JP2010060347A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 表裏に主面を有する第１基部および第２基部と、前記第１基部と前記第２基部との間に梁状に延設され、所定の共振周波数にて振動する振動腕と、前記第１基部または前記第２基部の少なくとも一方から前記振動腕の延設方向と交差する方向に延設された延長部と、
   前記延長部から前記振動腕に並行するように延設されて開放端を有する支持部と、を含む振動片と、
   前記振動片を支持する基台と、を有し、
   前記振動片の支持は、前記延長部と前記支持部とが交差する領域を含む一主面の接続領域と前記基台とが接続されて行われていることを特徴とする振動型センサ。
2. 請求項１に記載の振動型センサにおいて、
   前記振動腕は、表裏を貫通する貫通孔によって少なくとも２つの梁に分割されていることを特徴とする振動型センサ。
3. 請求項１または請求項２に記載の振動型センサにおいて、
   前記接続領域は、前記延長部の前記振動腕の延設方向に設けられた端部に達していることを特徴とする振動型センサ。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動型センサにおいて、
   前記振動片の支持は、前記支持部の前記開放端から前記振動腕の延設方向に設けられた前記延長部の前記端部に達する領域の一主面の接続領域と前記基台とが接続されて行われていることを特徴とする振動型センサ。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動型センサにおいて、
   前記第１基部および前記第２基部は、平面的に幅の狭いくびれ部を有しており、前記くびれ部を介して前記延長部と接続されていることを特徴とする振動型センサ。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動型センサにおいて、
   前記基台は、溝状に薄肉となるように形成されたヒンジ部を有しており、前記ヒンジ部を基準として一方側の基台に前記第１の基部から延設された支持部が接続され、他方側の基台に前記第２の基部から延設された支持部が接続されていることを特徴とする振動型センサ。