JP2011082956A5 - - Google Patents
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本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
本発明のある形態に係る振動片は、基部と、前記基部から第1方向に沿って延出されている振動腕と、を含み、前記振動腕は、第1面と、前記第1面と表裏の関係にある第2面と、前記第1面と前記第2面とに接続され、前記第1方向に沿って延びている第1側面と、前記第1側面と表裏の関係にある第2側面と、前記第1方向と交差する第2方向に沿った幅を有している第1幅部と、前記振動腕の基端側に設けられ、且つ、前記第1幅部の幅よりも幅が大きい第2幅部と、前記第1面および前記第2面の少なくとも一方に設けられ、前記第1方向に沿って延びている溝部と、を含み、前記溝部は、前記第1方向と交差する方向を幅としたとき、前記第2幅部における幅が、前記第1幅部における幅よりも大きく、前記第2幅部における前記溝部と前記第1側面との間の幅と、前記溝部と前記第2側面との間の幅と、の和は、前記第1幅部における前記溝部と前記第1側面との間の幅と、前記溝部と前記第2側面との間の幅と、の和よりも小さいことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記溝部が複数の溝から構成されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、基部と、前記基部から第1方向に沿って延出されている振動腕と、を含み、前記振動腕は、第1面と、前記第1面と表裏の関係にある第2面と、前記第1面と前記第2面とに接続され、前記第1方向に沿って延びている第1側面と、前記第1側面と表裏の関係にある第2側面と、前記第1方向と交差する第2方向に沿った幅を有している第1幅部と、前記振動腕の基端側に設けられ、且つ、前記第1幅部の幅よりも幅が大きい第2幅部と、前記第1面に設けられ、前記第1方向に沿って延びている第1溝部と、前記第2面に設けられ、前記第1方向に沿って延びている第2溝部と、を含み、前記第1溝部及び前記第2溝部は、平面視において、前記第1方向と交差する第2方向に沿って配列され、前記第1溝部の第1深さと前記第2溝部の第2深さは、前記第1面と前記第2面との間の距離よりも小さく、且つ、前記第1深さと前記第2深さとの和は、前記距離よりも大きく、前記第1方向と交差する方向を幅としたとき、前記第2幅部における前記第1溝部の幅が、前記第1幅部における前記第1溝部の幅よりも大きい、または、前記第2幅部における前記第2溝部の幅が、前記第1幅部における前記第2溝部の幅よりも大きいことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記第1側面は前記第1溝部側に配置され、前記第2側面は前記第2溝部側に配置され、前記第2幅部における前記第1溝部と前記第1側面との間の幅と、前記第2溝部と前記第2側面との間の幅と、の和は、前記第1幅部における前記第1溝部と前記第1側面との間の幅と、前記第2溝部と前記第2側面との間の幅と、の和よりも小さいことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記第1溝部または前記第2溝部が複数の溝から構成されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が収納されているパッケージと、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片と、回路と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る電子機器は、前記振動片を備えていることを特徴とする。
本発明のある形態に係る振動片は、基部と、前記基部から第1方向に沿って延出されている振動腕と、を含み、前記振動腕は、第1面と、前記第1面と表裏の関係にある第2面と、前記第1面と前記第2面とに接続され、前記第1方向に沿って延びている第1側面と、前記第1側面と表裏の関係にある第2側面と、前記第1方向と交差する第2方向に沿った幅を有している第1幅部と、前記振動腕の基端側に設けられ、且つ、前記第1幅部の幅よりも幅が大きい第2幅部と、前記第1面および前記第2面の少なくとも一方に設けられ、前記第1方向に沿って延びている溝部と、を含み、前記溝部は、前記第1方向と交差する方向を幅としたとき、前記第2幅部における幅が、前記第1幅部における幅よりも大きく、前記第2幅部における前記溝部と前記第1側面との間の幅と、前記溝部と前記第2側面との間の幅と、の和は、前記第1幅部における前記溝部と前記第1側面との間の幅と、前記溝部と前記第2側面との間の幅と、の和よりも小さいことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記溝部が複数の溝から構成されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、基部と、前記基部から第1方向に沿って延出されている振動腕と、を含み、前記振動腕は、第1面と、前記第1面と表裏の関係にある第2面と、前記第1面と前記第2面とに接続され、前記第1方向に沿って延びている第1側面と、前記第1側面と表裏の関係にある第2側面と、前記第1方向と交差する第2方向に沿った幅を有している第1幅部と、前記振動腕の基端側に設けられ、且つ、前記第1幅部の幅よりも幅が大きい第2幅部と、前記第1面に設けられ、前記第1方向に沿って延びている第1溝部と、前記第2面に設けられ、前記第1方向に沿って延びている第2溝部と、を含み、前記第1溝部及び前記第2溝部は、平面視において、前記第1方向と交差する第2方向に沿って配列され、前記第1溝部の第1深さと前記第2溝部の第2深さは、前記第1面と前記第2面との間の距離よりも小さく、且つ、前記第1深さと前記第2深さとの和は、前記距離よりも大きく、前記第1方向と交差する方向を幅としたとき、前記第2幅部における前記第1溝部の幅が、前記第1幅部における前記第1溝部の幅よりも大きい、または、前記第2幅部における前記第2溝部の幅が、前記第1幅部における前記第2溝部の幅よりも大きいことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記第1側面は前記第1溝部側に配置され、前記第2側面は前記第2溝部側に配置され、前記第2幅部における前記第1溝部と前記第1側面との間の幅と、前記第2溝部と前記第2側面との間の幅と、の和は、前記第1幅部における前記第1溝部と前記第1側面との間の幅と、前記第2溝部と前記第2側面との間の幅と、の和よりも小さいことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記第1溝部または前記第2溝部が複数の溝から構成されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が収納されているパッケージと、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片と、回路と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る電子機器は、前記振動片を備えていることを特徴とする。
Claims (8)
- 基部と、
前記基部から第1方向に沿って延出されている振動腕と、
を含み、
前記振動腕は、
第1面と、
前記第1面と表裏の関係にある第2面と、
前記第1面と前記第2面とに接続され、前記第1方向に沿って延びている第1側面と、
前記第1側面と表裏の関係にある第2側面と、
前記第1方向と交差する第2方向に沿った幅を有している第1幅部と、
前記振動腕の基端側に設けられ、且つ、前記第1幅部の幅よりも幅が大きい第2幅部と、
前記第1面および前記第2面の少なくとも一方に設けられ、前記第1方向に沿って延びている溝部と、
を含み、
前記溝部は、
前記第1方向と交差する方向を幅としたとき、
前記第2幅部における幅が、前記第1幅部における幅よりも大きく、
前記第2幅部における前記溝部と前記第1側面との間の幅と、前記溝部と前記第2側面との間の幅と、の和は、
前記第1幅部における前記溝部と前記第1側面との間の幅と、前記溝部と前記第2側面との間の幅と、の和よりも小さいことを特徴とする振動片。 - 請求項1において、
前記溝部が複数の溝から構成されていることを特徴とする振動片。 - 基部と、
前記基部から第1方向に沿って延出されている振動腕と、
を含み、
前記振動腕は、
第1面と、
前記第1面と表裏の関係にある第2面と、
前記第1面と前記第2面とに接続され、前記第1方向に沿って延びている第1側面と、
前記第1側面と表裏の関係にある第2側面と、
前記第1方向と交差する第2方向に沿った幅を有している第1幅部と、
前記振動腕の基端側に設けられ、且つ、前記第1幅部の幅よりも幅が大きい第2幅部と、
前記第1面に設けられ、前記第1方向に沿って延びている第1溝部と、
前記第2面に設けられ、前記第1方向に沿って延びている第2溝部と、
を含み、
前記第1溝部及び前記第2溝部は、平面視において、前記第1方向と交差する第2方向に沿って配列され、
前記第1溝部の第1深さと前記第2溝部の第2深さは、前記第1面と前記第2面との間の距離よりも小さく、且つ、前記第1深さと前記第2深さとの和は、前記距離よりも大きく、
前記第1方向と交差する方向を幅としたとき、
前記第2幅部における前記第1溝部の幅が、前記第1幅部における前記第1溝部の幅よりも大きい、または、前記第2幅部における前記第2溝部の幅が、前記第1幅部における前記第2溝部の幅よりも大きいことを特徴とする振動片。 - 請求項3において、
前記第1側面は前記第1溝部側に配置され、
前記第2側面は前記第2溝部側に配置され、
前記第2幅部における前記第1溝部と前記第1側面との間の幅と、前記第2溝部と前記第2側面との間の幅と、の和は、
前記第1幅部における前記第1溝部と前記第1側面との間の幅と、前記第2溝部と前記第2側面との間の幅と、の和よりも小さいことを特徴とする振動片。 - 請求項3または4において、
前記第1溝部または前記第2溝部が複数の溝から構成されていることを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片が収納されているパッケージと、
を含むことを特徴とする振動子。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の振動片と、
回路と、
を含むことを特徴とする発振器。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
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JP2015002548A (ja) * | 2013-06-18 | 2015-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
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JP2015008353A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-01-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動デバイス、電子機器、移動体、および振動素子の製造方法 |
KR101983148B1 (ko) * | 2013-08-29 | 2019-08-28 | 삼성전기주식회사 | 압전 진동자용 압전편 및 그 제조 방법 |
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EP1223674A3 (en) * | 2000-12-25 | 2003-04-02 | Seiko Epson Corporation | Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic equipment |
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JP2004260718A (ja) | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 音叉型振動片及び音叉型振動片の製造方法並びに圧電デバイス |
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JP2006166390A (ja) * | 2004-02-05 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP2005286992A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-10-13 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器 |
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DE602007004102D1 (de) * | 2007-07-19 | 2010-02-11 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Piezoelektrischer Resonator mit optimierten Bewegungsfähigkeiten |
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EP2352227B1 (en) * | 2008-09-26 | 2019-08-14 | Daishinku Corporation | Tuning-fork-type piezoelectric vibrating piece and tuning-fork-type piezoelectric vibrating device |
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JP2011193399A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子および圧電デバイス |
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JP2011199330A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器 |
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JP2012039509A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
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