JP5350102B2 - 音叉型屈曲水晶振動子 - Google Patents

Description

本発明は、電子機器に用いられる音叉型屈曲水晶振動子に関する。

従来、コンピュータ，携帯電話又は小型情報機器等の電子機器には、電子部品の一つとして圧電振動子又は圧電発振器が搭載されている。この圧電振動子又は圧電発振器は、基準信号源やクロック信号源として用いられる。又、圧電振動子や圧電発振器は、その内部に水晶からなる音叉型屈曲水晶振動子が搭載されている。
以下、圧電材料に水晶を用いた音叉型屈曲水晶振動子について説明する。

図１１は、従来の音叉型屈曲水晶振動子の一例を示す斜視図である。図１２は、従来の音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。
図１１に示すように、音叉型屈曲水晶振動子４００は、圧電片４１０（図１２参照）と、その圧電片４１０の表面に設けられた励振用電極４２１ａ，４２１ｂ，４２２ａ及び４２２ｂと、接続用電極４２３ａ及び４２３ｂと、周波数調整用金属膜４２４ａ及び４２４ｂと、導配線パターン４２５，４２６及び４２７とにより概略構成される（例えば、特許文献１参照）。

図１２に示すように、圧電片４１０は、平面視略四角形の平板である基部４１１と、この基部４１１の一辺から同一方向に延出した振動腕部４１２と、さらにこの基部４１１から延出した支持腕部４１４とにより構成されている（例えば、特許文献１参照）。
以下、振動腕部４１２は、２本一対で構成されているため、第一の振動腕部４１２ａ、第二の振動腕部４１２ｂとして説明する。
支持腕部４１３は、第一の振動腕部４１２ａと第二の振動腕部４１２ｂとの間に位置し、この位置から基部４１１より第一の振動腕部４１２ａ及び第二の振動腕部４１２ｂと同一の方向に延出している。

圧電片４１０は、これら基部４１１、第一の振動腕部４１２ａ、第二の振動腕部４１２ｂ、支持腕部４１３が一体で構成されている（例えば、特許文献１参照）。

図１１に示すように、励振用電極４２１ａは、圧電片４１０を構成する第一の振動腕部４１２ａの対向する表裏主面に設けられている。なお、表裏主面とは、基部４１１の表面積の最も広く形成されている面であって、一方の面と他方の面とが平行になっている２つの面をいい、また、これら２つの面と同一の方向を向く面も含まれる。また、図１１及び図１２において、図面で現われている面を「表面」とし、隠れている面を「裏面」とする。

励振用電極４２１ｂは、第一の振動腕部４１２ａの対向する両側面に設けられている。また、励振用電極４２２ａは、第二の振動腕部４１２ｂの対向する表裏主面に設けられている。さらに、励振用電極４２２ｂは、第二の振動腕部４１２ｂの対向する両側面に設けられている。

なお、第一の振動腕部４１２ａの両側面に設けられた励振用電極４２１ｂは、周波数調整金属膜４２４ａにより電気的に接続している。
また、第二の振動腕部４１２ｂの両側面に設けられた励振用電極４２２ｂは、周波数調整金属膜４２４ｂにより電気的に接続している。

接続用電極４２３aは、支持腕部４１３の表裏主面に一個ずつ一対で且つ主面間で対向する位置に設けられている。この接続用電極４２３ａは、支持腕部４１３の他方の主面に設けられた部分と電気的に接続している。また、接続用電極４２３aは、励振用電極４２１ｂとも電気的に接続している。
また、接続用電極４２３ａは、基部４１１主面に設けられた導配線パターン４２７により、第二の振動腕部４１２ｂの励振用電極４２２ａと電気的に接続している。

また、接続用電極４２３ｂは、支持腕部４１３の表裏主面全面に一個ずつ一対で且つ主面間で対向する位置に設けられている。この接続用電極４２３ｂは、支持腕部４１３の他方の主面に設けられた部分と電気的に接続している。また、接続用電極４２３ｂは、励振用電極４２２ｂとも電気的に接続している。
また、接続用電極４２３ｂは、基部４１１主面に設けられた導配線パターンにより、励振用電極４２１ａと電気的に接続している。

なお、接続用電極４２３ａと４２３ｂは、支持腕部４１３の表裏主面上で、互いに導通しないように位置をずらして設けられている。

周波数調整用金属膜４２４ａは、第一の振動腕部４１２ａの表主面及び側面の先端部に設けられており、第一の振動腕部４１２ａの両側面に設けられた励振用電極４２１ｂと電気的に接続している。また、周波数調整用金属膜４２４ｂは、第二の振動腕部４１２ｂの表主面及び側面の先端部に設けられており、第二の振動腕部４１２ｂの両側面に設けられた励振用電極４２２ｂと電気的に接続している。
なお、圧電振動素子４００は、この周波数調整用金属膜４２４ａ及び４２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整することができる。

ところで、音叉型屈曲水晶振動子は、振動腕部から漏れる振動を、基部の両脇から延出する２本一対の支持腕部で吸収する構造が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
また、この特許文献２で開示されている音叉型屈曲水晶振動子の応用形態としては、この支持腕部の厚み方向に切欠きを設け、この切欠きにより振動腕部から漏れる振動を減衰させて、振動が伝播するのを防いでいる（例えば、特許文献３参照）。
また、音叉型屈曲水晶振動子の構造としては、基部の主面に溝状の凹部を形成したものが提案されている。この音叉型振動素子は、振動腕部から漏れる振動を減衰させて、振動の伝播を防ぐように溝状の凹部を形成している（例えば、特許文献４参照）。

なお、これら音叉型屈曲水晶振動子は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を有する素子搭載部材の、凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、さらに凹部の開口部は蓋体により気密封止されて圧電振動子となる（例えば、特許文献５参照）。
また、これら音叉型屈曲水晶振動子は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を有する素子搭載部材の、凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、さらに凹部の開口部は蓋体により気密封止されつつ、少なくとも発振回路を備えた集積回路素子を圧電振動素子と電気的に接続した構造とすると圧電発振器となる（例えば、特許文献５参照）。

特開２００６−３４５５１９号公報 特開２００５−０９４７２４号公報 特開２００６−１４８８５７号公報 実開昭５１−１３８０７６号公報 特開２００８−２５２８００号公報

しかしながら、音叉型屈曲水晶振動子の小型化が進むにつれて素子の外形形状の形成を化学エッチングに頼ることとなるが、化学エッチングでは、音叉型屈曲水晶振動子の支持腕部に設けた厚み方向の切欠きに残渣が生じてしまうため、正確な形状に成形するのが困難である。このような残渣により切欠きで振動の減衰が十分になされずに、振動が支持される部分へ伝播してしまい、所定の温度における周波数偏差の値（以下、「温度特性」という。）を悪化させ、また、クリスタルインピーダンスの値（以下、「ＣＩ値」という場合がある。）を高く悪化させてしまう恐れがある。
また、支持腕部を構成要素の一部としない音叉型屈曲水晶振動子は、基部の幅方向、つまり、振動腕部が基部から延出する方向に対して直角となる方向に溝状の凹部を形成しても、振動腕部から漏れる振動を十分に減衰させることができず、温度特性やＣＩ値を悪化させる恐れがある。

そこで、本発明では、前記した問題を解決し、振動腕部からの振動を減衰させ、振動の伝播を軽減させる音叉型屈曲水晶振動子を提供することを課題とする。

前記課題を解決するため、本発明は、基部と、この基部から延出する２本一対の振動腕部と、前記基部より延出する一本の支持腕部と備え、前記支持腕部が幅方向に全幅にわたって溝状の第一の凹部を有し、前記支持腕部が、前記基部から延出する前記振動腕部とは反対方向に延出して構成されており、前記基部が、前記振動腕部の延出する方向に対して直角となる方向に溝状の第二の凹部を有して構成されていることを特徴とする音叉型屈曲水晶振動子である。

また、本発明は、前記基部が、前記第二の凹部を前記基部の両主面に有しつつ互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられていても良い。

また、本発明は、二本一対の前記振動腕部のそれぞれが、前記振動腕部よりも短い溝状の第三の凹部を有して構成されていても良い。

また、本発明は、二本一対の前記振動腕部のそれぞれが、前記振動腕部よりも短い２つ以上並んだ溝状の第三の凹部を有して構成されていても良い。

このような音叉型屈曲水晶振動子によれば、基部から延出した支持腕部が、その幅方向に溝状の第一の凹部を有しているので、化学エッチングを用いて第一の凹部を形成しても、残渣による形状の変化を少なくすることができる。また、基部から延出した支持腕部がその幅方向に溝状の第一の凹部を有しているので、振動腕部から漏れる振動も、この支持腕部の第一の凹部に達するまでに、基部や途中の支持腕部により減衰したのちに、第一の凹部でさらに振動が減衰されるので、支持する部分への振動の伝播を軽減し、温度特性やＣＩ値の悪化を防ぐことができる。

また、本発明は、前記支持腕部が、前記第一の凹部を前記振動腕部の表裏主面に有しつつ互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられているため、表主面側を伝播する振動を減衰させつつ、裏主面側を伝播する振動を減衰させることができる。

また、本発明は、支持腕部が基部から延出する前記振動腕部とは反対方向に延出して構成されており、振動腕部から漏れる振動を支持腕部が有する第一の凹部で減衰させることができる。

また、本発明は、基部の幅方向に第二の凹部を設けたので、支持腕部が有する第一の凹部によって振動を減衰させ、基部が有する第二の凹部によって振動を減衰させるので、振動腕部から漏れる振動の減衰をさらに向上させることができる。

また、本発明は、基部の表裏主面に有する第二の凹部が、互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられているので、表主面側を伝播する振動を減衰させつつ、裏主面側を伝播する振動を減衰させることができる。

また、本発明は、二本一対の前記振動腕のそれぞれが、振動腕部よりも短い溝状の第三の凹部を有する構造となっており、振動腕部から漏れる振動を支持腕部が有する第一の凹部で減衰させることができる。

また、本発明は、二本一対の前記振動腕のそれぞれが、前記振動腕部よりも短い２つ以上並んだ溝状の第三の凹部を有する構造となっており、振動腕部から漏れる振動を支持腕部が有する第一の凹部で減衰させることができる。

本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子の一例を示す斜視図である。 本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子の一例を示す斜視図である。 第一の凹部の状態の一例を示す概念図である。 本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 本発明の第三の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 本発明の第四の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 本発明の第五の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 本発明の第六の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 従来の音叉型屈曲水晶振動子の一例を示す斜視図である。 従来の音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。

本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施形態」という。）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各構成要素について、状態をわかりやすくするために、誇張して図示している。

（第一の実施形態）
図１に示すように、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子１００は、圧電片１１０ａ（図２参照）と、その圧電片１１０ａの表面に設けられた励振用電極１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ及び１２２ｂと、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂと、周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂと、導配線パターン１２５，１２６，１２７と、により概略構成される。

図１及び図２に示すように、圧電片１１０ａは、例えば水晶からなり、平板状となる基部１１１と、この基部１１１の一辺から同一方向に延出している２本一対の振動腕部１１２と、基部１１１から延出している支持腕部１１３とから構成されている。
なお、振動腕部１１２は、２本一対であることから、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂとして説明する。

支持腕部１１３は、基部１１１の第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂの間であって、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂが延出する方向と同一の方向に基部１１１から延出している。
この支持腕部１１３に第一の凹部３１が設けられている。

支持腕部１１３が有する第一の凹部３１は、溝状に形成されており、支持腕部１１３の全幅にわたって設けられている。このような第一の凹部３１の外形形状は、周知のフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて形成することができる。
また、この第一の凹部３１は、実装の際に用いられる導電性接着剤が付けられる位置から離れた位置に設けられている。例えば、支持腕部１１３の先端部分を導電性接着剤が付けられる部分とした場合、支持腕部１１３の中間部分から基部１１１側に離れた位置に設けられることとなる。

なお、支持腕部１１３において、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから延出した方向に対して直角となる方向を幅とし、延出した方向を長さ方向とする。

この第一の凹部３１の断面形状は、例えば、Ｕ字型、Ｖ字型、傾斜角度が異なるように壁面が形成された断面形状などの形に形成しても良い。
また、この第一の凹部３１は、支持腕部１１３の厚さの中心を越えた深さで形成されている。
したがって、第一の凹部３１は、振動腕部１１２から漏れた振動を減衰させて支持する部分へ伝播する振動を減衰させることがきる。

図１に示すように、励振用電極１２１ａは、第一の振動腕部１１２ａの表裏主面に設けられている。また、励振用電極１２１ｂは、第一の振動腕部１１２ａの対向する両側面に設けられている。
周波数調整用金属膜１２４ａは、第一の振動腕部１１２ａの表裏主面の先端部に設けられており、第一の振動腕部１１２ａの両側面に設けられた励振用電極１２１ｂと電気的に接続している。
接続用電極１２３aは、第一の支持腕部１１３の先端部分であって、第一の振動腕部１１２ａ側の表裏主面に設けられている。

また、励振用電極１２２ａは、第二の振動腕部１１２ｂの表主面及び側面に設けられている。また、励振用電極１２２ｂは、第二の振動腕部１１２ｂの対向する両側面に設けられている。
周波数調整用金属膜１２４ｂは、第二の振動腕部１１２ｂの表主面及び側面の先端部に設けられており、第二の振動腕部１１２ｂの両側面に設けられた励振用電極１２２ｂと電気的に接続している。
また、接続用電極１２３ｂは、第一の支持腕部１１３の先端部分であって、第二の振動腕部１１２ｂ側の表裏主面に設けられている。

なお、音叉型屈曲水晶振動子１００は、周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整することができる。

図１に示すように、励振用電極１２１ａ及び１２２ｂと、周波数調整用金属膜１２４ｂと接続用電極１２３ｂとは、圧電片１１０ａ表面に設けられた、例えば導配線パターン１２６により電気的に接続している。
接続用電極１２３ｂは、導配線パターン１２６と電気的に接続している。この導配線パターン１２６は、基部１１１の表裏両主面に設けられている。また、この導配線パターン１２６は、励振用電極１２２ｂ及び周波数調整用金属膜１２４ｂと電気的に接続している。また、基部１１１の裏主面に設けられた導配線パターン１２６は、励振用電極１２１ａと電気的に接続している。

また、励振用電極１２１ｂ及び１２２ａと、周波数調整用金属膜１２４ａと接続用電極１２３ａとは、圧電片１１０ａ表面に設けられた、例えば導配線パターン１２７により電気的に接続している。接続用電極１２３ａは、支持腕部１１３の側面及び基部１１１の側面を用いて励振用電極１２１ｂ及び周波数調整用金属膜１２４ａと電気的に接続している。また、表主面に設けられた導配線パターン１２７は、励振用電極１２２ａと電気的に接続している。第二の振動腕部１１２ｂの表裏主面に設けられた励振用電極１２２ａは、基部１１１の側面を用いて電気的に接続している。

なお、各励振用電極、接続用電極、周波数調整用金属膜、導配線パターンは、下地金属としてのＣｒ層と、その下地金属の上に重ねて設けられたＡｕ層とから構成されている。

この音叉型屈曲水晶振動子１００を振動させる場合、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的にとらえると、第一の振動腕部１１２ｂの励振用電極１２１ｂは＋（プラス）電位となり、励振用電極１２１ａは−（マイナス）電位となり、＋から−に電界が生じる。一方、このときの第二の振動腕部１１２ｂの励振用電極１２２ａ，１２２ｂは、第一の振動腕部１１２ａの励振用電極１２１ａ，１２１ｂに生じた極性とは反対の極性となる。これらの印加された電界により、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに伸縮現象が生じ、各振動腕部１１２に設定した共振周波数の屈曲振動を得る。

音叉型屈曲水晶振動子１００は、圧電片１１０ａの表面に、前記した励振用電極、接続用電極、導配線パターン及び周波数調整用金属膜をフォトリソグラフィ技術及び蒸着技術により形成することができる。また、音叉型屈曲水晶振動子１００は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を設けた容器体の、その凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、更に凹部の開口部が蓋体により気密封止されて圧電振動子となる。

前記した音叉型屈曲水晶振動子１００によれば、圧電片１１０ａを構成する支持腕部１１３の全幅にわたって第一の凹部３１を設けることにより、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから漏れる振動が、支持腕部１１３の第一の凹部３１に達するまでに、基部１１１や途中の支持腕部により減衰したのちに、第一の凹部３１でさらに伝播する振動を減衰させることができる。これにより、第一の凹部３１は、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから漏れた振動の反射を軽減し、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂの振動を阻害するのを防ぐことができる。
また、支持腕部１１３の第一の凹部３１エッチング残渣を考慮することがなく、容易に形成することができる。

（第二の実施形態）
本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図３に示すように、音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片１１０ｂが、支持腕部１１３に設けられる第一の凹部３１を、支持腕部１１３の表裏主面に有している点で第一の実施形態と異なる。
以下、第一の実施形態と同一の構成要素については重複する説明を省略し、同一の符号を付す。

まず、図３に示すように、支持腕部１１３に設けられる第一の凹部３１は、支持腕部１１３の表裏主面に形成され、かつ、表主面側の第一の凹部３１と裏主面側の第一の凹部３１とは向かい合わずに、所定の間隔をあけて設けられている。
つまり、例えば裏主面に設けられた第一の凹部３１は、表主面に設けられている第一の凹部３１よりも基部１１１側に近い位置に設けられている。

このような第一の凹部３１について具体的に説明すると、第一の凹部３１の深さは、基部１１１の厚さに対して５０％より大きく９０％以下で形成されている。
例えば、第一の凹部３１の深さが５０％以下の場合は、支持腕部１１３内を伝播する振動が第一の凹部３１を通過してしまい、振動が漏れた状態となってＣＩ値を向上させにくくなる。また、第一の凹部３１の深さが９０％以上の場合は、支持腕部１１３の強度を確保することができず、製造途中で破損する恐れがある。
したがって、第一の凹部３１は、図４に示すように、表主面を伝播する振動Ｗを表主面側に設けられた第一の凹部３１で減衰させ、裏主面を伝播する振動Ｗを裏主面側に設けられた第一の凹部３１で減衰させる。また、それぞれの第一の凹部３１が支持腕部１１３の厚みの中心ＣＬを越える深さで形成されているので、支持腕部１１３の内部を伝播する振動も第一の凹部３１で減衰させることができる。したがって、第一の凹部３１により、振動腕部１１２から漏れた振動を減衰させて支持腕部１１３における支持する部分へ伝播する振動をさらに減衰させることがきる。
このように、支持腕部１１３の表裏主面の第一の凹部３１が所定の間隔をあけて設けられているので、さらに振動の減衰をさせることができる。

（第三の実施形態）
本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、例えば、図５に示すように、第一の実施形態に用いられる圧電片１１０ａの支持腕部１１３を、振動腕部１１２である第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとは反対の方向に基部１１１から延出させて構成されている。
その一例として、図５に示す圧電片１１０ｃについて説明する。
圧電片１１０ｃは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと、これら第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂとは反対の方向に基部から延出する第一の支持腕部１１３とを備えている。
また、支持腕部１１３は、全幅にわたって第一の凹部３１が設けられている。

支持腕部１１３が有する第一の凹部３１は、前記の通り溝状に形成されており、支持腕部１１３の全幅にわたって設けられている。このような第一の凹部３１の外形形状は、周知のフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて形成することができる。
また、この第一の凹部３１は、実装の際に用いられる導電性接着剤が付けられる位置から離れた位置に設けられている。例えば、支持腕部１１３の先端部分導電性接着剤が付けられる部分とした場合、支持腕部１１３の中間部分から基部１１１側に離れた位置に設けられることとなる。
このように第三の実施形態を構成しても、第一の実施形態と同様の効果を奏する。

（第三の実施形態の変形例）
第三の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図６に示すように、圧電片１１０ｄが、支持腕部１１３に設けられる第一の凹部３１を表裏主面に有している点で第三の実施形態と異なる。
言い換えれば、第三の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子は、支持腕部１１３を振動腕部１１２とは反対の方向に基部１１１から延出している点で第二の実施形態と異なる。
支持腕部１１３の第一の凹部３１を、支持腕部１１３の表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けられている。
この表主面側に設けられる第一の凹部３１は、裏主面側に設けられる第一の凹部３１より基部１１１側に設けられる。
このように第三の実施形態の変形例を構成しても、第二の実施形態と同様の効果を奏する。

（第四の実施形態）
本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、基部１１１が第二の凹部３２を有している点で第三の実施形態と異なる。
図７に示すように、本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片１１０ｅは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと、これら第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂとは反対の方向に基部から延出する第一の支持腕部１１３とを備えている。
ここで、基部１１１は、幅方向に導配線パターンを設ける部分を残して全幅にわたって第二の凹部３２が設けられている。
また、支持腕部１１３は、全幅にわたって第一の凹部３１が設けられている。
このように、第四の実施形態を構成したので、支持腕部１１３が有する第一の凹部３１による振動の減衰に加えて、基部１１１が有する第二の凹部３２による振動の減衰が行えるので、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから漏れる振動の伝播の軽減を向上させることができる。

（第四の実施形態の変形例）
第四の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図８に示すように、圧電片１１０ｆが、基部１１１の表裏主面に幅方向に伸びる第二の凹部３２を有している点で第四の実施形態と異なる。
支持腕部１１３の第一の凹部３１は、表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けられている。
また、基部１１１の裏主面側に設けられる第二の凹部３２は、表主面側に設けられる第一の凹部３２より第一の励振腕部１１２ａ及び第二の励振腕部１１２ｂに近い側に設けられる。
このように第四の実施形態の変形例を構成しても、支持腕部１１３が有する表裏主面の第一の凹部３１による振動の減衰に加えて、基部１１１が有する表裏主面の第二の凹部３２による振動の減衰が行えるので、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから漏れる振動の伝播の軽減を向上させることができる。

（第五の実施形態）
本発明の第五の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、第一の実施形態〜第四の実施形態、および変形例に用いられる圧電片１１０ａ〜１１０ｆの振動腕部１１２である第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂが第三の凹部３３を有して構成されている。
その一例として、図９に示す圧電片１１０ｇについて説明する。
圧電片１１０ｇは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと、これら第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂと同一の方向に基部から延出する支持腕部１１３とを備えている。

第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとには、溝状の第三の凹部３３が設けられている。
これら第三の凹部３３は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの基部から延出する延出方向と同一となっており、所定の深さで第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとに形成されている。
また、第三の凹部３３は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂよりも長さが短くなるように第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂに設けられる。
このような第三の凹部３３は、振動の伝播を軽減させる役割はなく、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの屈曲振動を安定させる役割を果たす。
第一の支持腕部１１３は、全幅にわたって第一の凹部３１が設けられている。
なお、支持腕部１１３の第一の凹部３１を、向かい合わないように表裏主面に所定の間隔をあけて設けられている。
このように、第五の実施形態を構成しても、振動腕部１１２から漏れる振動を減衰させることができる。

（第六の実施形態）
本発明の第六の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、第一の実施形態〜第四の実施形態、および変形例に用いられる圧電片１１０ａ〜１１０ｆの振動腕部１１２である第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂがそれぞれ２本一対の第三の凹部３３を有して構成されている。
その一例として、図１０に示す圧電片１１０ｈについて説明する。
圧電片１１０ｈは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと、これら第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂと同一の方向に基部から延出する支持腕部１１３とを備えている。

第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとには、例えば、溝状の２本の第三の凹部３３が設けられている。
これら第三の凹部３３は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの基部から延出する延出方向と同一となっており、所定の深さで第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとに形成されている。
また、第三の凹部３３は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂよりも長さが短くなるように第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂに設けられる。
このような第三の凹部３３は、振動の伝播を軽減させる役割はなく、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの屈曲振動を安定させる役割を果たす。

支持腕部１１３は、全幅にわたって第一の凹部３１が設けられている。
なお、支持腕部１１３の第一の凹部３１を、向かい合わないように表裏主面に所定の間隔をあけて設けられている。
このように、第六の実施形態を構成しても、振動腕部１１２から漏れる振動を減衰させることができる。

なお、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、適宜、変更可能である。
例えば、第一の実施形態を基にして、第二の実施形態から第六の実施形態を種々組み合わせた構造の音叉型屈曲水晶振動子を構成しても本発明に含まれるのは言うまでもない。
また、第一の凹部３１及び第二の凹部は、一方の主面又は両方の主面において、複数並べるように設けても良い。
これらのように音叉型屈曲水晶振動子を構成しても、振動腕部から漏れる振動を減衰させて、支持する部分への振動の伝播を軽減し、温度特性やＣＩ値の悪化を軽減させることができる。

１００ 音叉型屈曲水晶振動子
３１ 第一の凹部
３２ 第二の凹部
３３ 第三の凹部
１１０ａ〜１１０ｈ 圧電片
１１１ 基部
１１２ 振動腕部
１１２ａ 第一の振動腕部
１１２ｂ 第二の振動腕部
１１３ 支持腕部

Claims (4)

1. 基部と、この基部から延出する２本一対の振動腕部と、前記基部より延出する一本の支持腕部と備え、
   前記支持腕部が幅方向に全幅にわたって溝状の第一の凹部を有し、
   前記支持腕部が、前記基部から延出する前記振動腕部とは反対方向に延出して構成されており、
   前記基部が、前記振動腕部の延出する方向に対して直角となる方向に溝状の第二の凹部を有して構成されていること
   ことを特徴とする音叉型屈曲水晶振動子。
2. 前記基部が、前記第二の凹部を前記基部の両主面に有しつつ互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられていることを特徴とする請求項１に記載の音叉型屈曲水晶振動子。
3. 二本一対の前記振動腕部のそれぞれが、前記振動腕部よりも短い溝状の第三の凹部を有して構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の音叉型屈曲水晶振動子。
4. 二本一対の前記振動腕部のそれぞれが、前記振動腕部よりも短い２つ以上並んだ溝状の第三の凹部を有して構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の音叉型屈曲水晶振動子。

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