JP2013192013A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動素子は、互いに直交する３つの軸を第１軸、第２軸および第３軸とし、
前記第１軸と前記第２軸とを含む第１面に沿って配置され、一端が基部に接続している３つの振動腕を備え、
前記振動腕は、前記第１面に沿っている振動成分及び前記第３軸の方向に沿っている振動成分を有する２つの第１振動腕と、前記２つの第１振動腕の間に配置されている第２振動腕を有することを特徴とする。
これにより、振動バランスに優れ、優れた振動特性を発揮することのできる振動素子を提供することができる。
［適用例１］
本発明の振動素子は、互いに直交する３つの軸を第１軸、第２軸および第３軸とし、
前記第１軸と前記第２軸とを含む第１面に沿って配置され、一端が基部に接続している３つの振動腕を備え、
前記振動腕は、前記第１面に沿っている振動成分及び前記第３軸の方向に沿っている振動成分を有する２つの第１振動腕と、前記２つの第１振動腕の間に配置されている第２振動腕を有することを特徴とする。
これにより、振動バランスに優れ、優れた振動特性を発揮することのできる振動素子を提供することができる。
［適用例２］
本発明の振動素子では、前記２つの第１振動腕は、前記第１面内の振動成分を互いに打消しあうことが好ましい。
これにより、振動素子の構成を簡単なものとすることができる。
［適用例３］
本発明の振動素子では、前記２つの第１振動腕は、互いに対称に屈曲振動することが好ましい。
これにより、よりバランスよく振動腕を振動させることができる。
本発明の振動素子では、前記２つの第１振動腕は、前記第１面内の振動成分を互いに打消しあうことが好ましい。
これにより、振動素子の構成を簡単なものとすることができる。
［適用例３］
本発明の振動素子では、前記２つの第１振動腕は、互いに対称に屈曲振動することが好ましい。
これにより、よりバランスよく振動腕を振動させることができる。
［適用例４］
本発明の振動素子では、前記振動腕の各々は、前記第１軸に沿って配置され、且つ、基部から前記第２軸に沿って延出していることが好ましい。
これにより、よりバランスよく振動腕を振動させることができる。
本発明の振動素子では、前記振動腕の各々は、前記第１軸に沿って配置され、且つ、基部から前記第２軸に沿って延出していることが好ましい。
これにより、よりバランスよく振動腕を振動させることができる。
［適用例５］
本発明の振動素子では、前記第１振動腕の横断面形状は、前記第１振動腕の幅方向の中心線に対し非対称である部分を有することが好ましい。
これにより、より確実に、第１振動腕を斜め振動させることができる。
［適用例６］
本発明の振動素子では、前記第１振動腕の横断面形状は、前記第１振動腕の幅方向の中心線および厚さ方向の中心線に対し非対称である部分を有することが好ましい。
これにより、簡単な構成で、より確実に、第１振動腕を斜め振動させることができる。
本発明の振動素子では、前記第１振動腕の横断面形状は、前記第１振動腕の幅方向の中心線に対し非対称である部分を有することが好ましい。
これにより、より確実に、第１振動腕を斜め振動させることができる。
［適用例６］
本発明の振動素子では、前記第１振動腕の横断面形状は、前記第１振動腕の幅方向の中心線および厚さ方向の中心線に対し非対称である部分を有することが好ましい。
これにより、簡単な構成で、より確実に、第１振動腕を斜め振動させることができる。
［適用例７］
本発明の振動素子では、前記第１振動腕の横断面形状は、平行四辺形であることが好ましい。
これにより、簡単な構成で、より確実に、第１振動腕を斜め振動させることができる。
［適用例８］
本発明の振動素子では、前記第２振動腕は、少なくとも２つ配置され、
前記２つの第２振動腕は、互いに対称に屈曲振動することが好ましい。
これにより、振動特性がより向上する。
本発明の振動素子では、前記第１振動腕の横断面形状は、平行四辺形であることが好ましい。
これにより、簡単な構成で、より確実に、第１振動腕を斜め振動させることができる。
［適用例８］
本発明の振動素子では、前記第２振動腕は、少なくとも２つ配置され、
前記２つの第２振動腕は、互いに対称に屈曲振動することが好ましい。
これにより、振動特性がより向上する。
［適用例９］
本発明の振動デバイスは、本発明の振動素子と、
前記振動素子を収納しているパッケージと、
を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた発振器等の振動デバイスを提供することができる。
［適用例１０］
本発明の電子機器は、本発明の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた携帯電話、パーソナルコンピューター、デジタルカメラ等の電子機器を提供することができる。
本発明の振動デバイスは、本発明の振動素子と、
前記振動素子を収納しているパッケージと、
を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた発振器等の振動デバイスを提供することができる。
［適用例１０］
本発明の電子機器は、本発明の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた携帯電話、パーソナルコンピューター、デジタルカメラ等の電子機器を提供することができる。
Claims (10)
- 互いに直交する３つの軸を第１軸、第２軸および第３軸とし、
前記第１軸と前記第２軸とを含む第１面に沿って配置され、一端が基部に接続している３つの振動腕を備え、
前記振動腕は、前記第１面に沿っている振動成分及び前記第３軸の方向に沿っている振動成分を有する２つの第１振動腕と、前記２つの第１振動腕の間に配置されている第２振動腕を有することを特徴とする振動素子。 - 前記２つの第１振動腕は、前記第１面内の振動成分を互いに打消しあう請求項１に記載の振動素子。
- 前記２つの第１振動腕は、互いに対称に屈曲振動する請求項１または２に記載の振動素子。
- 前記振動腕の各々は、前記第１軸に沿って配置され、且つ、基部から前記第２軸に沿って延出している請求項１ないし３のいずれか一項に記載の振動素子。
- 前記第１振動腕の横断面形状は、前記第１振動腕の幅方向の中心線に対し非対称である部分を有する請求項１ないし４のいずれか一項に記載の振動素子。
- 前記第１振動腕の横断面形状は、前記第１振動腕の幅方向の中心線および厚さ方向の中心線に対し非対称である部分を有する請求項１ないし４のいずれか一項に記載の振動素子。
- 前記第１振動腕の横断面形状は、平行四辺形である請求項５または６に記載の振動素子。
- 前記第２振動腕は、少なくとも２つ配置され、
前記２つの第２振動腕は、互いに対称に屈曲振動する請求項１ないし７のいずれか一項に記載の振動素子。 - 請求項１ないし８のいずれか一項に記載の振動素子と、
前記振動素子を収納しているパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動デバイス。 - 請求項１ないし８のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012056459A JP2013192013A (ja) | 2012-03-13 | 2012-03-13 | 振動素子、振動デバイスおよび電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012056459A JP2013192013A (ja) | 2012-03-13 | 2012-03-13 | 振動素子、振動デバイスおよび電子機器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013192013A JP2013192013A (ja) | 2013-09-26 |
| JP2013192013A5 true JP2013192013A5 (ja) | 2015-04-30 |
Family
ID=49391869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012056459A Withdrawn JP2013192013A (ja) | 2012-03-13 | 2012-03-13 | 振動素子、振動デバイスおよび電子機器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2013192013A (ja) |
Families Citing this family (7)
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| JP2016065752A (ja) | 2014-09-24 | 2016-04-28 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、角速度センサー、電子機器および移動体 |
| JP6477101B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6477100B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6450059B1 (ja) * | 2017-07-24 | 2019-01-09 | 京セラ株式会社 | センサ素子および角速度センサ |
| US11448505B2 (en) * | 2017-07-24 | 2022-09-20 | Kyocera Corporation | Sensor element and angular velocity sensor |
| WO2019035238A1 (ja) * | 2017-08-16 | 2019-02-21 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56158520A (en) * | 1980-05-12 | 1981-12-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Oscillator |
| JP2002118441A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-04-19 | Citizen Watch Co Ltd | 捩り振動子 |
| JP2006269738A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の金属パターン形成方法、外形加工方法及び露光装置 |
| JP5272880B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2013-08-28 | セイコーエプソン株式会社 | 屈曲振動片 |
| JP5482250B2 (ja) * | 2010-02-02 | 2014-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動体および振動デバイス |
-
2012
- 2012-03-13 JP JP2012056459A patent/JP2013192013A/ja not_active Withdrawn
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