JP2014200051A5 - - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動素子は、第１の端部、及び平面視で前記第１の端部と反対側の第２の端部を含む基部と、
前記基部と一体的に設けられ、前記基部の前記第１の端部側において、前記基部から第１の方向に沿って延出し、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って並んでいる一対の振動腕と、
を含み、
各前記振動腕は、
腕部と、
前記腕部の前記基部側とは反対側に位置し、前記腕部よりも前記第２の方向に沿った長さが大きい広幅部と、
を含み、
各前記振動腕は、
表裏の関係にある一対の主面と、
各前記主面に設けられている有底の溝と、
を含み、
各前記腕部の前記主面において、前記第２の方向に沿って前記溝を挟んで並んでいる各土手部の幅が６μｍ以下であることを特徴とする。
これにより、振動素子のＱ値を比較的高く維持しつつ、等価直列抵抗Ｒ１（ＣＩ値）を十分に低くすることができる。結果として、優れた振動特性を低消費電力で発揮することのできる振動素子を得ることができる。

Claims (14)

1. 第１の端部、及び平面視で前記第１の端部と反対側の第２の端部を含む基部と、
   前記基部と一体的に設けられ、前記基部の前記第１の端部側において、前記基部から第１の方向に沿って延出し、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って並んでいる一対の振動腕と、
   を含み、
   各前記振動腕は、
   腕部と、
   前記腕部の前記基部側とは反対側に位置し、前記腕部よりも前記第２の方向に沿った長さが大きい広幅部と、
   を含み、
   各前記振動腕は、
   表裏の関係にある一対の主面と、
   各前記主面に設けられている有底の溝と、
   を含み、
   各前記腕部の前記主面において、前記第２の方向に沿って前記溝を挟んで並んでいる各土手部の幅が６μｍ以下であることを特徴とする振動素子。
2. 前記幅が１μｍ以上３μｍ以下である請求項１に記載の振動素子。
3. 前記溝の最大深さをｔ［μｍ］、
   前記振動腕の厚さをＴ［μｍ］としたとき、
   ２ｔ／Ｔで表されるηが０．６以上である請求項１または２に記載の振動素子。
4. 前記振動腕の厚さが５０μｍ以上である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動素子。
5. 前記基部を支持している支持部を含む請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動素子。
6. 前記支持部は、前記一対の振動腕の間において、前記基部から前記第１の方向に沿って延出している支持腕を含む請求項５に記載の振動素子。
7. 前記支持部は、前記基部の前記第２の端部側において、前記基部から延出している支持腕を含む請求項５または６に記載の振動素子。
8. 前記支持部は、少なくとも前記基部、前記振動腕および前記支持腕を取り囲み、前記支持腕と連結している枠体を含む請求項６または７に記載の振動素子。
9. 前記支持部は、少なくとも前記基部および前記振動腕を取り囲んでいる枠体を含む請求項５ないし８のいずれか１項に記載の振動素子。
10. 前記基部は、前記第１の端部側および前記第２の端部側の少なくとも一方に、前記第２の方向に沿った長さが、前記一対の振動腕の間の中心線に沿って、前記基部の中央から離れるに従って連続的または段階的に小さくなっている縮幅部を含む請求項１ないし９のいずれか１項に記載の振動素子。
11. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の振動素子と、
    前記振動素子が搭載されているパッケージと、
    を含むことを特徴とする振動子。
12. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の振動素子と、
    発振回路と、
    を含むことを特徴とする発振器。
13. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の振動素子を含むことを特徴とする電子機器。
14. 請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の振動素子を含むことを特徴とする移動体。