JP2014200043A5 - - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動子は、基部と、
前記基部から第１の方向に延出し、前記第１の方向と直交する第２の方向に関して互いに接近および離間を繰り返すように屈曲振動する一対の振動腕と、
前記第２の方向において前記一対の振動腕の間に配置され、前記基部から前記第１の方向に沿って延出している支持腕と、を含む振動素子と、
前記振動素子が支持されているベースと、
前記振動素子の前記支持腕を前記ベースに対して固定し、導電性を有している第１の固着部および第２の固着部と、
を含み、
前記支持腕は、
第１の部分と、
前記第１の部分よりも前記基部側に設けられ、前記第２の方向に沿った長さが前記第１の部分の前記第２の方向に沿った長さよりも小さい第２の部分と、
を含み、
前記第２の固着部は、前記第１の固着部と離間して設けられ、平面視で、前記第２の部分の少なくとも一部と接触していることを特徴とする。
これにより、振動子を小型化しても、Ｘ同相モードの共振周波数とメインモードの共振周波数から十分に離すことができ、かつ、一対の導電性接着剤同士の短絡を防止することができる。

Claims (14)

1. 基部と、
   前記基部から第１の方向に延出し、前記第１の方向と直交する第２の方向に関して互いに接近および離間を繰り返すように屈曲振動する一対の振動腕と、
   前記第２の方向において前記一対の振動腕の間に配置され、前記基部から前記第１の方向に沿って延出している支持腕と、を含む振動素子と、
   前記振動素子が支持されているベースと、
   前記振動素子の前記支持腕を前記ベースに対して固定し、導電性を有している第１の固着部および第２の固着部と、
   を含み、
   前記支持腕は、
   第１の部分と、
   前記第１の部分よりも前記基部側に設けられ、前記第２の方向に沿った長さが前記第１の部分の前記第２の方向に沿った長さよりも小さい第２の部分と、
   を含み、
   前記第２の固着部は、前記第１の固着部と離間して設けられ、平面視で、前記第２の部分の少なくとも一部と接触していることを特徴とする振動子。
2. 前記第１の固着部および前記第２の固着部のヤング率は、前記振動素子のヤング率より小さい請求項１に記載の振動子。
3. 前記第１の固着部および前記第２の固着部のヤング率は、５０ＭＰａ以上６０００ＭＰａ以下である請求項１または２に記載の振動子。
4. 前記第２の部分の前記第２の方向に沿った長さの最小値は、前記第１の部分の前記第２の方向に沿った長さの平均値の２０％以上５０％以下である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動子。
5. 前記第２の固着部は、前記第１の方向および前記第２の方向と直交する第３の方向に沿った前記第２の部分の一部と接触している請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動子。
6. 前記振動素子は、
   前記第１の固着部と電気的に接続されている第１の配線および前記第２の固着部と電気的に接続されている第２の配線と、
   前記支持腕と前記基部との境界部に前記第１の配線および前記第２の配線とが、電気的に接続されていない非接続領域と、
   を含む請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動子。
7. 前記第２の部分は、前記第３の方向の途中に、前記第２の方向に突出している突出部を含む請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動子。
8. 前記支持腕には、前記支持腕の前記第１の固着部が接触している接触領域に凹部が設けられている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動子。
9. 前記凹部は、前記接触領域を含む面と反対側の面に貫通している請求項８に記載の振動子。
10. 前記支持腕には、
    前記支持腕の前記第１の固着部が接触している接触領域と、
    前記支持腕の前記第２の固着部が接触する接触領域と、
    の間に前記第２の方向に沿って溝が設けられている請求項１ないし９のいずれか１項に記載の振動子。
11. 各前記振動腕は、腕部と、前記腕部の前記基部と反対側に位置し、前記腕部よりも前記第２の方向に沿った長さが大きい広幅部とを含む請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動子。
12. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子と、
    発振回路と、
    を含むことを特徴とする発振器。
13. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子を含むことを特徴とする電子機器。
14. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子を含むことを特徴とする移動体。