部分）に集中しやすい。従って、くびれ部２０９の長さＬが短い場合は、応力が狭い範囲に局地的に集中するので首には大きな折り曲げ力が発生し、更にくびれ部２０９が切口として機能しやすくなることもあり振動片１００が破損してしまう虞がある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するように、以下の形態または適用例として実現される。

［適用例１］本適用例の振動型センサは、表裏に主面を有する第１基部および第２基部と、前記第１基部と前記第２基部との間に梁状に延設され、所定の共振周波数にて振動する振動腕と、前記振動腕の延設方向に直交する方向の幅が前記第１基部より狭く形成され、前記第１基部から延設された第１くびれ部と、前記振動腕の延設方向に直交する方向の幅が前記第２基部より狭く形成され、前記第２基部から延設された第２くびれ部と、前記第１基部と反対方向に前記第１くびれ部から延設された第１支持部と、前記第２基部と反対方向に前記第２くびれ部から延設された第２支持部とを含み、前記第１くびれ部と前記第１基部との前記振動腕の延設方向の寸法比、および前記第２くびれ部と前記第２基部との前記振動腕の延設方向の寸法比が、５０％以上２００％以下である振動片と、前記振動片を支持する基台と、を有し、前記振動片は、前記第１支持部および前記第２支持部の一主面と前記基台とが接続されていることを特徴とする。

本適用例によれば、第１くびれ部と第１基部との振動腕の延設方向の寸法比、および第２くびれ部と第２基部との振動腕の延設方向の寸法比が、５０％以上２００％以下である。即ち、第１くびれ部および第２くびれ部の長さが大きく形成されている。これにより、第１くびれ部および第２くびれ部に衝撃などによる応力が集中することを防止することができるため、振動型センサに衝撃などが加わっても振動片の破損を生じ難くすることが可能となる。従って、耐衝撃性の優れた振動型センサを提供することが可能となる。

［適用例２］上記適用例に記載の振動型センサであって、前記振動腕は、表裏を貫通する貫通孔によって少なくとも２つの梁に分割されていることを特徴とする。

本適用例によれば、少なくとも２つの振動腕が形成されていることから、それぞれの振動腕の共振作用などにより振動腕の振動効率が向上する。これにより、より安定した振動を得ることが可能な振動型センサを提供することが可能となる。

［適用例３］上記適用例に記載の振動型センサであって、前記第１くびれ部と前記第１基部および前記第１支持部との接続と、前記第２くびれ部と前記第２基部および前記第２支持部との接続とが、平面的に曲線形状で行われていることを特徴とする。

本適用例によれば、第１くびれ部および第２くびれ部が他と平面的に曲線形状で接続されていることにより、さらに応力集中を防止することが可能となる。これによって、さらに耐衝撃性を向上させた振動型センサを提供することが可能となる。

［適用例４］上記適用例に記載の振動型センサであって、前記第１支持部および前記第２支持部は、前記振動腕の延設方向と交差する方向に延設された延長部と、前記延長部から前記振動腕に並行するように延設されて開放端を有する固定部とを有しており、前記振動片は、前記固定部を含む前記第１支持部および前記第２支持部の一主面が前記基台に接続されていることを特徴とする。

本適用例によれば、基台と振動片との接続が振動腕からさらに離れた固定部を含む箇所にて行われるため、洩れ振動の小さい箇所で接続することができる。これにより、第１くびれ部および第２くびれ部の効果と合わせてさらに洩れ振動の影響を抑えるとともに耐衝撃性を向上させた信頼性の高い振動型センサを提供することが可能となる。

［適用例５］上記適用例に記載の振動型センサであって、前記基台は、溝状に薄肉となるように形成されたヒンジ部を有しており、前記ヒンジ部を基準として一方側の第１基台に前記第１支持部が接続され、他方側の第２基台に前記第２支持部が接続されていることを特徴とする。

本適用例によれば、溝状のヒンジ部が形成されていることにより、振動片に垂直方向に加わる力のみに撓みを生じさせることができる。これにより、水平方向の力の影響を受け難くさせることができ、必要とする検出軸以外の感度、すなわち他軸感度を小さくすることができる。よって、高精度の振動型センサを提供することが可能となる。

［適用例６］上記適用例に記載の振動型センサであって、前記基台は、第１基台と可撓性を有する接続部によって接続された第２基台と、前記第２基台と可撓性を有する接続部によって接続された第３基台とを有しており、前記第１基台に前記第１支持部が接続され、前記第２基台に前記第２支持部が接続されていることを特徴とする。

本適用例によれば、振動腕の延伸方向の加速度を的確に検出可能な振動型センサを提供することができる。

以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。なお、以下で参照する図は、図示の便宜上、部材あるいは縦横の縮尺については実際のものとは異なる模式図である。

（第１実施形態）
第１実施形態として、振動型センサの一例としての加速度センサを図１に示し説明する。図１は、第１実施形態としての加速度センサの概略を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図である。

図１に示すように、加速度センサ１０は、基台２３と、基台２３に支持された振動片１１とを有している。

振動片１１は、圧電性材料により形成されている。圧電性材料としては、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ₃）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、水晶等を使用することができる。本第１実施形態では、周波数温度特性が優れ、高いＱ値を有する水晶を使用した場合を例示して説明する。

振動片１１（水晶振動片）は、貫通孔１４で分割され、所定の共振周波数にて平面方向に屈曲振動する梁状の振動腕１５，１６を有している。さらに、振動片１１には、振動腕１５，１６の一方の端部から順に、第１基部１２、第１くびれ部８、第１支持部１７が形成され、振動腕１５，１６の他方の端部から順に、第２基部１３、第２くびれ部９、第２支持部１８が形成されている。

第１くびれ部８および第２くびれ部９は、振動腕１５，１６の延設方向（図で示すＹ方向で、以下「Ｙ方向」と略す。）に直交する方向（図で示すＸ方向で、以下「Ｘ方向」と略す。）の幅が第１基部１２および第２基部１３より狭く形成されている。換言すれば、第１くびれ部８および第２くびれ部９は、第１基部１２および第２基部１３の、Ｙ方向に沿った２つの辺から中央に向かって凹んだ形状である。そして、第１くびれ部８および第２くびれ部９の振動腕１５，１６の延設方向の長さ（以下、「くびれ部長さ」と略す。）は、第１基部１２および第２基部１３の振動腕１５，１６の延設方向の長さ（以下、「基部長さ」と略す。）と相関を持って決定される。詳述すれば、くびれ部長さと基部長さの寸法比は、５０％以上２００％以下となるように決定される。

くびれ部長さと基部長さとを、このような寸法比で形成することで、振動腕１５，１６の振動が第１支持部１７、第２支持部１８に洩れることを防止するとともに、第１くびれ部８および第２くびれ部９に衝撃の応力が集中することを防止して振動片１１の破損を防止することが可能となる。

図２に、くびれ長さと基部長さとの寸法比と、くびれ部にかかる応力の大きさとの相関を表すグラフを示し説明する。図２では、横軸にくびれ長さ／基部長さ（％）を示し、縦軸にくびれ部に発生する応力（ＭＰａ）を示している。

図２に示すように、寸法比が小さい範囲では大きな応力が発生しているが、寸法比が大きくなるにつれて急激（２次曲線的に）に応力が減少し、寸法比が５０％程度以上では応力の大きさに変化を生じない。しかしながら、寸法比が大きくなるにつれて基部長さが大きくなることから極端に大きな寸法比を適用することは振動片の小型化を阻害する。そこで求められる小型の加速度センサに用いるためには、寸法比を２００％以下に抑えることが必要となる。

なお、振動片１１をさらに小型化するためには、くびれ部長さと基部長さの寸法比を小さくすることが望ましく、５０％〜１００％とすることがより好ましい。本例においては、第１くびれ部８のくびれ長さＬ１は、第１基部１２の基部長さＢ１との寸法比で８０％程度となるように形成されている。同様に、第２くびれ部９のくびれ長さＬ２は、第２基部１３の基部長さＢ２との寸法比で８０％程度となるように形成されている。

基台２３は、本例では表裏面の双方に幅方向の一端面２５から他端面２６にかけて溝部が形成されたヒンジ部２４が設けられている。そして、基台２３は、ヒンジ部２４を基準として２つの領域を有しており、一方の領域である第１基部１２側の領域に設けられた第１基台２７と、他方の領域である第２基部１３側の領域に設けられた第２基台２８とを有している。そして、第１基台２７が固定台となり、第２基台２８が可動台（カンチレバー部と呼ぶこともある）となる。なお、ヒンジ部２４は、振動腕１５，１６の延設方向の中心より第１基部１２側に片寄った位置に形成されている。また、本例のヒンジ部２４は、表裏面の双方に溝部が形成されているが、いずれか一方の面に溝部が形成されている構成でもよい。

振動片１１は、第１支持部１７の一主面（裏面）３１が第１基台２７に支持され、第２支持部１８の一主面（裏面）３１が第２基台２８に支持されるとともに基台２３に接着剤４２，４３などを用いて固定されている。これにより、基台２３に振動片１１が固定される。なお、図示しない励振電極との接続をとる場合などには導電性の接着剤を用いることも可能である。

ここで、加速度センサ１０における加速度の検出動作について概略を説明する。加速度センサ１０の振動腕１５，１６は、所定の共振周波数で図に示すＸ軸方向（振動片１１の幅方向）に屈曲振動を行っている。この加速度センサ１０に、図に示すＺ方向の加速度が加わると、第１基台２７が固定台として固定されているため質量の大きな第２基台２８は、慣性力によりヒンジ部２４を支点として加速度の方向と逆方向（−Ｚ方向）に向かって移動する。これにより基台２３は撓みを生じる。この撓みにより、第１基台２７と第２基台２８とに固定されている振動片１１（振動腕１５，１６）には、図に示すＹ軸方向に引っ張り応力が加わる。

振動している振動腕１５，１６は、引っ張り応力が発生すると共振周波数は高くなる方向に変化し、圧縮応力が発生すると共振周波数は低くなる方向に変化するため、前述の例では、振動腕１５，１６の共振周波数が高くなる。なお、前述と逆方向の加速度が加わった場合は、第２基台２８も逆方向に向かって移動し（基台２３も逆方向に向かって撓み）振動腕１５，１６の共振周波数が低くなる。この共振周波数の変化量を、検出回路（図示せず）によって検出し、検出された共振周波数を変換回路（図示せず）で電圧に変換して加速度として検出する。このようにして、加速度センサ１０に加えられた加速度を検出することが可能となる。

本実施形態の加速度センサによれば、くびれ部長さと基部長さの寸法比が５０％以上２００％以下の範囲、より好ましくは５０％以上１００％以下で形成された振動片１１を用いている。これにより、振動腕１５，１６の振動が第１支持部１７、第２支持部１８に洩れることを防止するとともに、第１くびれ部８および第２くびれ部９に衝撃の応力が集中することを防止して振動片１１の破損を防止することが可能となる。従って、特性の安定性が高く、且つ耐衝撃性の優れた加速度センサ１０を提供することが可能となる。

（第２実施形態）
第２実施形態として、振動型センサの一例としての加速度センサを図３に示し説明する。図３は、第２実施形態としての加速度センサの概略を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図である。なお、第２実施形態は、前述した第１実施形態の振動片の構成が異なったものであり、基台については第１実施形態と同じであるため同符号をつけて説明を省略する。

図３に示すように、加速度センサ１０は、基台２３と、基台２３に支持された振動片１１とを有している。

振動片１１は、前述の第１実施形態と同様な圧電性材料により形成されている。圧電性材料の説明は省略するが、本第２実施形態においても、周波数温度特性が優れ、高いＱ値を有する水晶を使用している。

振動片１１（水晶振動片）は、所定の共振周波数にて平面方向に屈曲振動する梁状の振動腕１５，１６を有している。さらに、振動片１１には、振動腕１５，１６の一方の端部から順に、第１基部１２、第１くびれ部８、第１支持部１７が形成され、他方の端部から順に、第２基部１３、第２くびれ部９、第２支持部１８が形成されている。加えて、第１支持部１７から図に示すＸ方向の両側に延設された延長部４７と、延長部４７から振動腕１５，１６に並行するように延設されて開放端１９ａ，２０ａを有する固定部１９，２０とが形成されている。また、第２支持部１８から図中Ｘ方向の両側に延設された延長部４８と当該延長部４８から振動腕１５，１６に並行するように延設されて開放端２１ａ，２２ａを有する固定部２１，２２とが形成されている。

第１くびれ部８および第２くびれ部９は、前述した第１実施形態と同様な態様であるので説明を省略する。

くびれ部長さと基部長さとを、このような構成とすることで、第１実施形態と同様に振動腕１５，１６の振動が第１支持部１７、第２支持部１８に洩れることを防止するとともに、第１くびれ部８および第２くびれ部９に衝撃の応力が集中することを防止して振動片１１の破損を防止することが可能となる。

振動片１１は、固定部１９，２０の一主面（裏面）３１が接続領域３２，３４で第１基台２７に支持され、固定部２１，２２の一主面（裏面）３１が接続領域３３，３５で第２基台２８に支持され、接着剤４２，４３などを用いて固定されている。これにより、基台２３に振動片１１が固定される。なお、図示しない励振電極との接続をとる場合などには導電性の接着剤を用いることも可能である。

ここで、図３（ａ）において斜線で示す接続領域３２，３３，３４，３５について説明する。接続領域３２，３４には、延長部４７と固定部１９，２０とが交差する領域が含まれている。また、接続領域３３，３５には、延長部４８と固定部２１，２２とが交差する領域が含まれている。

そして、接続領域３２，３３，３４，３５のそれぞれは、一端が固定部１９，２０，２１，２２の長手方向の中央部にあり、他端が振動腕１５，１６の延設方向に形成されているそれぞれの延長部４７，４８の端部２９，３０まで達している。なお、端部２９，３０は、振動片１１の長手方向における両方の端部でもある。

前述のような接続領域３２，３３，３４，３５によって振動片１１が基台２３に固定されることにより、接続箇所が振動腕１５，１６から離れるため洩れ振動の影響を、第１くびれ部８および第２くびれ部９の効果と併せ、さらに受けにくくすることができる。
また、接続領域３２，３３，３４，３５に、延長部４７と固定部１９，２０とが交差する領域と延長部４８と固定部２１，２２とが交差する領域と延長部４７，４８の端部２９，３０が含まれていることにより、固定の確実性がさらに向上する。さらに、延長部４７、４８においても第１くびれ部８、第２くびれ部９と同様に衝撃等による応力を緩和する効果があることから、さらに耐衝撃性を向上させた加速度センサ１０を提供することが可能となる。

（第３実施形態）
第３実施形態として、振動型センサの一例としての加速度センサを図４に示し説明する。図４は、第３実施形態としての加速度センサの概略を示す平面図である。なお、第３実施形態に用いている振動片は、前述した第１実施形態と同じであるため同符号をつけて説明を省略する。

図４に示すように、加速度センサ１０は、基台２３と、基台２３に支持された振動片１１とを有している。

基台２３は、第１基台２７ａと第２基台２８ａと第３基台２７ｂと可撓性を有する接続部としての板ばね４０，４１とを有している。そして、第１基台２７ａと第２基台２８ａとは、矩形状に折り曲げられて伸縮可能な板ばね４０を介して接続され、第２基台２８ａと第３基台２７ｂとは、矩形状に折り曲げられて伸縮可能な板ばね４１を介して接続されている。なお、本例では、それぞれの基台の接続を伸縮可能な板ばね４０，４１を構成例として説明したが、例えばコイルばね、樹脂などの可撓性を有するもので行うことができる。

振動片１１は、第１支持部１７の図示しない一主面（裏面）が第１基台２７ａに支持され、第２支持部１８の図示しない一主面（裏面）が第２基台２８ａに支持されるとともに接着剤などを用いて固定されている。これにより、基台２３に振動片１１が固定される。

このような構成の加速度センサ１０の第１基台２７ａと第３基台２７ｂとをベース材（図示せず）に固定することにより、第２基台２８ａは、板ばね４０，４１の伸縮で振動腕１５，１６の延伸方向に自在に移動することができる。これにより、振動腕１５，１６の延伸方向の加速度を的確に検出可能な加速度センサを提供することが可能となる。

なお、前述の実施形態で説明した第１くびれ部８、第２くびれ部９は、図５の第１くびれ部の拡大平面図に示すように、第１基部１２の外周線１２ａおよび第１支持部１７の外周線１７ａとの交差部８ａが平面的に曲線形状をなして接続されていることが好ましい。なお、本例では円弧状を示して説明したが、交差角が形成されなければよく、曲線の形状は問わない。また、図では、第１くびれ部８を説明したが、第２くびれ部９においても同様な構成が望ましい。

このように、交差部８ａが平面的に曲線形状をなして接続されていることにより、交差角の部分に集中する応力を防止することができるため、さらに応力集中を防止することが可能となる。これによって、さらに耐衝撃性を向上させた加速度センサ１０を提供することが可能となる。

また、前述では、第１くびれ部８および第２くびれ部９は、第１支持部１７および第２支持部１８に接続する部分に設けられた例で説明したがこれに限らない。例えば、両側を第１基部１２および第２基部１３に挟まれた部分、すなわち、第１基部１２および第２基部１３の中間位置に設けられていてもよい。

また、前述では、振動型センサとして加速度センサを一例として説明したが、例えば、力（ちから）センサ、圧力センサなどに適用することも可能である。

第１実施形態としての加速度センサの概略を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。 くびれ長さと基部長さとの寸法比とくびれ部にかかる応力の大きさとの相関を表すグラフ。 第２実施形態としての加速度センサの概略を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。 第３実施形態としての加速度センサの概略を示す平面図。 第１くびれ部の拡大平面図。 従来の加速度センサの概略を示す斜視図。 従来の加速度センサの振動片を示す平面図。

符号の説明

１０…振動型センサとしての加速度センサ、１１…振動片、１２…第１基部、１３…第２基部、１４…貫通孔、１５，１６…振動腕、１７…第１支持部、１８…第２支持部、２３…基台、２４…ヒンジ部、２７…第１基台、２８…第２基台、３１…一主面（裏面）、４２，４３…接着剤。

Claims (6)

1. 表裏に主面を有する第１基部および第２基部と、前記第１基部と前記第２基部との間に梁状に延設され、所定の共振周波数にて振動する振動腕と、前記振動腕の延設方向に直交する方向の幅が前記第１基部より狭く形成され、前記第１基部から延設された第１くびれ部と、前記振動腕の延設方向に直交する方向の幅が前記第２基部より狭く形成され、前記第２基部から延設された第２くびれ部と、前記第１基部と反対方向に前記第１くびれ部から延設された第１支持部と、前記第２基部と反対方向に前記第２くびれ部から延設された第２支持部とを含み、
   前記第１くびれ部と前記第１基部との前記振動腕の延設方向の寸法比、および前記第２くびれ部と前記第２基部との前記振動腕の延設方向の寸法比が、５０％以上２００％以下である振動片と、
   前記振動片を支持する基台と、を有し、
   前記振動片は、前記第１支持部および前記第２支持部の一主面が前記基台に接続されていることを特徴とする振動型センサ。
2. 請求項１に記載の振動型センサにおいて、
   前記振動腕は、表裏を貫通する貫通孔によって少なくとも２つの梁に分割されていることを特徴とする振動型センサ。
3. 請求項１または請求項２に記載の振動型センサにおいて、
   前記第１くびれ部と前記第１基部および前記第１支持部との接続と、前記第２くびれ部と前記第２基部および前記第２支持部との接続とが、平面的に曲線形状で行われていることを特徴とする振動型センサ。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動型センサにおいて、
   前記第１支持部および前記第２支持部は、前記振動腕の延設方向と交差する方向に延設された延長部と、前記延長部から前記振動腕に並行するように延設されて開放端を有する固定部とを有しており、
   前記振動片は、前記固定部を含む前記第１支持部および前記第２支持部の一主面が前記基台に接続されていることを特徴とする振動型センサ。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動型センサにおいて、
   前記基台は、溝状に薄肉となるように形成されたヒンジ部を有しており、前記ヒンジ部を基準として一方側の第１基台に前記第１支持部が接続され、他方側の第２基台に前記第２支持部が接続されていることを特徴とする振動型センサ。
6. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動型センサにおいて、
   前記基台は、第１基台と可撓性を有する接続部によって接続された第２基台と、前記第２基台と可撓性を有する接続部によって接続された第３基台とを有しており、
   前記第１基台に前記第１支持部が接続され、前記第２基台に前記第２支持部が接続されていることを特徴とする振動型センサ。

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