JP2011176701A - 音叉型屈曲水晶振動素子 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、溝部により反射された各振動腕部から漏れた振動による振動特性の悪化を低減でき、且つ素子としての剛性を高めた音叉型屈曲水晶振動素子を提供することを課題とする。
【解決手段】基部と、前記基部から延出する第一の振動腕部と第二の振動腕部を備え、前記基部の両主面には、平面視略円弧状の２本の小溝部で構成された第一の溝部が設けられており、前記小溝部は前記基部の幅方向の中心線に対して線対称となるように設けられており、前記第一の溝部は、それぞれの前記第一の溝部の底部が前記基部の内部で対向しない位置に設けられている音叉型屈曲水晶振動素子。
【選択図】 図１

Description

本発明は、電子機器に用いられる音叉型屈曲水晶振動素子に関する。

従来、コンピュータ，携帯電話又は小型情報機器等の電子機器には、電子部品の一つとして水晶振動子又は水晶発振器が搭載されている。この水晶振動子又は水晶発振器は、基準信号源やクロック信号源として用いられる。又、水晶振動子や水晶発振器には、その内部に音叉型屈曲水晶振動素子が搭載されている。

図９は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子の一例を示す斜視図である。図１０は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片の一例を示す斜視図である。
図９に示すように、音叉型屈曲水晶振動素子２００は、水晶片２１０（図１０参照）と、その水晶片２１０の表面に設けられた励振用電極２２１ａ，２２１ｂ，２２２ａ及び２２２ｂと、接続用電極２２３ａ及び２２３ｂと、周波数調整用金属膜２２４ａ及び２２４ｂと、導配線パターン２２５及び２２６とにより概略構成される（例えば、特許文献１参照）。

図１０に示すように、水晶片２１０は、基部２１１と、この基部２１１の一辺から同一方向に延出した第一の振動腕部２１２ａと第二の振動腕部２１２ｂとからなる。基部２１１は、結晶の軸方向として電気軸がＸ軸、機械軸がＹ軸、及び光軸がＺ軸となる直交座標系としたとき、Ｘ軸周りに−５°〜＋５°の範囲内で回転させたＺ′軸の方向が厚み方向となる平面視略四角形の平板である。第一の振動腕部２１２ａ及び第二の振動腕部２１２ｂは、基部２１１の一辺からＹ′軸の方向に平行に延設されている。尚、この基部２１１において、平面視で第一の振動腕部２１２ａと第二の振動腕部２１２ｂとが延出した方向と同じ方向を基部２１１の長さ方向といい、この基部２１１の長さ方向に対し平面視直角となる方向を基部２１１の幅方向という。

この基部２１１の両主面には、第一の振動腕部２１２ａ及び第二の振動腕部２１２ｂから基部２１１に漏れる振動を減衰させるために、それぞれの主面に一本ずつ溝部２３０が、それぞれの溝部２３０の底部を対向させるように設けられている。尚、この両主面とは、基部２１１の表面積の最も広く形成されている面であって、一方の面と他方の面とが平行となった２つの面をいい、又、これら２つの面と同一の方向を向く第一の振動腕部２１２ａと第二の振動腕部２１２ｂの面も含まれる。又、図９及び図１０において、図面で現われている面を「一方の主面」とし、隠れている面を「他方の主面」とする。
この溝部２３０は、基部２１１の幅方向に対し平行で且つ直線状に設けられており、溝部２３０の両端部が基部２１１の両側面にまで至る形状となっている。水晶片２１０は、これら基部２１１、第一の振動腕部２１２ａ、第二の振動腕部２１２ｂが一体で構成されている（例えば、特許文献１参照）。

図９に示すように、励振用電極２２１ａは、水晶片２１０を構成する第一の振動腕部２１２ａの対向する両主面に設けられている。励振用電極２２１ｂは、第一の振動腕部２１２ａの対向する両側面に設けられている。又、励振用電極２２２ａは、第二の振動腕部２１２ｂの対向する両主面に設けられている。更に、励振用電極２２２ｂは、第二の振動腕部２１２ｂの対向する両側面に設けられている。

尚、第一の振動腕部２１２ａの両側面に設けられた励振用電極２２１ｂは、両主面上で電気的に接続している。又、第二の振動腕部２１２ｂの両側面に設けられた励振用電極２２２ｂは、両主面上で電気的に接続している。

接続用電極２２３ａは、基部２１１の幅方向において第一の振動腕部２１２ａに近い側の両主面に対向させて設けられている。この接続用電極２２３ａは、励振用電極２２１ｂと電気的に接続している。又、この接続用電極２２３ａは、基部２１１の一方の主面に設けられた導配線パターン２２５と、励振用電極２２１ｂを介して基部２１１の他方の主面に設けられた導配線パターン（図示せず）とにより、第二の振動腕部２１２ｂの励振用電極２２２ａとも電気的に接続している。

接続用電極２２３ｂは、基部２１１の幅方向において第二の振動腕部２１２ｂに近い側の両主面に対向させて設けられている。この接続用電極２２３ｂは、励振用電極２２２ｂと電気的に接続している。又、この接続用電極２２３ｂは、基部２１１の他方の主面に設けられた導配線パターン（図示せず）と、励振用電極２２２ｂを介して基部２１１の一方の主面に設けられた導配線パターン２２６とにより、第一の振動腕部２１２ａの励振用電極２２１ａと電気的に接続している。

周波数調整用金属膜２２４ａは、第一の振動腕部２１２ａの先端部の両主面及び側面に設けられており、第一の振動腕部２１２ａの両側面に設けられた励振用電極２２１ｂと電気的に接続している。又、周波数調整用金属膜２２４ｂは、第二の振動腕部２１２ｂの先端部の両主面及び側面に設けられており、第二の振動腕部２１２ｂの両側面に設けられた励振用電極２２２ｂと電気的に接続している。尚、音叉型屈曲水晶振動素子２００は、この周波数調整用金属膜２２４ａ及び２２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整することができる（例えば、特許文献２参照）。

尚、このような音叉型屈曲水晶振動素子２００は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を有する素子搭載部材の、凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、さらに凹部の開口部は蓋体により気密封止されて水晶振動子となる。又、このような音叉型屈曲水晶振動素子２００は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を有する素子搭載部材の、凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、さらに凹部の開口部は蓋体により気密封止されつつ、少なくとも発振回路を備えた集積回路素子を、搭載した音叉型屈曲水晶振動素子２００と電気的に接続した構造とすると水晶発振器となる（例えば、特許文献３参照）。

実開昭６０−６１８３４号公報 特開平１０−２５６８６８号公報 特開２００８−３０１２９７号公報

しかしながら、各振動腕部から漏れた振動の一部は、減衰されずに溝部により反射してしまう。従来の音叉型屈曲水晶振動素子２００において、各振動腕部から漏れた振動は、溝部２３０が第一の振動腕部２１２ａ及び第二の振動腕部２１２ｂの延出した方向に対して直角で且つ直線状に設けられているため、各振動腕部の方向へそのまま反射される。反射された振動は、第一の振動腕部２１２ａ及び第二の振動腕部２１２ｂに達し、各振動腕部の正常な屈曲振動を抑制してしまい、温度特性やクリスタルインピーダンス（以下、ＣＩという）値などの振動特性を悪化させてしまうという課題がある。

又、従来の音叉型屈曲水晶振動素子２００では、基部２１１の幅方向に対し平行で且つ直線状に設けられた溝部２３０が基部２１１の両主面で対向して設けられているため、落下等で基部２１１の長さ方向に曲げ応力が加わった場合、その応力が溝部２３０が設けられ厚みが薄くなった部分に集中し、溝部２３０のところで音叉型屈曲水晶振動素子２００が破損しまう恐れがある。

そこで、本発明は、溝部により反射された各振動腕部から漏れた振動による振動特性の悪化を低減でき、且つ素子としての剛性を高めた音叉型屈曲水晶振動素子を提供することを課題とする。

前記課題を解決するため、本発明は、基部と、前記基部から延出する第一の振動腕部と第二の振動腕部を備え、
前記基部の両主面には、平面視略円弧状の２本の小溝部で構成された第一の溝部が設けられており、
前記小溝部は前記基部の幅方向の中心線に対して線対称となるように設けられており、
前記第一の溝部は、それぞれの前記第一の溝部の底部が前記基部の内部で対向しない位置に設けられていることを特徴とする。

又、本発明は、前記小溝部が、一方の前記小溝部の中心線側の一方の端部と、他方の前記小溝部の中心線側の一方の端部とは繋がっており、且つそれぞれの前記小溝部の他方の端部は前記基部の側面にまで至っている形状でも良い。

又、本発明は、第一の振動腕部及び第二の振動腕部が、前記第一の振動腕部及び前記第二の振動腕部よりも短い第二の溝部を有して構成しても良い。

又、本発明は、第一の振動腕部及び第二の振動腕部が、前記第一の振動腕部及び前記第二の振動腕部よりも短い２つ以上並んだ第二の溝部を有して構成しても良い。

このような音叉型屈曲水晶振動素子によれば、基部の両主面に平面視略円弧状の小溝部で構成された第一の溝部が、基部の両主面において対向しないように設けられている。よって、各振動腕部から基部に漏れた振動は、この平面視円弧状の第一の溝部により減衰されると共に、一部の振動は湾曲した第一の溝部により伝播した振動腕部の方向とは異なった方向に且つ拡散して反射される。よって、反射した振動が各振動腕部に至る量が従来に比べ少なくなり、各振動腕部の正常な振動を抑制することがなく、温度特性やＣＩ値などの振動特性が悪化することがない。

又、第一の溝部は、平面視略円弧状の小溝部で構成されており、且つ基部の両主面において、それぞれの第一の溝部の底部が基部の内部で対向しない位置に設けられている。そのため、本発明による音叉型屈曲水晶振動素子は、第一の溝部が設けられた部分の基部の厚みが従来に比べ厚く、且つ湾曲した小溝部で構成された第一の溝部が基部に長さ方向に対する曲げ応力に対して補強する機能を有していることから、従来に比べ素子の剛性が高い。よって落下等で基部に曲げ応力が加わっても、従来に比べ音叉型屈曲水晶振動素子が破損することが少なくなる。

よって、本発明は、溝部により反射された各振動腕部から漏れた振動による振動特性の悪化を低減でき、且つ素子としての剛性を高めた音叉型屈曲水晶振動素子を提供できる効果を奏する。

本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の一例を示す斜視図である。 本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片の一例を示す斜視図である。 本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の一例を示す平面図であり、（ａ）は一方の主面上から見た図であり、（ｂ）は他方の主面上から見た図である。 本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の第一の変形例を示す平面図あり、（ａ）は一方の主面上から見た図であり、（ｂ）は他方の主面上から見た図である。 本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の第二の変形例を示す平面図あり、（ａ）は一方の主面上から見た図であり、（ｂ）は他方の主面上から見た図である。 本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の第三の変形例を示す平面図あり、（ａ）は一方の主面上から見た図であり、（ｂ）は他方の主面上から見た図である。 本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片の一例を示す斜視図である。 本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片の一例を示す斜視図である。 従来の音叉型屈曲水晶振動素子の一例を示す斜視図である。 従来の音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片の一例を示す斜視図である。

本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」という。）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。尚、各構成要素について状態をわかりやすくするために、誇張して図示している。

（第一の実施形態）
図１〜図３に示すように、音叉型屈曲水晶振動素子１００は、水晶片１１０ａ（図２を参照）と、その水晶片１１０ａの表面に設けられた励振用電極１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ及び１２２ｂと、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂと、周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂと、導配線パターン１２５及び１２６とにより概略構成される。

図２に示すように、水晶片１１０ａは、基部１１１と、第一の振動腕部１１２ａと、第二の振動腕部１１２ｂと、第一の支持部１１３ａと、第二の支持部１１３ｂとからなる。基部１１１は、結晶の軸方向として電気軸がＸ軸、機械軸がＹ軸、及び光軸がＺ軸となる直交座標系としたとき、Ｘ軸周りに−５°〜＋５°の範囲内で回転させたＺ′軸の方向が厚み方向となる平面視略四角形の平板である。第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂは、基部１１１の一辺からＹ′軸の方向に平行に延出して設けられている。第一の支持部１１３ａは、基部１１１の第一の振動腕部１１２ａ側の側部から第一の振動腕部１１２ａの延設方向とは平面視直交する方向に、所定の長さで延設されている。第二の支持部１１３ｂは、基部１１１の第二の振動腕部１１２ｂ側の側部から第二の振動腕部１１２ｂの延設方向とは平面視直交する方向に、所定の長さで延設されている。
尚、この基部１１１において、平面視で第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとが延出した方向と同じ方向を基部１１１の長さ方向といい、この基部１１１の長さ方向に対し平面視直角となる方向を基部１１１の幅方向という。

この基部１１１の両主面にはそれぞれ第一の溝部１３０が設けられている。それぞれの第一の溝部１３０は平面視略円弧状で振動腕部側に湾曲した形状の小溝部１３０ａと小溝部１３０ｂとで構成されており、図３に示すように、小溝部１３０ａと小溝部１３０ｂとが基部１１１の幅方向の中心線Ａに対して線対称となるように設けられている。又、小溝部１３０ａの中心線Ａ側の一方の端部と、小溝部１３０ｂの中心線Ａ側の一方の端部とは繋がっており、且つ小溝部１３０ａ及び１３０ｂの他方の端部は、基部１１１の側面にまで至っている。更に、基部１１１の両主面における第一の溝部１３０は、それぞれの第一の溝部１３０の底部が基部１１１の内部で対向しない位置に設けられており、第一の溝部１３０の深さが基部１１１の厚みの１／２を越える深さで形成されている。この小溝部１３０ａと１３０ｂの断面形状は、例えば、Ｕ字型、Ｖ字型、又は傾斜角度が異なる壁面で形成された断面形状などの形に形成しても良い。

尚、基部１１１の両主面とは、基部１１１の表面積の最も広く形成されている面であって、一方の面と他方の面とが平行となった２つの面をいう。又、これら２つの面と同一の方向を向く第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂの面も両主面という。更に、図１及び図２において、図面で現われている面を「一方の主面」とし、隠れている面を「他方の主面」とする。又、図３〜図５において、（ａ）に図示した面を「一方の主面」とし、（ｂ）に図示した面を「他方の主面」とする。
これら基部１１１と第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと第一の支持部１１３ａと第二の支持部１１３ｂとは一体で構成されている。

図１及び図３に示すように、励振用電極１２１ａは、水晶片１１０ａを構成する第一の振動腕部１１２ａの対向する両主面に設けられている。励振用電極１２１ｂは、第一の振動腕部１１２ａの対向する両側面に設けられている。又、励振用電極１２２ａは、第二の振動腕部１１２ｂの対向する両主面に設けられている。更に、励振用電極１２２ｂは、第二の振動腕部１１２ｂの対向する両側面に設けられている。尚、第一の振動腕部１１２ａの両側面に設けられた励振用電極１２１ｂは、両主面上で電気的に接続している。又、第二の振動腕部１１２ｂの両側面に設けられた励振用電極１２２ｂは、両主面上で電気的に接続している。

接続用電極１２３ａは、第一の支持部１１３ａの表面及び基部１１１の幅方向において第一の振動腕部１１２ａに近い側の両主面に対向させて設けられている。又、この接続用電極１２３ａは、基部１１１の第一の振動腕部１１２ａに近い側の側面に延設して、励振用電極１２１ｂと電気的に接続している。更に、この接続用電極１２３ａは、基部１１１の一方の主面に設けられた導配線パターン１２５と、励振用電極１２１ｂを介して基部１１１の他方の主面に設けられた導配線パターン１２７とにより、第二の振動腕部１１２ｂの励振用電極１２２ａとも電気的に接続している。

接続用電極１２３ｂは、第二の支持部１１３ｂの表面及び基部１１１の幅方向において第一の振動腕部１１２ｂに近い側の両主面に対向させて設けられている。又、この接続用電極１２３ｂは、基部１１１の第一の振動腕部１１２ｂに近い側の側面に延設して、励振用電極１２２ｂと電気的に接続している。更に、この接続用電極１２３ｂは、基部１１１の他方の主面に設けられた導配線パターン１２８と、励振用電極１２２ｂを介して基部１１１の一方の主面に設けられた導配線パターン１２６とにより、第一の振動腕部１１２ａの励振用電極１２１ａと電気的に接続している。

周波数調整用金属膜１２４ａは、第一の振動腕部１１２ａの先端部の両主面及び側面に設けられており、第一の振動腕部１１２ａの両側面に設けられた励振用電極１２１ｂと電気的に接続している。又、周波数調整用金属膜１２４ｂは、第二の振動腕部１１２ｂの先端部の両主面及び側面に設けられており、第二の振動腕部１１２ｂの両側面に設けられた励振用電極１２２ｂと電気的に接続している。尚、音叉型屈曲水晶振動素子１００は、この周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整することができる。尚、各励振用電極、接続用電極、周波数調整用金属膜、導配線パターンは、例えば、下地金属としてのＣｒ層と、その下地金属の上に重ねて設けられたＡｕ層とから構成されている。

この音叉型屈曲水晶振動素子１００を振動させる場合、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的にとらえると、第一の振動腕部１１２ｂの励振用電極１２１ｂは＋（プラス）電位となり、励振用電極１２１ａは−（マイナス）電位となり、＋から−に電界が生じる。一方、このときの第二の振動腕部１１２ｂの励振用電極は、第一の振動腕部１１２ａの励振用電極に生じた極性とは反対の極性となる。これらの印加された電界により、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに伸縮現象が生じ、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに設定した共振周波数の屈曲振動を得る。

音叉型屈曲水晶振動素子１００は、水晶片１１０ａの表面に、前記した励振用電極、接続用電極、導配線パターン及び周波数調整用金属膜をフォトリソグラフィ技術及び成膜技術により形成することができる。又、音叉型屈曲水晶振動素子１００は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を設けた素子搭載部材の、その凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、更に凹部の開口部が蓋体により気密封止されて水晶振動子となる。

このような音叉型屈曲水晶振動素子１００によれば、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから基部１１１に漏れた振動は、基部１１１の両主面にそれぞれ設けられた第一の溝部１３０により減衰されると共に、一部の振動は湾曲した第一の溝部１３０により伝播してきた振動腕部の方向とは異なった方向に且つ拡散して反射される。又、基部１１１の内部を伝播する漏れた振動は、基部１１１のそれぞれの主面に設けられる第一の溝部１３０の深さが、基部１１１の厚みの１／２を越える深さで形成されているので、両主面のどちらかの第一の溝部１３０と必ず当たる。よって、基部１１１の内部を伝播する振動も、伝播してきた振動腕部の方向とは異なった方向に且つ拡散して反射される。よって、従来に比べ第一の溝部１３０により反射した振動が第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに至る量が少なくなり、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂの正常な屈曲振動を抑制することがなく、温度特性やＣＩ値などの振動特性が悪化することがない。

又、第一の溝部１３０は、平面視略円弧状で振動腕部側に湾曲した形状の小溝部１３０ａと溝部１３０ｂとで構成されており、且つ基部１１１の両主面においてそれぞれの第一の溝部１３０の底部が基部１１１の内部で対向しない位置に設けられている。そのため、音叉型屈曲水晶振動素子１００は、第一の溝部１３０が設けられた部分の基部１１１の厚みが従来に比べ厚く、且つ湾曲した小溝部１３０ａと１３０ｂとにより構成された第一の溝部１３０が、基部１１１に長さ方向に対する曲げ応力に対して補強する機能を有していることから、従来に比べ音叉型屈曲水晶振動素子の剛性が高い。よって落下等で基部１１１に長さ方向に対する曲げ応力が加わっても、従来に比べ音叉型屈曲水晶振動素子１００が破損することが少なくなる。

（第一の変形例）
図４は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の第一の変形例を示す。本発明の実施形態になる音叉型屈曲水晶振動素子の第一の変形例は、第一の溝部１３０が平面視略円弧状であり且つ振動腕部側に湾曲した形状の小溝部１３０ｃと小溝部１３０ｄとで構成されている。したがって、このように音叉型屈曲水晶振動素子の第一の変形例を構成しても、本発明の第一の実施形態と同様の効果を奏する。

（第二の変形例）
図５は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の第二の変形例を示す。本発明の実施形態になる音叉型屈曲水晶振動素子の第二の変形例は、第一の溝部１３０が平面視略円弧状であり、且つ振動腕部側とは反対側に湾曲した形状の小溝部１３０ｅと小溝部１３０ｆとで構成されている。したがって、このような音叉型屈曲水晶振動素子の第一の変形例を構成しても、本発明の第一の実施形態と同様の効果を奏する。

（第三の変形例）
図６は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の第三の変形例を示す。本発明の実施形態になる音叉型屈曲水晶振動素子の第三の変形例は、第一の溝部１３０が平面視略円弧状で振動腕部側とは反対側に湾曲した形状の小溝部１３０ｇと小溝部１３０ｈとで構成されている。したがって、このような音叉型屈曲水晶振動素子の第一の変形例を構成しても、本発明の第一の実施形態と同様の効果を奏する。

（第二の実施形態）
本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、第一の実施形態に用いられる水晶片１１０ａの第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに第二の溝部１４０が設けられていることで第一の実施形態とは異なっている。
図７に示すように、本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片１１０ｂは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとを備えている。尚、基部１１１の両主面には、第一の実施形態と同じ形状の第一の溝部１３０が設けられている。

第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂのそれぞれの主面には、１本の第二の溝部１４０が設けられている。これら第二の溝部１４０は、その長さ方向が基部１１１から第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂが延出する方向と同一となっており、且つ所定の深さで形成されている。
又、第二の溝部３２の長さは、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂの長さよりも短い。このような第二の溝部１４０は、この第二の溝部１４０の溝内部の表面に励振用電極を設けることにより、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂの両主面と両側面に設けられた励振用電極が対向できるので、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂが安定した屈曲振動をする役割を果たす。このように第一の溝部１３０は、第一の実施形態と同じ作用効果を第二の実施形態においても奏することができる。

（第三の実施形態）
本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、第一の実施形態に用いられる水晶片１１０ａの第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂにそれぞれ２本一対の第二の溝部１４０が設けられていることで第一の実施形態とは異なっている。
図８に示すように、本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いられる水晶片１１０ｃは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとを備えている。尚、基部１１１の両主面には、第一の実施形態と同じ形状の第一の溝部１３０が設けられている。

第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂのそれぞれの主面には、例えば２本の第二の溝部１４０が設けられている。これら第二の溝部１４０は、その長さ方向が基部１１１から第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂが延出する方向と同一となっており、且つ所定の深さで形成されている。
又、第二の溝部１４０は、その長さが第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂの長さよりも短く、又第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂに幅方向に並べて設けられる。このような第二の溝部１４０は、この第二の溝部１４０の溝内部の表面に励振用電極を設けることにより、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂの両主面と両側面に設けられた励振用電極が対向できるので、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂが安定した屈曲振動をする役割を果たす。このように第一の溝部１３０は、第一の実施形態と同じ作用効果を第三の実施形態においても奏することができる。

尚、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、適宜、変更可能である。
例えば、本実施形態では、一方の小溝部の中心線側の一方の端部と、他方の小溝部の中心線側の一方の端部とが繋がり、且つそれぞれの小溝部の他方の端部が基部の側面にまで至っている形状の小溝部で構成された第一の溝部を示した。しかし、本発明の効果を奏するのであれば、一方の小溝部の中心線側の一方の端部と他方の小溝部の中心線側の一方の端部とが繋がっていない形状や、それぞれの小溝部の他方の端部が基部の側面にまで至っていない形状でも構わない。
又、小溝部の平面視形状も本実施形態に示したのに限定されず、本発明の効果を奏するのであれば、例えば、円周をｎ等分（ｎ：自然数）した円弧形状でも良い。
又、本実施形態では基部に第一の支持部及び第二の支持部が設けられた形状の水晶片を示したが、基部に支持部を設けない形状の水晶片でも構わない。又、基部の形状についても、第一の溝部を形成でき、本発明の効果を奏するのであれば、本実施形態に開示したものに限定されるものではない。
又、第二の溝部は、第一の振動腕部及び第二の振動腕部の長さ方向に並べて設けても良い。
又、前記した本実施形態では、水晶片を用いた場合を説明したが、他の圧電素材として、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム又は、圧電セラミックスを圧電素材として用いた圧電振動素子でも構わない。

１００・・・音叉型屈曲水晶振動素子
１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ・・・水晶片
１１１・・・基部
１１２ａ・・・第一の振動腕部
１１２ｂ・・・第二の振動腕部
１３０・・・第一の溝部
１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄ，１３０ｅ，１３０ｆ，１３０ｇ，１３０ｈ・・・小溝部
１４０・・・第二の溝部
Ａ・・・中心線

Claims (4)

1. 基部と、前記基部から延出する第一の振動腕部と第二の振動腕部を備え、
   前記基部の両主面には、平面視略円弧状の２本の小溝部で構成された第一の溝部が設けられており、
   前記小溝部は前記基部の幅方向の中心線に対して線対称となるように設けられており、
   前記第一の溝部は、それぞれの前記第一の溝部の底部が前記基部の内部で対向しない位置に設けられていることを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子。
2. 前記小溝部において、一方の前記小溝部の中心線側の一方の端部と、他方の前記小溝部の中心線側の一方の端部とは繋がっており、且つそれぞれの前記小溝部の他方の端部は前記基部の側面にまで至って設けられていることを特徴とする請求項１記載の音叉型屈曲水晶振動素子。
3. 前記第一の振動腕部及び前記第二の振動腕部が、前記第一の振動腕部及び前記第二の振動腕部よりも短い第二の溝部を有して構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の音叉型屈曲水晶振動素子。
4. 前記第一の振動腕部及び前記第二の振動腕部が、前記第一の振動腕部及び前記第二の振動腕部よりも短い２つ以上並んだ第二の溝部を有して構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の音叉型屈曲水晶振動素子。

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