JP5089298B2 - 音叉型屈曲振動子 - Google Patents
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(設計例1)
音叉腕部23,24の腕幅W21が50〜70μm、腕長L21が900〜1250μm、腕厚t21が60〜120μmに形成された場合、
溝部25,26の溝幅W22は、腕幅W21より2〜20μm細く、溝長L22は腕長L21の30〜80%、溝厚t22は腕厚t21の20〜50%であり、
補強壁部33の壁幅W23は3〜40μm、壁長L23は溝長L22の10%以上である。
(設計例2)
音叉腕部23,24の腕幅W21が30〜50μm、腕長L21が500〜1000μm、腕厚t21が30〜80μmに形成された場合、
溝部25,26の溝幅W22は、腕幅W21より2〜20μm細く、溝長L22は腕長L21の30〜80%、溝厚t22は腕厚t21の20〜50%であり、
補強壁部33の壁幅W23は3〜40μm、壁長L23は溝長L22の10%以上である。
したがって、図11に示す屈曲振動子41のように、溝部45,46の溝長L22と同じ壁長を有するように補強壁部47を形成することもできる。このように、前記補強壁部47を溝部45,46の長手方向の一端から他端までの間に連続して形成することで、音叉腕部43,44の強度が増し、Z´軸方向の不要な振動モードを大幅に低減させることが可能となるとともに、溝の幅が略一様となるため溝加工時のエッチング深さ管理が容易になるという利点がある。
22 音叉基部
23,24 音叉腕部
25,26 溝部
29,30 励振電極
31 中立線
32 縁部
33 補強壁部
41 屈曲振動子
42 音叉基部
43,44 音叉腕部
45,46 溝部
47 補強壁部
50 デバイス
51 屈曲振動子
52 ケース
53 支持腕部
54 端子電極部
Claims (6)
- 音叉基部と、この音叉基部から平行して延びる一対の音叉腕部と、この音叉腕部の表面を長手方向に凹設した溝部と、該溝部の長手方向に沿って前記音叉基部から延びる補強壁部を設けた音叉型屈曲振動子であって、
前記音叉腕部の腕幅を50〜70μm、腕長を900〜1250μm、腕厚を60〜120μmとした場合に、
前記補強壁部の長さを前記溝部の長さの10%以上とすることによって、不要振動の範囲を音叉主振動の中心から離れる方向にシフトさせたことを特徴とする音叉型屈曲振動子。 - 音叉基部と、この音叉基部から平行して延びる一対の音叉腕部と、この音叉腕部の表面を長手方向に凹設した溝部と、該溝部の長手方向に沿って前記音叉基部から延びる補強壁部を設けた音叉型屈曲振動子であって、
前記音叉腕部の腕幅を30〜50μm、腕長を500〜1000μm、腕厚を30〜80μmとした場合に、
前記補強壁部の長さを前記溝部の長さの10%以上とすることによって、不要振動の範囲を音叉主振動の中心から離れる方向にシフトさせたことを特徴とする音叉型屈曲振動子。 - 前記補強壁部は、前記溝部の長さの10%以上で、且つ、溝部の全長より短く形成されている請求項1又は2に記載の音叉型屈曲振動子。
- 音叉基部と、この音叉基部から平行して延びる一対の音叉腕部と、この音叉腕部の表面を長手方向に凹設した溝部と、該溝部の長手方向に沿って前記音叉基部から延びる補強壁部を設けた音叉型屈曲振動子であって、
前記補強壁部は、前記音叉基部から溝部の全長の途中まで延びていることを特徴とする音叉型屈曲振動子。 - 前記溝部が前記一対の音叉腕部のそれぞれの上面及び下面に形成され、これら溝部の全てに前記補強壁部が形成される請求項1乃至4のいずれかに記載の音叉型屈曲振動子。
- 前記補強壁部は、前記溝部の長手方向と直交する溝幅の略中央部に設けられる請求項1乃至4のいずれかに記載の音叉型屈曲振動子。
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