JP2015002548A5 - - Google Patents
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
本適用例の振動素子は、基部と、
前記基部の一方の端部から第1方向に延出し、前記第1方向に直交する第2方向に離間して配置されている一対の振動腕と、
前記基部から延出している保持腕と、
を含み、
前記基部の一方の主面には第1固定部が設けられ、
前記保持腕の一方の主面には第2固定部が設けられ、
前記第1固定部および前記第2固定部が固定部材を介して対象物に取り付けられることを特徴とする振動素子。
これにより、対象物へ搭載した状態での固定部材同士の接触を低減することのできる振動素子となる。さらに、振動漏れも低減することのできる振動子となる。
[適用例1]
本適用例の振動素子は、基部と、
前記基部の一方の端部から第1方向に延出し、前記第1方向に直交する第2方向に離間して配置されている一対の振動腕と、
前記基部から延出している保持腕と、
を含み、
前記基部の一方の主面には第1固定部が設けられ、
前記保持腕の一方の主面には第2固定部が設けられ、
前記第1固定部および前記第2固定部が固定部材を介して対象物に取り付けられることを特徴とする振動素子。
これにより、対象物へ搭載した状態での固定部材同士の接触を低減することのできる振動素子となる。さらに、振動漏れも低減することのできる振動子となる。
[適用例2]
本適用例の振動素子では、前記保持腕は、前記基部の前記一方の端部から前記第1方向に延出し、前記一対の振動腕の間に配置されていることが好ましい。
[適用例3]
本適用例の振動素子では、前記保持腕は、平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部から延出していることが好ましい。
本適用例の振動素子では、前記保持腕は、前記基部の前記一方の端部から前記第1方向に延出し、前記一対の振動腕の間に配置されていることが好ましい。
[適用例3]
本適用例の振動素子では、前記保持腕は、平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部から延出していることが好ましい。
[適用例4]
本適用例の振動素子では、前記保持腕は、
前記他方の端部から前記第1方向に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第2方向に沿って延出している第2部分と、
を含み、
前記第2固定部は、前記第2部分に設けられていることが好ましい。
[適用例5]
本適用例の振動素子では、前記第1固定部は、
平面視で、前記一対の振動腕の間の前記第2方向の中心を通る前記第1方向に沿った仮想直線と交わることが好ましい。
本適用例の振動素子では、前記保持腕は、
前記他方の端部から前記第1方向に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第2方向に沿って延出している第2部分と、
を含み、
前記第2固定部は、前記第2部分に設けられていることが好ましい。
[適用例5]
本適用例の振動素子では、前記第1固定部は、
平面視で、前記一対の振動腕の間の前記第2方向の中心を通る前記第1方向に沿った仮想直線と交わることが好ましい。
[適用例6]
本適用例の振動素子は、基部と、
前記基部の一方の端部から第1方向に延出し、前記第1方向に直交する第2方向に離間して配置されている一対の振動腕と、
前記基部の前記一方の端部から前記第1方向に延出し、前記一対の振動腕の間に配置されている第1保持腕と、
平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部から延出している第2保持腕と、
を含み、
前記第1保持腕の一方の主面には、第1固定部が設けられ、
前記第2保持腕の一方の主面には、第2固定部が設けられ、
前記第1固定部および前記第2固定部が固定部材を介して対象物に取り付けられることを特徴とする。
これにより、対象物へ搭載した状態での固定部材同士の接触を低減することのできる振動素子となる。さらに、振動漏れも低減することのできる振動子となる。
本適用例の振動素子は、基部と、
前記基部の一方の端部から第1方向に延出し、前記第1方向に直交する第2方向に離間して配置されている一対の振動腕と、
前記基部の前記一方の端部から前記第1方向に延出し、前記一対の振動腕の間に配置されている第1保持腕と、
平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部から延出している第2保持腕と、
を含み、
前記第1保持腕の一方の主面には、第1固定部が設けられ、
前記第2保持腕の一方の主面には、第2固定部が設けられ、
前記第1固定部および前記第2固定部が固定部材を介して対象物に取り付けられることを特徴とする。
これにより、対象物へ搭載した状態での固定部材同士の接触を低減することのできる振動素子となる。さらに、振動漏れも低減することのできる振動子となる。
[適用例7]
本適用例の振動素子では、前記第2保持腕は、
前記他方の端部から前記第1方向に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第2方向に沿って延出している第2部分と、
を含み、
前記第2固定部は、前記第2部分に設けられていることが好ましい。
[適用例8]
本適用例の振動素子では、前記第2保持腕は、
前記他方の端部から前記第1方向に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第2方向に沿って延出している第2部分と、
前記第2部分から前記第1方向に沿って延出している第3部分と、
を含み、
前記第2固定部は、前記第3部分に設けられていることが好ましい。
[適用例9]
本適用例の振動素子では、前記基部は、
平面視で前記第1固定部から前記第1方向に沿って離れるに従って、前記第2方向に沿った長さが連続的または段階的に減少している縮幅部を含むことが好ましい。
本適用例の振動素子では、前記第2保持腕は、
前記他方の端部から前記第1方向に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第2方向に沿って延出している第2部分と、
を含み、
前記第2固定部は、前記第2部分に設けられていることが好ましい。
[適用例8]
本適用例の振動素子では、前記第2保持腕は、
前記他方の端部から前記第1方向に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第2方向に沿って延出している第2部分と、
前記第2部分から前記第1方向に沿って延出している第3部分と、
を含み、
前記第2固定部は、前記第3部分に設けられていることが好ましい。
[適用例9]
本適用例の振動素子では、前記基部は、
平面視で前記第1固定部から前記第1方向に沿って離れるに従って、前記第2方向に沿った長さが連続的または段階的に減少している縮幅部を含むことが好ましい。
[適用例10]
本適用例の振動子は、上記適用例の振動素子と、
前記振動素子が収納されているパッケージと、
を含むことを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する振動子が得られる。
本適用例の振動子は、上記適用例の振動素子と、
前記振動素子が収納されているパッケージと、
を含むことを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する振動子が得られる。
[適用例11]
本適用例の発振器は、上記適用例の振動素子と、
発振回路と、
を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する発振器が得られる。
本適用例の発振器は、上記適用例の振動素子と、
発振回路と、
を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する発振器が得られる。
[適用例12]
本適用例の電子機器は、上記適用例の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
[適用例13]
本適用例の移動体は、上記適用例の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する移動体が得られる。
本適用例の電子機器は、上記適用例の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
[適用例13]
本適用例の移動体は、上記適用例の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する移動体が得られる。
本発明の第9実施形態にかかる振動子は、振動素子の構成が異なる以外は、前述した第1実施形態と同様である。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
図16に示すように、振動素子2Hは、基部4と、基部4の先端から+Y軸方向に延出する一対の振動腕5、6と、基部4の先端から+Y軸方向に延出する保持腕(第1保持腕)7と、基部4の基端から−Y軸方向に延出する保持腕(第2保持腕)70Hとを有している。これら基部4、振動腕5、6、保持腕7、70Hは、水晶基板3から一体に形成されている。また、保持腕70Hは、基部4の基端から延出し、X軸方向に分岐する分岐部(第1部分)781と、分岐部781からX軸方向両側に延出する連結腕(第2部分)782、783と、連結腕782、783の先端部からY軸方向の振動腕5、6側に延出する腕部(第3部分)784、785とを有している。そして、保持腕7の一方の主面(−Z軸側の主面)に第1固定部R1が設けられており、腕部784、785の一方の主面(−Z軸側の主面)にそれぞれ第2固定部R2が設けられている。なお、本実施形態の場合は、2つの第2固定部R2のうちのいずれか一方に第2接続電極82が設けられていればよい。
このような第9実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
図16に示すように、振動素子2Hは、基部4と、基部4の先端から+Y軸方向に延出する一対の振動腕5、6と、基部4の先端から+Y軸方向に延出する保持腕(第1保持腕)7と、基部4の基端から−Y軸方向に延出する保持腕(第2保持腕)70Hとを有している。これら基部4、振動腕5、6、保持腕7、70Hは、水晶基板3から一体に形成されている。また、保持腕70Hは、基部4の基端から延出し、X軸方向に分岐する分岐部(第1部分)781と、分岐部781からX軸方向両側に延出する連結腕(第2部分)782、783と、連結腕782、783の先端部からY軸方向の振動腕5、6側に延出する腕部(第3部分)784、785とを有している。そして、保持腕7の一方の主面(−Z軸側の主面)に第1固定部R1が設けられており、腕部784、785の一方の主面(−Z軸側の主面)にそれぞれ第2固定部R2が設けられている。なお、本実施形態の場合は、2つの第2固定部R2のうちのいずれか一方に第2接続電極82が設けられていればよい。
このような第9実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
Claims (13)
- 基部と、
前記基部の一方の端部から第1方向に延出し、前記第1方向に直交する第2方向に離間して配置されている一対の振動腕と、
前記基部から延出している保持腕と、
を含み、
前記基部の一方の主面には第1固定部が設けられ、
前記保持腕の一方の主面には第2固定部が設けられ、
前記第1固定部および前記第2固定部が固定部材を介して対象物に取り付けられることを特徴とする振動素子。 - 請求項1において、
前記保持腕は、前記基部の前記一方の端部から前記第1方向に延出し、前記一対の振動腕の間に配置されていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1において、
前記保持腕は、平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部から延出していることを特徴とする振動素子。 - 請求項3において、
前記保持腕は、
前記他方の端部から前記第1方向に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第2方向に沿って延出している第2部分と、
を含み、
前記第2固定部は、前記第2部分に設けられていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1ないし4のいずれか一項において、
前記第1固定部は、
平面視で、前記一対の振動腕の間の前記第2方向の中心を通る前記第1方向に沿った仮想直線と交わることを特徴とする振動素子。 - 基部と、
前記基部の一方の端部から第1方向に延出し、前記第1方向に直交する第2方向に離間して配置されている一対の振動腕と、
前記基部の前記一方の端部から前記第1方向に延出し、前記一対の振動腕の間に配置されている第1保持腕と、
平面視で、前記基部の前記一方の端部とは反対側の他方の端部から延出している第2保持腕と、
を含み、
前記第1保持腕の一方の主面には、第1固定部が設けられ、
前記第2保持腕の一方の主面には、第2固定部が設けられ、
前記第1固定部および前記第2固定部が固定部材を介して対象物に取り付けられることを特徴とする振動素子。 - 請求項6において、
前記第2保持腕は、
前記他方の端部から前記第1方向に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第2方向に沿って延出している第2部分と、
を含み、
前記第2固定部は、前記第2部分に設けられていることを特徴とする振動素子。 - 請求項6において、
前記第2保持腕は、
前記他方の端部から前記第1方向に沿って延出している第1部分と、
前記第1部分から前記第2方向に沿って延出している第2部分と、
前記第2部分から前記第1方向に沿って延出している第3部分と、
を含み、
前記第2固定部は、前記第3部分に設けられていることを特徴とする振動素子。 - 請求項1ないし8のいずれか一項において、
前記基部は、
平面視で前記第1固定部から前記第1方向に沿って離れるに従って、前記第2方向に沿った長さが連続的または段階的に減少している縮幅部を含むことを特徴とする振動素子。 - 請求項1ないし9のいずれか一項に記載の振動素子と、
前記振動素子が収納されているパッケージと、
を含むことを特徴とする振動子。 - 請求項1ないし9のいずれか一項に記載の振動素子と、
発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。 - 請求項1ないし9のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし9のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
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CN201410270270.4A CN104242858A (zh) | 2013-06-18 | 2014-06-17 | 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013127980A JP2015002548A (ja) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2013127980A Withdrawn JP2015002548A (ja) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
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JP5476964B2 (ja) * | 2009-12-09 | 2014-04-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、ジャイロ及び電子機器 |
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- 2014-06-17 CN CN201410270270.4A patent/CN104242858A/zh active Pending
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