JP5379578B2 - 音叉型屈曲水晶振動子 - Google Patents

Description

本発明は、電子機器に用いられる音叉型屈曲水晶振動子に関する。

従来、コンピュータ，携帯電話又は小型情報機器等の電子機器には、電子部品の一つとして圧電振動子又は圧電発振器が搭載されている。この圧電振動子又は圧電発振器は、基準信号源やクロック信号源として用いられる。又、圧電振動子や圧電発振器は、その内部に水晶からなる音叉型屈曲水晶振動子が搭載されている。
以下、圧電材料に水晶を用いた音叉型屈曲水晶振動子について説明する。

図１６は、従来の音叉型屈曲水晶振動子の一例を示す斜視図である。図１７は、従来の音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。
図１６に示すように、音叉型屈曲水晶振動子４００は、圧電片４１０（図１７参照）と、その圧電片４１０の表面に設けられた励振用電極４２１ａ，４２１ｂ，４２２ａ及び４２２ｂと、接続用電極４２３ａ及び４２３ｂと、周波数調整用金属膜４２４ａ及び４２４ｂと、導配線パターン４２５，４２６とにより概略構成される（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

図１７に示すように、圧電片４１０は、平面視略四角形の平板である基部４１１と、この基部４１１の一辺から同一方向に延出した振動腕部４１２と、基部４１１の他の一辺から延出した支持腕部４１３、４１４とにより構成されている（例えば、特許文献３参照）。
以下、振動腕部４１２は、２本一対で構成されているため、第一の振動腕部４１２ａ、第二の振動腕部４１２ｂとして説明する。
また、支持腕部４１３，４１４は、２本一対で構成されているため、第一の支持腕部４１３、第二の支持腕部４１４として説明する。

第一の支持腕部４１３は、第一の延出部４１３ａと第二の延出部４１３ｂとから構成されている。
第一の延出部４１３ａは、第一の振動腕部４１２ａ及び第二の振動腕部４１２ｂの延出する方向に対して直角となる方向に基部４１１から延出している。また、第二の延出部４１３ｂは、前記第一の振動腕部４１２ａと平行に第一の延出部４１３ａの所定の位置から延出している。
また、第二の支持腕部４１４は、第一の延出部４１４ａと第二の延出部４１４ｂとから構成されている。
第一の延出部４１４ａは、第一の振動腕部４１２ａ及び第二の振動腕部４１２ｂの延出する方向に対して直角となる方向で、第一の支持腕部４１３の第一の延出部４１３ａとは反対の方向に基部４１１から延出している。また、第二の延出部４１４ｂは、前記第二の振動腕部４１２ｂと平行に第一の延出部４１４ａの所定の位置から延出している。

圧電片４１０は、これら基部４１１、第一の振動腕部４１２ａ、第二の振動腕部４１２ｂ、第一の支持腕部４１３及び第二の支持腕部４１４が一体で構成されている（例えば、特許文献１参照）。

図１６に示すように、励振用電極４２１ａは、圧電片４１０を構成する第一の振動腕部４１２ａの対向する表裏主面に設けられている。なお、表裏主面とは、基部４１１の表面積の最も広く形成されている面であって、一方の面と他方の面とが平行になっている２つの面をいい、また、これら２つの面と同一の方向を向く面も含まれる。また、図１６及び図１７において、図面で現われている面を「表面」とし、隠れている面を「裏面」とする。
励振用電極４２１ｂは、第一の振動腕部４１２ａの対向する両側面に設けられている。また、励振用電極４２２ａは、第二の振動腕部４１２ｂの対向する表裏主面に設けられている。さらに、励振用電極４２２ｂは、第二の振動腕部４１２ｂの対向する両側面に設けられている。

接続用電極４２３aは、第一の支持腕部４１３の表裏主面全面に設けられている。
また、接続用電極４２３ａは、基部４１１の裏主面に設けられた導配線パターンを介して第二の振動腕部４１３の励振用電極４２２ａと電気的に接続している。
また、接続用電極４２３ａは、第一の振動腕部４１２ａの両側面に設けられた励振用電極４２１ｂ及び周波数調整金属膜４２４ａとも電気的に接続している。
なお、第二の振動腕部４１２ｂの表裏主面に設けられている励振用電極４２２ａは、導配線パターン４２６により第一の振動腕部４１２ａの励振用電極４２１ｂと電気的に接続されている。

接続用電極４２３ｂは、第二の支持腕部４１４の表裏主面全面に設けられている。
また、接続用電極４２３ｂは、基部４１１主面に設けられた導配線パターン４２５により、励振用電極４２１ａと電気的に接続している。
また、接続用電極４２３ｂは、第二の振動腕部４１２ｂの両側面に設けられた励振用電極４２２ｂ及び周波数調整金属膜４２４ｂとも電気的に接続している。
なお、第一の振動腕部４１２ａの表裏主面に設けられている励振用電極４２１ａは、導配線パターンにより第二の振動腕部４１２ｂの励振用電極４２２ｂと電気的に接続されている。

周波数調整用金属膜４２４ａは、第一の振動腕部４１２ａの表面及び側面の先端部に設けられており、第一の振動腕部４１２ａの両側面に設けられた励振用電極４２１ｂと電気的に接続している。また、周波数調整用金属膜４２４ｂは、第二の振動腕部４１２ｂの表面及び側面の先端部に設けられており、第二の振動腕部４１２ｂの両側面に設けられた励振用電極４２２ｂと電気的に接続している。
なお、圧電振動素子４００は、この周波数調整用金属膜４２４ａ及び４２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整することができる。

また、支持腕部を有する音叉型屈曲水晶振動子については、支持腕部の厚み方向に切欠きを設けた構造が提案されており、この切欠きにより振動腕部から漏れる振動を減衰させて、振動が伝播するのを防いでいる（例えば、特許文献４参照）。

また、音叉型屈曲水晶振動子の他の構造としては、基部の主面に溝状の凹部を形成したものが提案されている。この音叉型屈曲水晶振動子は、振動腕部から漏れる振動を減衰させて、振動の伝播を防ぐように溝状の凹部を形成している（例えば、特許文献５参照）。
特許文献５で開示されている音叉型屈曲水晶振動子も同様に、基部の主面に設けられた溝状の凹部により振動腕部から漏れる振動を減衰させて、振動の伝播を防いでいる。

なお、これら音叉型屈曲水晶振動子は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を有する素子搭載部材の、凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、さらに凹部の開口部は蓋体により気密封止されて圧電振動子となる（例えば、特許文献６参照）。
また、これら音叉型屈曲水晶振動子は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を有する素子搭載部材の、凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、さらに凹部の開口部は蓋体により気密封止されつつ、少なくとも発振回路を備えた集積回路素子を圧電振動素子と電気的に接続した構造とすると圧電発振器となる（例えば、特許文献６参照）。

特開２００４−３５７１７８号公報 特開２００４−２９７１９８号公報 特開２００５−９４７２４号公報 特開２００６−１４８８５７号公報 実開昭５１−１３８０７６号公報 特開２００８−２５２８００号公報

しかしながら、音叉型屈曲水晶振動子の小型化が進むにつれて素子の外形形状の形成を化学エッチングに頼ることとなるが、化学エッチングでは、音叉型屈曲水晶振動子の支持腕部に設けた厚み方向の切欠きに残渣が生じてしまうため、正確な形状に成形するのが困難である。このような残渣により切欠きで振動の減衰が十分になされずに、振動が支持される部分へ伝播してしまい、所定の温度における周波数偏差の値（以下、「温度特性」という。）を悪化させ、また、クリスタルインピーダンスの値（以下、「ＣＩ値」という場合がある。）を高く悪化させてしまう恐れがある。
また、支持腕部を構成要素の一部としない音叉型屈曲水晶振動子は、基部の幅方向、つまり、振動腕部が基部から延出する方向に対して直角となる方向に溝状の凹部を形成しても、振動腕部から漏れる振動を十分に減衰させることができず、温度特性やＣＩ値を悪化させる恐れがある。

そこで、本発明では、前記した問題を解決し、振動腕部からの振動を減衰させ、振動の伝播を軽減させる音叉型屈曲水晶振動子を提供することを課題とする。

前記課題を解決するため、本発明は、基部と、この基部から延出する２本一対の振動腕部と、前記振動腕部に沿って前記基部より延出する二本一対の支持腕部と備え、前記振動腕部が二本一対で設けられる前記支持腕部よりも内側で基部から延出して設けられており、前記支持腕部は、前記基部と前記振動腕部との境目から離れた位置から前記振動腕部の延出する方向に対して直角となる方向に延出する第一の延出部と、前記第一の延出部の端部から前記振動腕部と平行する方向に延出する第二の延出部とから構成されており、前記第二の延出部には、第二の延出部の全幅よりも短い長さで、第二の延出部の振動腕部側に寄せた位置に、溝状の第一の凹部が設けられており、前記基部には、前記基部と前記振動腕部との境目と前記基部と前記支持腕部との境目との間であって、前記振動腕部の延出する方向に対して直角となる方向に溝状の第二の凹部が設けられており、前記第二の凹部は、前記基部の表裏主面に互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられており、前記第一の延出部には、基部との境目側であって前記第一の延出部の幅方向に溝状の第三の凹部が設けられていることを特徴とする音叉型屈曲水晶振動子である。

また、本発明は、前記第三の凹部が、前記第一の延出部の表裏主面に互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられていても良い。

また、本発明は、それぞれの前記振動腕部に、前記振動腕部の延出方向と同一の方向に長い、溝状の第四の凹部が設けられていても良い。

また、本発明は、前記第四の凹部が、それぞれの前記振動腕部において、前記振動腕部の幅方向に２つ以上並んで設けられていても良い。

このような音叉型屈曲水晶振動子によれば、基部から延出した支持腕部が、その幅方向に溝状の第一の凹部を有しているので、化学エッチングを用いて第一の凹部を形成しても、残渣による形状の変化を少なくすることができる。また、基部から延出した支持腕部がその幅方向に溝状の第一の凹部を有しているので、振動腕部から漏れる振動も、この支持腕部の第一の凹部に達するまでに、基部や途中の支持腕部により減衰したのちに、第一の凹部でさらに振動が減衰されるので、支持する部分への振動の伝播を軽減し、温度特性やＣＩ値の悪化を防ぐことができる。

また、本発明は、前記支持腕部が、前記第一の凹部を前記振動腕部の表裏主面に有しつつ互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられているため、表主面側を伝播する振動を減衰させつつ、裏主面側を伝播する振動を減衰させることができる。

また、本発明は、基部の幅を振動腕部の延出する方向に対して直角となる方向とし、基部の長さを、幅と規定した方向と直角となる方向とした場合、支持腕部の幅が、基部の長さよりも小さくなっていても、振動腕部から漏れる振動を支持腕部が有する第一の凹部で減衰させることができる。

また、本発明は、基部の幅方向に第二の凹部を設けたので、支持腕部が有する第一の凹部によって振動を減衰させ、基部が有する第二の凹部によって振動を減衰させるので、振動腕部から漏れる振動の減衰をさらに向上させることができる。

また、本発明は、基部の表裏主面に有する第二の凹部が、互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられているので、表主面側を伝播する振動を減衰させつつ、裏主面側を伝播する振動を減衰させることができる。

また、本発明は、支持腕部が基部との境目側であって幅方向に溝状の第三の凹部を有しているので、支持腕部が有する第一の凹部による振動の減衰に加えて第三の凹部による振動の減衰が行えるので、振動腕部から漏れる振動の減衰をさらに向上させることができる。

また、本発明は、支持腕部の表裏主面に有している第三の凹部が、互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられているので、表主面側を伝播する振動を減衰させつつ、裏主面側を伝播する振動を減衰させることができる。

また、本発明は、支持腕部が基部から延出する前記振動腕部とは反対方向に延出して構成されており、振動腕部から漏れる振動を支持腕部が有する第一の凹部で減衰させることができる。

また、本発明は、二本一対の前記振動腕のそれぞれが、振動腕部よりも短い溝状の第四の凹部を有する構造となっており、振動腕部から漏れる振動を支持腕部が有する第一の凹部で減衰させることができる。

また、本発明は、二本一対の前記振動腕のそれぞれが、前記振動腕部よりも短い２つ以上並んだ溝状の第四の凹部を有する構造となっており、振動腕部から漏れる振動を支持腕部が有する第一の凹部で減衰させることができる。

本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子の一例を示す斜視図である。 本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 本発明の第一の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子の一例を示す斜視図である。 第一の凹部の状態の一例を示す概念図である。 本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 本発明の第二の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。 （ａ）は本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の概念図である。 本発明の第三の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す平面図である。 本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す平面図である。 本発明の第四の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す平面図である。 本発明の第五の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す平面図である。 本発明の第五の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す平面図である。 本発明の第六の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す平面図である。 本発明の第七の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す平面図である。 本発明のさらなる変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す平面図である。 従来の音叉型屈曲水晶振動子の一例を示す斜視図である。 従来の音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片の一例を示す斜視図である。

本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施形態」という。）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各構成要素について、状態をわかりやすくするために、誇張して図示している。

（第一の実施形態）
図１に示すように、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子１００は、圧電片１１０ａ（図２参照）と、その圧電片１１０ａの表面に設けられた励振用電極１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ及び１２２ｂと、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂと、周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂと、導配線パターン１２５，１２６と、により概略構成される。

図１及び図２に示すように、圧電片１１０ａは、例えば水晶からなり、平面視略四角形の平板状となる基部１１１と、この基部１１１の一辺から同一方向に延出している２本一対の振動腕部１１２と、基部１１１から延出している支持腕部１１３,１１４とから構成されている。
なお、振動腕部１１２は、２本一対であることから、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂとして説明する。また、支持腕部１１３,１１４は、２本一対であることから、第一の支持腕部１１３、第二の支持腕部１１４として説明する。

第一の支持腕部１１３は、第一の延出部１１３ａと第二の延出部１１３ｂとから構成されている。
第一の延出部１１３ａは、基部１１１の第一の振動腕部１１２ａ側の側部から第一の振動腕部１１２ａの延出方向に対して直角となる方向に所定の長さで延出されている。
第二の延出部１１３ｂは、第一の延出部１１３ａの端部から、第一の振動腕部１１２ａの延出方向と同じ方向に所定の長さで延出されている。
この第二の延出部１１３ｂに第一の凹部３１が設けられている。

第二の延出部１１３ｂが有する第一の凹部３１は、溝状に形成されており、第二の延出部１１３ｂの全幅よりも短い長さで、第二の延出部１１３ｂの振動腕部１１２側に寄せて設けられている。
また、この第一の凹部３１は、実装の際に用いられる導電性接着剤が付けられる位置から離れた位置に設けられている。例えば、第二の延出部１１３ｂの先端部分を導電性接着剤が付けられる部分とした場合、第二の延出部１１３ｂの先端部分から第一の延出部１１３ａ側に離れた位置に設けられることとなる。

なお、第二の延出部１１３ｂ及び１１４ｂにおいて、第一の延出部１１３ａ及び１１４ａから延出した方向に対して直角となる方向を幅とし、延出した方向を長さ方向とする。

この第一の凹部３１の断面形状は、例えば、Ｕ字型、Ｖ字型、傾斜角度が異なるように壁面が形成された断面形状などの形に形成しても良い。
また、この第一の凹部３１は、第二の延出部１１３ｂの厚さの中心を越えた深さで形成されている。
したがって、第一の凹部３１は、振動腕部１１２から漏れた振動を減衰させて支持する部分へ振動が伝播するのを軽減し、また、振動腕部１１２へ戻る反射波を軽減させることができる。

第二の支持腕部１１４は、第一の延出部１１４ａと第二の延出部１１４ｂとから構成されている。
第一の延出部１１４ａは、基部１１１の第二の振動腕部１１２ｂ側の側部から第二の振動腕部１１２ｂの延出方向に対して直角となる方向に所定の長さで延出されている。
第二の延出部１１４ｂは、第一の延出部１１４ａの端部から、第二の振動腕部１１２ｂの延出方向と同じ方向に所定の長さで延出されている。
この第二の延出部１１４ｂにも第一の凹部３１が設けられている。

第二の延出部１１４ｂが有する第一の凹部３１は、溝状に形成されており、第二の延出部１１４ｂの全幅よりも短い長さで、第二の延出部１１４ｂの振動腕部１１２側に寄せて設けられている。
なお、この第一の凹部３１の断面形状は、例えば、Ｕ字型、Ｖ字型、傾斜角度が異なるように壁面が形成された断面形状などの形に形成しても良い。
また、この第一の凹部３１は、第二の延出部１１４ｂの厚さの中心を越えた深さで形成されている。

したがって、第一の凹部３１は、振動腕部１１２から漏れた振動を減衰させて支持する部分へ振動が伝播するのを軽減し、また、振動腕部１１２へ戻る反射波を軽減させることがきる。また、第一の凹部３１は、振動腕部１１２から漏れた振動を減衰させて支持する部分へ振動が伝播するのを軽減し、また、振動腕部１１２へ戻る反射波を軽減させることがきる。

また、同様にこの第一の凹部３１は、実装の際に用いられる導電性接着剤が付けられる位置から離れた位置に設けられている。例えば、第二の延出部１１３ｂ,１１４ｂの先端部分を導電性接着剤が付けられる部分、つまり、支持する部分とした場合、第二の延出部１１３ｂ,１１４ｂの先端部分から第一の延出部１１３ａ,１１４ａ側に離れた位置に設けられることとなる。

なお、第一の支持腕部１１３に設けられる第一の凹部３１と、第二の支持腕部１１４に設けられる第一の凹部３１とは、同一直線上に位置するようにそれぞれの第二の延出部１１３ｂ、１１４ｂに設けられる。
また、このような第一の凹部３１の外形形状は、周知のフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて形成することができる。

図１に示すように、励振用電極１２１ａは、第一の振動腕部１１２ａの表裏主面に設けられている。また、励振用電極１２１ｂは、第一の振動腕部１１２ａの対向する両側面に設けられている。
周波数調整用金属膜１２４ａは、第一の振動腕部１１２ａの表面及び側面の先端部に設けられており、第一の振動腕部１１２ａの両側面に設けられた励振用電極１２１ｂと電気的に接続している。
接続用電極１２３a
は、第一の支持腕部１１３の表裏主面に設けられている。

また、励振用電極１２２ａは、第二の振動腕部１１２ｂの表裏主面に設けられている。また、励振用電極１２２ｂは、第二の振動腕部１１２ｂの対向する両側面に設けられている。
周波数調整用金属膜１２４ｂは、第二の振動腕部１１２ｂの表面及び側面の先端部に設けられており、第二の振動腕部１１２ｂの両側面に設けられた励振用電極１２２ｂと電気的に接続している。
また、接続用電極１２３ｂは、第二の支持腕部１１４の表裏主面に設けられている。

なお、音叉型屈曲水晶振動子１００は、周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整することができる。

図１に示すように、励振用電極１２１ａ及び１２２ｂと、周波数調整用金属膜１２４ｂと接続用電極１２３ｂとは、圧電片１１０ａ表面に設けられた、例えば導配線パターン１２５により電気的に接続している。接続用電極１２３ｂは、第二の支持腕部１１４の全面に設けられており、第二の振動腕部１１２ｂの側面に設けられた励振用電極１２２ｂと電気的に接続している。
また、第一の振動腕部１１２ａの表主面に設けられた励振用電極１２１ａは、導配線パターン１２５を介して接続用電極１２３ｂと電気的に接続している。
なお、第一の振動腕部１１２ａの裏主面に設けられた励振用電極１２１ａは、導配線パターン（図示せず）を介して第二の振動腕部１１２ｂの内側を向く側面に設けられた励振用電極１２２ｂと電気的に接続している。

図１に示すように、また、励振用電極１２１ｂ及び１２２ａと、周波数調整用金属膜１２４ａと接続用電極１２３ａとは、圧電片１１０ａ表面に設けられた、例えば導配線パターン１２６により電気的に接続している。接続用電極１２３ａは、第一の支持腕部１１３の全面に設けられており、第一の振動腕部１１２ａの側面に設けられた励振用電極１２１ｂと電気的に接続している。
また、第二の振動腕部１１２ｂの裏主面に設けられた励振用電極１２２ａは、導配線パターン（図示せず）を介して接続用電極１２３ａと電気的に接続している。
なお、第二の振動腕部１１２ａの表主面に設けられた励振用電極１２２ａは、導配線パターン１２６を介して第一の振動腕部１１２ａの内側を向く側面に設けられた励振用電極１２１ｂと電気的に接続している。

なお、各励振用電極、接続用電極、周波数調整用金属膜、導配線パターンは、例えば、下地金属としてのＣｒ層と、その下地金属の上に重ねて設けられたＡｕ層とから構成されている。

この音叉型屈曲水晶振動子１００を振動させる場合、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的にとらえると、第一の振動腕部１１２ｂの励振用電極１２１ｂは＋（プラス）電位となり、励振用電極１２１ａは−（マイナス）電位となり、＋から−に電界が生じる。一方、このときの第二の振動腕部１１２ｂの励振用電極１２２ａ，１２２ｂは、第一の振動腕部１１２ａの励振用電極１２１ａ，１２１ｂに生じた極性とは反対の極性となる。これらの印加された電界により、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに伸縮現象が生じ、各振動腕部１１２に設定した共振周波数の屈曲振動を得る。

音叉型屈曲水晶振動子１００は、圧電片１１０ａの表面に、前記した励振用電極、接続用電極、導配線パターン及び周波数調整用金属膜をフォトリソグラフィ技術及び蒸着技術により形成することができる。また、音叉型屈曲水晶振動子１００は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を設けた容器体の、その凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、更に凹部の開口部が蓋体により気密封止されて水晶振動子となる。

前記した音叉型屈曲水晶振動子１００によれば、圧電片１１０ａを構成する第一の支持腕部１１３及び第二の支持腕部１１４に第一の凹部３１を、第二の延出部１１４ｂの全幅よりも短い長さで、第二の延出部１１４ｂの振動腕部１１２側に寄せて設けることにより、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから漏れる振動が、第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１に達するまでに、基部１１１や途中の支持腕部により減衰したのちに、第一の凹部３１,３１でさらに振動の伝播を軽減することができる。これにより、第一の凹部３１,３１は、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから漏れた振動の反射を軽減し、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂの振動を阻害するのを防ぐことができる。
また、第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１は、エッチング残渣を考慮することがなく、容易に形成することができる。

（第一の実施形態の変形例）
本発明の第一の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図３に示すように、音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片１１０ｂが、第一の支持腕部１１３及び第二の支持腕部１１４に設けられる第一の凹部３１を、第一の支持腕部１１３の構成要素である第二の延出部１１３ｂの表裏主面及び、第二の支持腕部１１４の構成要素である第二の延出部１１４ｂの表裏主面に有している点で第一の実施形態と異なる。
以下、第一の実施形態と同一の構成要素については重複する説明を省略し、同一の符号を付す。

まず、図３に示すように、第一の支持腕部１１３に設けられる第一の凹部３１は、第二の延出部１１３ｂの表裏主面に形成され、かつ、表主面側の第一の凹部３１と裏主面側の第一の凹部３１とは向かい合わずに、所定の間隔をあけて設けられている。
例えば、表主面に設けられた第一の凹部３１は、裏主面に設けられている第一の凹部３１よりも第一の延出部１１３ａ側に近い位置に設けられている。

次に、第二の支持腕部１１４に設けられる第一の凹部３１は、第二の延出部１１４ｂの表裏主面に形成され、かつ、表主面側の第一の凹部３１と裏主面側の第一の凹部３１とは向かい合わずに、所定の間隔をあけて設けられている。
例えば、表主面に設けられた第一の凹部３１は、裏主面に設けられている第一の凹部３１よりも第一の延出部１１４ａ側に近い位置に設けられている。

このような第一の凹部３１について具体的に説明すると、第一の凹部３１の深さは、基部１１１の厚さに対して５０％より大きく９０％以下で形成されている。
例えば、第一の凹部３１の深さが５０％以下の場合は、支持腕部１１３，１１４内を伝播する振動が第一の凹部３１を通過してしまい、振動が漏れた状態となってＣＩ値を向上させにくくなる。また、第一の凹部３１の深さが９０％以上の場合は、支持腕部１１３，１１４の強度を確保することができず、製造途中で破損する恐れがある。
したがって、第一の凹部３１は、図４に示すように、表主面を伝播する振動Ｗを表主面側に設けられた第一の凹部３１で減衰させ、裏主面を伝播する振動Ｗを裏主面側に設けられた第一の凹部３１で減衰させる。また、それぞれの第一の凹部３１が支持腕部１１３，１１４の厚みの中心ＣＬを越える深さで形成されているので、支持腕部１１３，１１４の内部を伝播する振動も第一の凹部３１で減衰させることができる。したがって、第一の凹部３１により、振動腕部１１２から漏れた振動を減衰させて支持腕部１１３，１１４における支持する部分へ伝播する振動をさらに減衰させることがきる。

（第二の実施形態）
本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図５に示すように、音叉型屈曲水晶振動子に用いられる圧電片１１０ｃにおいて、第一の支持腕部１１３の第一の延出部１１３ａ及び第二の支持腕部１１４の第一の延出部１１４ａが、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂと基部１１１との境目から離れた位置から延出している点で第一の実施形態と異なる。
つまり、このように第二の実施形態を構成しても、第一の実施形態と同様の効果を奏する。また、この第二の実施形態に第一の実施形態の変形例を組み合わせても、第一の実施形態の変形例と同様の効果を奏する。

（第二の実施形態の変形例）
本発明の第二の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図６に示すように、圧電片１１０ｄが、第一の支持腕部１１３の第二の延出部１１３ｂ及び第二の支持腕部１１４の第二の延出部１１４ｂに設けられる第一の凹部３１を表裏主面に有している点で第二の実施形態と異なる。
第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１を、それぞれの第二の延出部１１３ｂ,
１１４ｂの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けられている。
この表主面に設けられる第一の凹部３１は、裏主面に設けられる第一の凹部３１より第一の延出部１１３ａ,１１４ａに近い側に設けられる。
このように第二の実施形態の変形例を構成したので、第一の支持腕部１１３及び第二の支持腕部１１４の表裏主面の第一の凹部３１が所定の間隔をあけて設けられていることにより、第二の実施形態の構成に対して、さらに振動の減衰をさせることができる。

（第三の実施形態）
本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、圧電片１１０ｅが、基部１１１の幅方向に第二の凹部３２を有している点で第二の実施形態と異なる。ここで、基部１１１の幅は、基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂの延出方向に対して直角となる方向とする。
このとき、第二の凹部３２は、基部１１１の全幅よりも短い長さで、励振用電極１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ及び１２２ｂ、接続用電極１２３ａ，１２３ｂ、の電気的接続をする部分を除いて基部１１１の全幅にわたって溝状に設けられている。
この第二の凹部３２は、第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１と同一直線ＬＮ上に位置するように基部１１１に設けられている。
このように、第三の実施形態を構成したので、第一の支持腕部１１３及び第二の支持腕部１１４が有する第一の凹部３１による振動の減衰に加えて、基部１１１が有する第二の凹部３２による振動の減衰が行えるので、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから漏れる振動の伝播の軽減を向上させることができる。

（第三の実施形態の変形例）
本発明の第三の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図８に示すように、圧電片１１０ｆが、基部１１１の表裏主面に幅方向に伸びる第二の凹部３２を有している点で第三の実施形態と異なる。
第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１を、それぞれの第二の延出部１１３ｂ,１１４ｂの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けられている。
この基部１１１の表主面側に設けられる第一の凹部３２は、裏主面側に設けられる第二の凹部３２より第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに近い側に設けられる。
このような第二の凹部３２について具体的に説明すると、第二の凹部３２の深さは、基部１１１の厚さに対して５０％より大きく９０％以下で形成されている。
例えば、第二の凹部３２の深さが５０％以下の場合は、基部１１１内を伝播する振動が第二の凹部３２を通過してしまい、振動が漏れた状態となってＣＩ値を向上させにくくなる。また、第二の凹部３２の深さが９０％以上の場合は、基部１１１の強度を確保することができず、製造途中で破損する恐れがある。
したがって、第二の凹部３２は、図４に示す概念と同様に、表主面を伝播する振動Ｗを表主面側に設けられた第二の凹部３２で減衰させ、裏主面を伝播する振動Ｗを裏主面側に設けられた第二の凹部３２で減衰させる。また、それぞれの第二の凹部３２が基部１１１の厚みの中心を越える深さで形成されているので、基部１１１の内部を伝播する振動も第二の凹部３２で減衰させることができる。したがって、第二の凹部３２により、振動腕部１１２から漏れた振動をさらに減衰させることがきる。
このように第三の実施形態の変形例を構成したので、基部１１１の表裏主面の第二の凹部３２が所定の間隔をあけて設けられていることにより、第三の実施形態の構成に対して、さらに振動の減衰をさせることができる。

（第四の実施形態）
本発明の第四の実施形態に係る圧電振動素子は、図９に示すように、圧電片１１０ｇが、第一の支持腕部１１３及び第二の支持腕部１１４に第一の凹部３１の他にさらに第三の凹部３３を有している点で第一の実施形態と異なる。
まず、第一の支持腕部１１３に設けられる第三の凹部３３は、第一の延出部１１３ａの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第一の延出部１１３ａに溝状に設けられている。
また、第二の支持腕部１１４に設けられる第三の凹部３３は、第一の延出部１１４ａの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第一の延出部１１４ａに溝状に設けられている。
このように、第四の実施形態を構成したので、第一の支持腕部１２３が有する第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４が有する第一の凹部３１によって振動を減衰させ、第三の凹部３３によって振動を減衰させることができるので、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂから漏れる振動の伝播の軽減をさらに向上させることができる。

（第四の実施形態の変形例）
本発明の第四の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図１０に示すように、圧電片１１０ｈが、第一の支持腕部１１３の第一の延出部１１３ａ及び第二の支持腕部１１４の第一の延出部１１４ａの表裏主面に幅方向にわたって第三の凹部３３を有している点で第四の実施形態と異なる。
まず、第一の支持腕部１１３の第一の延出部１１３ａの表主面側に設けられる第三の凹部３３は、裏主面側に設けられる第三の凹部３３より基部１１１に近い側に設けられる。
また、第二の支持腕部１１４の第一の延出部１１４ａの表主面側に設けられる第三の凹部３３は、裏主面側に設けられる第三の凹部３３より基部１１１に近い側に設けられる。
このような第三の凹部３３について具体的に説明すると、第三の凹部３３の深さは、基部１１１の厚さに対して５０％より大きく９０％以下で形成されている。
例えば、第三の凹部３３の深さが５０％以下の場合は、支持腕部１１３，１１４内を伝播する振動が第三の凹部３３を通過してしまい、振動が漏れた状態となってＣＩ値を向上させにくくなる。また、第三の凹部３３の深さが９０％以上の場合は、支持腕部１１３，１１４の強度を確保することができず、製造途中で破損する恐れがある。
したがって、第三の凹部３３は、図４に示す概念と同様に、表主面を伝播する振動Ｗを表主面側に設けられた第三の凹部３３で減衰させ、裏主面を伝播する振動Ｗを裏主面側に設けられた第三の凹部３３で減衰させる。また、それぞれの第三の凹部３３が支持腕部１１３，１１４の厚みの中心を越える深さで形成されているので、支持腕部１１３，１１４の内部を伝播する振動も第三の凹部３３で減衰させることができる。したがって、第三の凹部３３により、振動腕部１１２から漏れた振動を減衰させて支持腕部１１３，１１４における支持する部分へ伝播する振動をさらに減衰させることがきる。
このように第四の実施形態の変形例を構成したので、第一の支持腕部１１３及び第二の支持腕部１１４の表裏主面の第三の凹部３３が所定の間隔をあけて設けられていることにより、第四の実施形態の構成に対して、さらに振動の減衰をさせることができる。

（第五の実施形態）
本発明の第五の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図１１に示すように、圧電片１１０ｉにおいて、基部１１１に第二の凹部３２が設けられている点で第四の実施形態と異なる。つまり、第五の実施形態は、第三の実施形態と第四の実施形態とを組み合わせて構成されている。
また、第五の実施形態において、圧電片１１０ｉは、第一の支持腕部１１３,第二の支持腕部１１４のそれぞれが第一の凹部３１と第三の凹部３３を有し、基部１１１が第二の凹部３２を有した構造となっている。
なお、第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１を、それぞれの第二の延出部１１３ｂ,１１４ｂの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けても良い。
また、第一の支持腕部１１３の第三の凹部３３及び第二の支持腕部１１４の第三の凹部３３を、それぞれの第二の延出部１１３ｂ,１１４ｂの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けても良い。
このように第五の実施形態を構成したので、基部１１１に第二の凹部３２が設けられていることにより、第四の実施形態の構成に対して、さらに振動の減衰をさせることができる。

（第五の実施形態の変形例）
本発明の第五の実施形態の変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子は、図１２に示すように、圧電片１１０ｊが、第二の凹部３２を基部１１１の表裏主面に有している点で第五の実施形態と異なる。
この基部１１１の表主面側に設けられる第一の凹部３２は、第四の実施形態の変形例と同様に、裏主面側に設けられる第二の凹部３２より第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに近い側に設けられる。
なお、第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１を、それぞれの第二の延出部１１３ｂ,１１４ｂの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けても良い。
このように第五の実施形態の変形例を構成したので、基部１１１の表裏主面の第二の凹部３２が所定の間隔をあけて設けられていることにより、第五の実施形態の構成に対して、さらに振動の減衰をさせることができる。

（第六の実施形態）
本発明の第六の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、第一の実施形態〜第五の実施形態、および各変形例に用いられる圧電片１１０ａ〜１１０ｊの振動腕部１１２である第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂが第四の凹部３４を有して構成されている。
その一例として、図１３に示す圧電片１１０ｋについて説明する。
圧電片１１０ｋは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと、これら第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂと同一の方向に基部１１１から延出する第一の支持腕部１１３と第二の支持腕部１１４とを備えている。

第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとには、溝状の第四の凹部３４が設けられている。
これら第四の凹部３４は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの基部から延出する延出方向と同一となっており、所定の深さで第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとに形成されている。
また、第四の凹部３４は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂよりも長さが短くなるように第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂに設けられる。
このような第四の凹部３４は、振動の伝播を軽減させる役割はなく、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとのＣＩ値を減少させる役割を果たす。

ここで、基部１１１は、基部１１１の全幅よりも短い長さで、励振用電極１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ及び１２２ｂ、接続用電極１２３ａ，１２３ｂ、の電気的接続をする部分を除いて基部１１１の全幅にわたって溝状の第二の凹部３２が設けられている。
まず、第一の支持腕部１１３は、第一の凹部３１が第二の延出部１１３ｂの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第二の延出部１１３ｂに溝状に設けられ、第三の凹部３３が第一の延出部１１３ａの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第一の延出部１１３ａに溝状に設けられている。
また、第二の支持腕部１１４は、第一の凹部３１が第二の延出部１１４ｂの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第二の延出部１１４ｂに溝状に設けられ、第三の凹部３３が第一の延出部１１４ａの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第一の延出部１１４ａに溝状に設けられている。

なお、第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１を、それぞれの第二の延出部１１３ｂ,１１４ｂの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けられている。
また、第一の支持腕部１１３の第三の凹部３３及び第二の支持腕部１１４の第三の凹部３３を、それぞれの第二の延出部１１３ａ,１１４ａの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けられている。
このように、第六の実施形態を構成しても、振動腕部１１２から漏れる振動の伝播を減衰させることができる。

（第七の実施形態）
本発明の第七の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子は、第一の実施形態〜第五の実施形態、および各変形例に用いられる圧電片１１０ａ〜１１０ｊの振動腕部１１２である第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂがそれぞれ２本一対の第四の凹部３４を有して構成されている。
その一例として、図１４に示す圧電片１１０ｌについて説明する。
圧電片１１０ｌは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと、これら第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂと同一の方向に基部から延出する第一の支持腕部１１３と第二の支持腕部１１４とを備えている。

第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとには、例えば、溝状の２本の第四の凹部３４が設けられている。
これら第四の凹部３４は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの基部から延出する延出方向と同一となっており、所定の深さで第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとに形成されている。
また、第四の凹部３４は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂよりも長さが短くなるように第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂに設けられる。
このような第四の凹部３４は、振動の伝播を軽減させる役割はなく、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとのＣＩ値を減少させる役割を果たす。

ここで、基部１１１は、基部１１１の全幅よりも短い長さで、励振用電極１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ及び１２２ｂ、接続用電極１２３ａ，１２３ｂ、の電気的接続をする部分を除いて基部１１１の全幅にわたって溝状の第二の凹部３２が設けられている。
まず、第一の支持腕部１１３は、第一の凹部３１が第二の延出部１１３ｂの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第二の延出部１１３ｂに溝状に設けられ、第三の凹部３３が第一の延出部１１３ａの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第一の延出部１１３ａに溝状に設けられている。
また、第二の支持腕部１１４は、第一の凹部３１が第二の延出部１１４ｂの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第二の延出部１１４ｂに溝状に設けられ、第三の凹部３３が第一の延出部１１４ａの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第一の延出部１１４ａに溝状に設けられている。

なお、第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１を、それぞれの第二の延出部１１３ｂ,１１４ｂの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けられている。
また、第一の支持腕部１１３の第三の凹部３３及び第二の支持腕部１１４の第三の凹部３３を、それぞれの第二の延出部１１３ａ,１１４ａの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けられている。
このように、第七の実施形態を構成しても、振動腕部１１２から漏れる振動の伝播を減衰させることができる。

なお、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、適宜、変更可能である。
例えば、第一の実施形態を基にして、第二の実施形態から第九の実施形態を種々組み合わせた構造の音叉型屈曲水晶振動子を構成しても本発明に含まれるのは言うまでもない。
また、第一の凹部３１，第二の凹部３２及び第三の凹部３３は、一方の主面又は両方の主面において、複数並べるように設けても良い。
これらのように音叉型屈曲水晶振動子を構成しても、振動腕部から漏れる振動を減衰させて、支持する部分への振動の伝播を軽減し、温度特性やＣＩ値の悪化を軽減させることができる。

また、さらなる変形例を構成できる。
本発明のさらなる変形例に係る音叉型屈曲水晶振動子は、第一の実施形態〜第七の実施形態、および各変形例に用いられる圧電片１１０ａ〜１１０ｌの支持腕部１１３,１１４の構成要素である第一の支持腕部１１３と第二の支持腕部１１４とを、振動腕部１１２である第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部とは反対の方向に基部１１１から延出させて構成されている。
その一例として、図１５に示す圧電片１１０ｍについて説明する。
圧電片１１０ｍは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと、これら第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂとは反対の方向に基部から延出する第一の支持腕部１１３と第二の支持腕部１１４とを備えている。

ここで、基部１１１は、基部１１１の全幅よりも短い長さで、励振用電極１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ及び１２２ｂ、接続用電極１２３ａ，１２３ｂ、の電気的接続をする部分を除いて基部１１１の全幅にわたって溝状の第二の凹部３２が設けられている。
まず、第一の支持腕部１１３は、第一の凹部３１が第二の延出部１１３ｂの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第二の延出部１１３ｂに溝状に設けられ、第三の凹部３３が第一の延出部１１３ａの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第一の延出部１１３ａに溝状に設けられている。
また、第二の支持腕部１１４は、第一の凹部３１が第二の延出部１１４ｂの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第二の延出部１１４ｂに溝状に設けられ、第三の凹部３３が第一の延出部１１４ａの全幅よりも短い長さで、振動腕部１１２側に寄せて第一の延出部１１４ａに溝状に設けられている。

なお、第一の支持腕部１１３の第一の凹部３１及び第二の支持腕部１１４の第一の凹部３１を、それぞれの第二の延出部１１３ｂ,１１４ｂの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けても良い。
また、第一の支持腕部１１３の第三の凹部３３及び第二の支持腕部１１４の第三の凹部３３を、それぞれの第二の延出部１１３ａ,１１４ａの表裏主面に向かい合わないように所定の間隔をあけて設けても良い。
このように、さらなる変形例を構成しても、振動腕部１１２から漏れる振動の伝播を減衰させることができる。

１００ 音叉型屈曲水晶振動子
３１ 第一の凹部
３２ 第二の凹部
３３ 第三の凹部
３４ 第四の凹部
１１０ａ〜１１０ｍ 圧電片
１１１ 基部
１１２ 振動腕部
１１２ａ 第一の振動腕部
１１２ｂ 第二の振動腕部
１１３ 支持腕部（第一の支持腕部）
１１３ａ 第一の延出部
１１３ｂ 第二の延出部
１１４ 支持腕部（第二の支持腕部）
１１４ａ 第一の延出部
１１４ｂ 第二の延出部

Claims (4)

1. 基部と、この基部から延出する２本一対の振動腕部と、前記振動腕部に沿って前記基部より延出する二本一対の支持腕部と備え、
   前記振動腕部が二本一対で設けられる前記支持腕部よりも内側で基部から延出して設けられており、
   前記支持腕部は、前記基部と前記振動腕部との境目から離れた位置から前記振動腕部の延出する方向に対して直角となる方向に延出する第一の延出部と、前記第一の延出部の端部から前記振動腕部と平行する方向に延出する第二の延出部とから構成されており、
   前記第二の延出部には、第二の延出部の全幅よりも短い長さで、第二の延出部の振動腕部側に寄せた位置に、溝状の第一の凹部が設けられており、
   前記基部には、前記基部と前記振動腕部との境目と前記基部と前記支持腕部との境目との間であって、前記振動腕部の延出する方向に対して直角となる方向に溝状の第二の凹部が設けられており、
   前記第二の凹部は、前記基部の表裏主面に互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられており、
   前記第一の延出部には、基部との境目側であって前記第一の延出部の幅方向に溝状の第三の凹部が設けられていることを特徴とする音叉型屈曲水晶振動子。
2. 前記第三の凹部は、前記第一の延出部の表裏主面に互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられていることを特徴とする請求項１に記載の音叉型屈曲水晶振動子。
3. それぞれの前記振動腕部には、前記振動腕部の延出方向と同一の方向に長い、溝状の第四の凹部が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の音叉型屈曲水晶振動子。
4. 前記第四の凹部が、それぞれの前記振動腕部において、前記振動腕部の幅方向に２つ以上並んで設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の音叉型屈曲水晶振動子。

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