JP2010071714A5 - - Google Patents
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- 第１支持部と、前記第１支持部と隙間を設けて配置された第２支持部と、
前記第１支持部と前記第２支持部との間にあって前記第１支持部ならびに前記第２支持部と隙間を設けた状態で前記第１支持部側から前記第２支持部側に向かって梁状に延設された振動腕と、
前記第１支持部と前記振動腕との間であって、前記振動腕と隙間を設けた状態で前記第１支持部から前記振動腕に向かって延設された第１くびれ部と、
前記振動腕と前記第２支持部との間であって、前記振動腕と隙間を設けた状態で前記第２支持部から前記振動腕に向かって延設された第２くびれ部と、
前記第１くびれ部と前記振動腕との間であって、前記第１くびれ部と前記振動腕とに連結した第１基部と、
前記第２くびれ部と前記振動腕との間であって、前記第２くびれ部と前記振動腕とに連結した第２基部と、を備え、
前記振動腕が前記第１基部と前記第２基部との間に加えられる応力によって共振周波数が変化するものであり、
前記延設の方向に直交する方向の長さを幅としたとき、
前記第１くびれ部が、前記第１基部の幅よりも狭い幅を備え、
前記第２くびれ部が、前記第２基部の幅よりも幅が狭い幅を備え、
前記延設の方向に沿った前記第１くびれ部の寸法と前記第１基部の寸法との寸法比、および前記延設の方向に沿った前記第２くびれ部の寸法と前記第２基部の寸法との寸法比が、５０％以上２００％以下であることを特徴とする振動片。 - 請求項１に記載の振動片において、
前記第１くびれ部と前記第１基部との接続部分と、前記第１くびれ部と前記第１支持部との接続部分と、前記第２くびれ部と前記第２基部との接続部分、および前記第２くびれ部と前記第２支持部との接続部分とが、平面的に曲線形状であることを特徴とする振動片。 - 第１支持部と、前記第１支持部と隙間を設けて配置された第２支持部と、
前記第１支持部と前記第２支持部との間にあって前記第１支持部ならびに前記第２支持部と隙間を設けた状態で前記第１支持部側から前記第２支持部側に向かって梁状に延設された振動腕と、
前記第１支持部と前記振動腕との間であって、前記振動腕と隙間を設けた状態で前記第１支持部から前記振動腕に向かって延設された第１くびれ部と、
前記振動腕と前記第２支持部との間であって、前記振動腕と隙間を設けた状態で前記第２支持部から前記振動腕に向かって延設された第２くびれ部と、
前記第１くびれ部と前記振動腕との間であって、前記第１くびれ部と前記振動腕とに連結した第１基部と、
前記第２くびれ部と前記振動腕との間であって、前記第２くびれ部と前記振動腕とに連結した第２基部と、を備え、
前記振動腕が前記第１基部と前記第２基部との間に加えられる応力によって共振周波数が変化するものであり、
前記延設の方向に直交する方向の長さを幅としたとき、
前記第１くびれ部が、前記第１基部の幅よりも狭い幅を備え、
前記第２くびれ部が、前記第２基部の幅よりも幅が狭い幅を備え、
前記延設の方向に沿った前記第１くびれ部の寸法と前記第１基部の寸法との寸法比、および前記延設の方向に沿った前記第２くびれ部の寸法と前記第２基部の寸法との寸法比が、５０％以上２００％以下である振動片と、
前記振動片を支持する基台と、を有し、
前記振動片は、前記第１支持部および前記第２支持部が前記基台に接続されていることを特徴とする振動型センサ。 - 請求項３に記載の振動型センサにおいて、
前記第１くびれ部と前記第１基部との接続部分と、前記第１くびれ部と前記第１支持部との接続部分と、前記第２くびれ部と前記第２基部との接続部分、および前記第２くびれ部と前記第２支持部との接続部分とが、平面的に曲線形状であることを特徴とする振動型センサ。 - 請求項３または請求項４に記載の振動型センサにおいて、
前記第１支持部および前記第２支持部は、前記振動腕の延設方向と交差する方向に延設された延長部と、前記延長部から前記振動腕に並行するように延設されて開放端を有する固定部と、を有しており、
前記振動片は、前記固定部を含む前記第１支持部および前記第２支持部の一主面が前記基台に接続されていることを特徴とする振動型センサ。 - 請求項３ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動型センサにおいて、
前記基台は、前記幅の方向に沿って延びる溝状のヒンジ部を有しており、前記ヒンジ部を境にして前記基台の一方側を第１基台、他方側を第２基台としたとき、
前記第１基台に前記第１支持部が接続され、他方側の第２基台に前記第２支持部が接続されていることを特徴とする振動型センサ。 - 請求項３ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動型センサにおいて、
前記基台は、第１基台と、前記第１基台と可撓性を有する接続部によって接続された第２基台と、前記第２基台と可撓性を有する接続部によって接続された第３基台とを有しており、
前記第１基台に前記第１支持部が接続され、前記第２基台に前記第２支持部が接続されていることを特徴とする振動型センサ。
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