JP2015008351A5 - 水晶振動片、振動子、電子デバイス、電子機器および移動体 - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
本発明のある形態に係る水晶振動片は、基部と、前記基部から第１の方向に延出し、前記第１の方向に交差する第２の方向に離間して配置されている２つの振動腕と、前記基部から前記第１の方向に延出し、前記２つの振動腕の間に配置されている支持腕と、を含む水晶振動片であって、前記支持腕は、互いに異極の第１の電極パッド及び第２の電極パッドと、水晶の結晶Ｘ軸と交差する側面のうち＋Ｘ軸側の側面に設けられ、前記第１の電極パッドと接続されている第１の引き出し電極及び前記第２の電極パッドと接続されている第２の引き出し電極と、前記＋Ｘ軸側の側面から水晶の結晶Ｚ軸方向における一方側に傾斜している第１の傾斜面、及び前記＋Ｘ軸側の側面から前記結晶Ｚ軸方向における他方側に傾斜している第２の傾斜面を含み、前記結晶Ｘ軸に沿った断面が−Ｘ軸側から前記＋Ｘ軸側に向かって凸状である傾斜部を有している切込み部と、を含み、前記第１の引き出し電極と前記第２の引き出し電極は、前記切込み部で非導通であることを特徴とする。
本発明のある形態に係る水晶振動片は、上記水晶振動片において、前記第１の傾斜面と前記第２の傾斜面は、断続的に傾斜していることを特徴とする。
本発明のある形態に係る水晶振動片は、上記水晶振動片において、前記切込み部は、平面視で、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッドとの間、及び前記支持腕の先端と前記第１の電極パッドとの間の少なくとも何れかに配置されていることを特徴とする。
本発明のある形態に係る水晶振動片は、上記水晶振動片において、平面視で、前記第１の傾斜面と前記第２の傾斜面は重なっていることを特徴とする。
本発明のある形態に係る水晶振動片は、上記水晶振動片において、前記切込み部の結晶Ｙ軸方向に沿った長さＬ１は、５μｍ以上５００μｍ以下であることを特徴とする。
本発明のある形態に係る水晶振動片は、上記水晶振動片において、前記Ｌ１は、２０μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする。
本発明のある形態に係る水晶振動片は、上記水晶振動片において、前記切込み部の前記結晶Ｘ軸方向に沿った長さＷ１は、５μｍ以上３００μｍ以下であることを特徴とする。
本発明のある形態に係る水晶振動片は、上記水晶振動片において、前記Ｗ１は、１０μｍ以上５０μｍ以下であることを特徴とする。
本発明のある形態に係る水晶振動片は、上記水晶振動片において、前記切込み部は、前記支持腕に複数設けられていることを特徴とする。
本発明のある形態に係る振動子は、上記水晶振動片と、前記振動片が収納されている容器と、を備えていることを特徴とする。
本発明のある形態に係る電子デバイスは、上記水晶振動片と、回路と、を備えていることを特徴とする。
本発明のある形態に係る電子機器は、上記水晶振動片を備えていることを特徴とする。
本発明のある形態に係る移動体は、上記水晶振動片を備えていることを特徴とする。

Claims (13)

1. 基部と、
   前記基部から第１の方向に延出し、前記第１の方向に交差する第２の方向に離間して配置されている２つの振動腕と、
   前記基部から前記第１の方向に延出し、前記２つの振動腕の間に配置されている支持腕と、
   を含む水晶振動片であって、
   前記支持腕は、
   互いに異極の第１の電極パッド及び第２の電極パッドと、
   水晶の結晶Ｘ軸と交差する側面のうち＋Ｘ軸側の側面に設けられ、前記第１の電極パッドと接続されている第１の引き出し電極、及び前記第２の電極パッドと接続されている第２の引き出し電極と、
   前記＋Ｘ軸側の側面から水晶の結晶Ｚ軸方向における一方側に傾斜している第１の傾斜面、及び前記＋Ｘ軸側の側面から前記結晶Ｚ軸方向における他方側に傾斜している第２の傾斜面を含み、前記結晶Ｘ軸に沿った断面が−Ｘ軸側から前記＋Ｘ軸側に向かって凸状である傾斜部を有している切込み部と、
   を含み、
   前記第１の引き出し電極と前記第２の引き出し電極は、前記切込み部で非導通であることを特徴とする水晶振動片。
2. 請求項１において、
   前記第１の傾斜面と前記第２の傾斜面は、断続的に傾斜していることを特徴とする水晶振動片。
3. 請求項１又は２において、
   前記切込み部は、
   平面視で、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッドとの間、及び前記支持腕の先端と前記第１の電極パッドとの間の少なくとも何れかに配置されていることを特徴とする水晶振動片。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項において、
   平面視で、前記第１の傾斜面と前記第２の傾斜面は重なっていることを特徴とする水晶振動片。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項において、
   前記切込み部の結晶Ｙ軸方向に沿った長さＬ１は、５μｍ以上５００μｍ以下であることを特徴とする水晶振動片。
6. 請求項５において、
   前記Ｌ１は、２０μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする水晶振動片。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項において、
   前記切込み部の前記結晶Ｘ軸方向に沿った長さＷ１は、５μｍ以上３００μｍ以下であることを特徴とする水晶振動片。
8. 請求項７において、
   前記Ｗ１は、１０μｍ以上５０μｍ以下であることを特徴とする水晶振動片。
9. 請求項１乃至８のいずれか一項において、
   前記切込み部は、前記支持腕に複数設けられていることを特徴とする水晶振動片。
10. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の水晶振動片と、
    前記振動片が収納されている容器と、
    を備えていることを特徴とする振動子。
11. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の水晶振動片と、
    回路と、
    を備えていることを特徴とする電子デバイス。
12. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の水晶振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
13. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の水晶振動片を備えていることを特徴とする移動体。