JPH05136647A - 厚みすべり振動子 - Google Patents
厚みすべり振動子Info
- Publication number
- JPH05136647A JPH05136647A JP29464291A JP29464291A JPH05136647A JP H05136647 A JPH05136647 A JP H05136647A JP 29464291 A JP29464291 A JP 29464291A JP 29464291 A JP29464291 A JP 29464291A JP H05136647 A JPH05136647 A JP H05136647A
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- Japan
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- piece
- crystal
- vibrator
- thickness
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 有限平板を用いて最高のＱ値を得ることので
きる厚みすべり振動子を提供することを目的とする。 【構成】 中央部と端部との間に、少なくとも片面に溝
４が設けられた水晶片１と、その水晶片１の中央部両面
に、水晶片１を挟んで対向するように設けられた対向電
極２と、その対向電極２の端部から水晶片１の端部まで
設けられた引出し電極３とを備える。
きる厚みすべり振動子を提供することを目的とする。 【構成】 中央部と端部との間に、少なくとも片面に溝
４が設けられた水晶片１と、その水晶片１の中央部両面
に、水晶片１を挟んで対向するように設けられた対向電
極２と、その対向電極２の端部から水晶片１の端部まで
設けられた引出し電極３とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は衛星通信や移動体通信な
どの無線通信システム機器に使用することができる厚み
すべり振動子に関するものである。
どの無線通信システム機器に使用することができる厚み
すべり振動子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、衛星通信や移動体通信などの新し
い無線通信システムの開発が盛んに行なわれている。こ
れらの無線通信システムにおいては、周波数の有効利用
などの理由から非常に安定した基準信号源やフィルタが
必要であり、化学的，物理的に安定な物質である水晶を
用いた振動子の開発が盛んに行なわれている。以下に図
面を参照しながら、従来の厚みすべり水晶振動子の一例
について説明する。
い無線通信システムの開発が盛んに行なわれている。こ
れらの無線通信システムにおいては、周波数の有効利用
などの理由から非常に安定した基準信号源やフィルタが
必要であり、化学的，物理的に安定な物質である水晶を
用いた振動子の開発が盛んに行なわれている。以下に図
面を参照しながら、従来の厚みすべり水晶振動子の一例
について説明する。
【０００３】図３は従来の水晶振動子の構造を示すもの
であり、同図（ａ）が上面図、同図（ｂ）が側面図であ
る。図３に示すように、振動子である水晶片９は、中央
部から端部に向かうにつれて薄くなるように加工されて
おり、この薄くなった端部で保持されている。水晶片９
の中央部付近には、その水晶片９を振動させるために、
水晶片９を介して対向している対向電極１０が両面に設
けられている。それぞれの対向電極１０の一端には、電
気信号を供給するための引き出し電極１１が接続され、
その引出し電極１１は水晶片９の別々の端部に延びてい
る。
であり、同図（ａ）が上面図、同図（ｂ）が側面図であ
る。図３に示すように、振動子である水晶片９は、中央
部から端部に向かうにつれて薄くなるように加工されて
おり、この薄くなった端部で保持されている。水晶片９
の中央部付近には、その水晶片９を振動させるために、
水晶片９を介して対向している対向電極１０が両面に設
けられている。それぞれの対向電極１０の一端には、電
気信号を供給するための引き出し電極１１が接続され、
その引出し電極１１は水晶片９の別々の端部に延びてい
る。
【０００４】以上のように構成された水晶振動子につい
て、以下その動作について説明する。まず、引き出し電
極１１を介して対向電極１０に電気信号が印加される
と、対向電極１０に挟まれた水晶片９の中央部には機械
的振動が生じる。そうするとこの機械的振動は水晶片９
の端部へと伝達して行く。水晶片９は中央部から端部に
向かうにつれて薄くなるように加工されているので、機
械的振動エネルギーは指数関数的に減少していき、水晶
片９の端部に伝わるエネルギーを減少させることができ
る。したがって、水晶片９はその端部で保持されている
ので、この水晶振動子のＱ値を高く保つことができる。
て、以下その動作について説明する。まず、引き出し電
極１１を介して対向電極１０に電気信号が印加される
と、対向電極１０に挟まれた水晶片９の中央部には機械
的振動が生じる。そうするとこの機械的振動は水晶片９
の端部へと伝達して行く。水晶片９は中央部から端部に
向かうにつれて薄くなるように加工されているので、機
械的振動エネルギーは指数関数的に減少していき、水晶
片９の端部に伝わるエネルギーを減少させることができ
る。したがって、水晶片９はその端部で保持されている
ので、この水晶振動子のＱ値を高く保つことができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、機械的振動エネルギーの伝達が指数関数
的に減少して行くので、水晶片９の端部でエネルギーを
０にするためには無限平板を用いなければならない、す
なわち最高のＱ値を得るためには無限平板が必要である
という課題がある。
うな構成では、機械的振動エネルギーの伝達が指数関数
的に減少して行くので、水晶片９の端部でエネルギーを
０にするためには無限平板を用いなければならない、す
なわち最高のＱ値を得るためには無限平板が必要である
という課題がある。
【０００６】本発明は、従来のこのような課題を考慮
し、有限平板を用いて最高のＱ値を得ることのできる厚
みすべり振動子を提供することを目的とするものであ
る。
し、有限平板を用いて最高のＱ値を得ることのできる厚
みすべり振動子を提供することを目的とするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、中央部と端部
との間に、少なくとも片面に溝が設けられた振動子片
と、その振動子片の中央部両面に、振動子片を挟んで対
向するように設けられた対向電極と、その対向電極の端
部から振動子片の端部まで設けられた引出し電極とを備
えた厚みすべり振動子である。
との間に、少なくとも片面に溝が設けられた振動子片
と、その振動子片の中央部両面に、振動子片を挟んで対
向するように設けられた対向電極と、その対向電極の端
部から振動子片の端部まで設けられた引出し電極とを備
えた厚みすべり振動子である。
【０００８】
【作用】本発明は、振動子片の少なくとも片面に設けら
れた溝が、対向電極によって生じた振動子片の振動を、
振動子片の端部まで伝達させず、振動子片に与えられた
振動エネルギーの損失量を小さくする。
れた溝が、対向電極によって生じた振動子片の振動を、
振動子片の端部まで伝達させず、振動子片に与えられた
振動エネルギーの損失量を小さくする。
【０００９】
【実施例】以下に、本発明をその実施例を示す図面に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００１０】図１は本発明にかかる一実施例における厚
みすべり水晶振動子の構造を示すものであり、同図
（ａ）は上面図、同図（ｂ）は側面図である。すなわ
ち、厚みすべり水晶振動子の水晶片１は、長方形の平板
形状でその中央部には、両面に水晶片１を振動させる電
気信号を印加するために正方形状の対向電極２が設けら
れている。それらの対向電極２の一端には、その対向電
極２に電気信号を供給するための引出し電極３が接続さ
れ、その引出し電極３の他端部が水晶片１の別々の端部
に向かってそれぞれ延びている。又水晶片１には、その
端部と中央部との間に水晶片１の厚みの半分以上の深さ
の溝４が、その両面に交互に設けられている。そして水
晶片１の両端部は収納ケースの保持部に保持されてい
る。
みすべり水晶振動子の構造を示すものであり、同図
（ａ）は上面図、同図（ｂ）は側面図である。すなわ
ち、厚みすべり水晶振動子の水晶片１は、長方形の平板
形状でその中央部には、両面に水晶片１を振動させる電
気信号を印加するために正方形状の対向電極２が設けら
れている。それらの対向電極２の一端には、その対向電
極２に電気信号を供給するための引出し電極３が接続さ
れ、その引出し電極３の他端部が水晶片１の別々の端部
に向かってそれぞれ延びている。又水晶片１には、その
端部と中央部との間に水晶片１の厚みの半分以上の深さ
の溝４が、その両面に交互に設けられている。そして水
晶片１の両端部は収納ケースの保持部に保持されてい
る。
【００１１】次に以上のように構成された厚みすべり水
晶振動子の動作について説明する。
晶振動子の動作について説明する。
【００１２】まず、電気信号を引き出し電極３を介し
て、対向電極２に印加する。そうすると対向電極２に挟
まれた水晶片１の中央部に機械的振動が生じ、この機械
的振動は水晶片１の端部へ向かって伝達していこうとす
る。しかし、その機械的振動エネルギーは、水晶片１の
中央部からみて１つ目の溝４によって、その溝４から端
部側には振動エネルギーの極一部しか伝達されない。そ
して、溝４の深さが水晶片１の厚みの半分以上であるこ
と、及び水晶片１の中央部からみて２つ目の溝４が１つ
目の溝４に対して水晶片１の反対側の面から掘られてい
ることの理由により、２つ目の溝４の端部側は水晶片１
の中央部と厚みすべり振動に関しては機械的に遮断され
た状態になり、１つ目の溝４を越えて伝達された極一部
の振動エネルギーは、２つ目の溝４より端部側にはほと
んど伝達しなくなる。したがって、水晶片１の厚みの半
分以上の深さの溝４を、水晶片１の両面に交互に設けた
水晶片１は、水晶片１の端部に伝達される振動エネルギ
ーをほぼ０にすることができ、非常にＱの高い厚みすべ
り水晶振動子を実現することが出来る。
て、対向電極２に印加する。そうすると対向電極２に挟
まれた水晶片１の中央部に機械的振動が生じ、この機械
的振動は水晶片１の端部へ向かって伝達していこうとす
る。しかし、その機械的振動エネルギーは、水晶片１の
中央部からみて１つ目の溝４によって、その溝４から端
部側には振動エネルギーの極一部しか伝達されない。そ
して、溝４の深さが水晶片１の厚みの半分以上であるこ
と、及び水晶片１の中央部からみて２つ目の溝４が１つ
目の溝４に対して水晶片１の反対側の面から掘られてい
ることの理由により、２つ目の溝４の端部側は水晶片１
の中央部と厚みすべり振動に関しては機械的に遮断され
た状態になり、１つ目の溝４を越えて伝達された極一部
の振動エネルギーは、２つ目の溝４より端部側にはほと
んど伝達しなくなる。したがって、水晶片１の厚みの半
分以上の深さの溝４を、水晶片１の両面に交互に設けた
水晶片１は、水晶片１の端部に伝達される振動エネルギ
ーをほぼ０にすることができ、非常にＱの高い厚みすべ
り水晶振動子を実現することが出来る。
【００１３】なお、上記実施例では、水晶片１を両端部
で保持して、水晶片１に設ける溝４を中央部と両側の端
部との間に設けたが、これに替えて図２に示すように、
水晶片５の保持を一端部で行い、対向電極６を設けた水
晶片５の中央部とその保持した端部との間に溝８を設け
るようにしてもよい。この場合は、引出し電極７は両方
とも保持端部側に延ばせばよい。
で保持して、水晶片１に設ける溝４を中央部と両側の端
部との間に設けたが、これに替えて図２に示すように、
水晶片５の保持を一端部で行い、対向電極６を設けた水
晶片５の中央部とその保持した端部との間に溝８を設け
るようにしてもよい。この場合は、引出し電極７は両方
とも保持端部側に延ばせばよい。
【００１４】また、上記実施例では、水晶片１，５の形
状を方形状としたが、これに限らず、例えば円形状など
任意の形状を用いても勿論よい。
状を方形状としたが、これに限らず、例えば円形状など
任意の形状を用いても勿論よい。
【００１５】また、上記実施例では、溝４，８の深さは
両面の溝４，８とも水晶片１，５の厚みの半分以上に形
成したが、これに限らず、溝の配置、形状、幅、間隔、
本数等の条件を変更することによって、振動子片の振動
エネルギーの端部への伝達が阻止できれば、溝の深さは
任意に設定してよい。
両面の溝４，８とも水晶片１，５の厚みの半分以上に形
成したが、これに限らず、溝の配置、形状、幅、間隔、
本数等の条件を変更することによって、振動子片の振動
エネルギーの端部への伝達が阻止できれば、溝の深さは
任意に設定してよい。
【００１６】また、上記実施例では、水晶片１および５
の形状を平板状としたが、中央部に比べて端部が薄いよ
うな形状にしても勿論よい。
の形状を平板状としたが、中央部に比べて端部が薄いよ
うな形状にしても勿論よい。
【００１７】また、上記実施例では、対向電極２，６の
形状を方形状としたが、これに限らず、例えば円形状な
ど任意の形状を用いても勿論よい。
形状を方形状としたが、これに限らず、例えば円形状な
ど任意の形状を用いても勿論よい。
【００１８】また、上記実施例では、引き出し電極３，
７の形状を細長い板状としたが、対向電極に電気信号を
供給できればどのような形状であってもよい。
７の形状を細長い板状としたが、対向電極に電気信号を
供給できればどのような形状であってもよい。
【００１９】また、引き出し電極３，７及び対向電極
２，６の材料は、振動子片に電気信号を印加できるもの
であれば、何でもよい。
２，６の材料は、振動子片に電気信号を印加できるもの
であれば、何でもよい。
【００２０】また、溝４，８の形成は例えばふっ酸系の
水溶液でエッチングするなど、いかなる手段を用いて形
成してもよい。
水溶液でエッチングするなど、いかなる手段を用いて形
成してもよい。
【００２１】また、上記実施例では、振動子片に水晶片
１を用いた厚みすべり振動子であったが、厚みすべりを
利用した振動子であればこれに限らず、例えばセラミッ
ク片などを用いた厚みすべり振動子であってもよい。
１を用いた厚みすべり振動子であったが、厚みすべりを
利用した振動子であればこれに限らず、例えばセラミッ
ク片などを用いた厚みすべり振動子であってもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたところから明らかなように本
発明は、中央部と端部との間に、少なくとも片面に溝が
設けられた振動子片と、その振動子片の中央部両面に、
振動子片を挟んで対向するように設けられた対向電極
と、その対向電極の端部から振動子片の端部まで設けら
れた引出し電極とを備えているので、有限平板を用いて
最高のＱ値を得ることができるという長所を有する。
発明は、中央部と端部との間に、少なくとも片面に溝が
設けられた振動子片と、その振動子片の中央部両面に、
振動子片を挟んで対向するように設けられた対向電極
と、その対向電極の端部から振動子片の端部まで設けら
れた引出し電極とを備えているので、有限平板を用いて
最高のＱ値を得ることができるという長所を有する。
【図１】同図（ａ）は、本発明にかかる一実施例におけ
る厚みすべり水晶振動子の構造を示す上面図、同図
（ｂ）は、その側面図である。
る厚みすべり水晶振動子の構造を示す上面図、同図
（ｂ）は、その側面図である。
【図２】同図（ａ）は、他の実施例における厚みすべり
水晶振動子の構造を示す上面図、同図（ｂ）は、その側
面図である。
水晶振動子の構造を示す上面図、同図（ｂ）は、その側
面図である。
【図３】同図（ａ）は、従来の厚みすべり水晶振動子の
構造を示す上面図、同図（ｂ）は、その側面図である。
構造を示す上面図、同図（ｂ）は、その側面図である。
１，５，９ 水晶片 ２，６，１０ 対向電極 ３，７，１１ 引き出し電極 ４，８ 溝
Claims (4)
- 【請求項１】 中央部と端部との間に、少なくとも片面
に溝が設けられた振動子片と、その振動子片の中央部両
面に、前記振動子片を挟んで対向するように設けられた
対向電極と、その対向電極の端部から前記振動子片の端
部まで設けられた引出し電極とを備えたことを特徴とす
る厚みすべり振動子。 - 【請求項２】 溝は、前記振動子片の両面に互い違いに
設けられていることを特徴とする請求項１記載の厚みす
べり振動子。 - 【請求項３】 溝は、前記振動子片の厚みの半分以上の
深さであることを特徴とする請求項１記載の厚みすべり
振動子。 - 【請求項４】 溝は、前記振動子片の中央部と両側の端
部との間に、それぞれ設けられていることを特徴とする
請求項１記載の厚みすべり振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29464291A JPH05136647A (ja) | 1991-11-11 | 1991-11-11 | 厚みすべり振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29464291A JPH05136647A (ja) | 1991-11-11 | 1991-11-11 | 厚みすべり振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05136647A true JPH05136647A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=17810412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29464291A Pending JPH05136647A (ja) | 1991-11-11 | 1991-11-11 | 厚みすべり振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05136647A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100446258B1 (ko) * | 2002-07-08 | 2004-09-01 | 쌍신전자통신주식회사 | 압전단결정을 이용한 고주파 체적음향파소자 및 그 제조방법 |
| JP2011015101A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型屈曲水晶振動子 |
| JP2011015100A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型屈曲水晶振動子 |
| JP2011035546A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動素子 |
| JP2011097623A (ja) * | 2010-12-20 | 2011-05-12 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子 |
| WO2014104110A1 (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-03 | 京セラ株式会社 | 圧電部品 |
| WO2016111037A1 (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及び水晶振動デバイス |
| JP2022189664A (ja) * | 2021-06-11 | 2022-12-22 | 成都泰美克晶体技術有限公司 | 圧電水晶振動板、共振器および振動器 |
| WO2023145626A1 (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-03 | 京セラ株式会社 | 圧電素子、圧電デバイス及び圧電ウェハ |
-
1991
- 1991-11-11 JP JP29464291A patent/JPH05136647A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100446258B1 (ko) * | 2002-07-08 | 2004-09-01 | 쌍신전자통신주식회사 | 압전단결정을 이용한 고주파 체적음향파소자 및 그 제조방법 |
| JP2011015101A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型屈曲水晶振動子 |
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| JP5941162B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-06-29 | 京セラ株式会社 | 圧電部品 |
| WO2014104110A1 (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-03 | 京セラ株式会社 | 圧電部品 |
| EP2940864A4 (en) * | 2012-12-27 | 2016-07-27 | Kyocera Corp | PIEZOELECTRIC COMPONENT |
| JPWO2014104110A1 (ja) * | 2012-12-27 | 2017-01-12 | 京セラ株式会社 | 圧電部品 |
| US9837978B2 (en) | 2012-12-27 | 2017-12-05 | Kyocera Corporation | Piezoelectric component |
| WO2016111037A1 (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及び水晶振動デバイス |
| JP6179838B2 (ja) * | 2015-01-09 | 2017-08-16 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及び水晶振動デバイス |
| JPWO2016111037A1 (ja) * | 2015-01-09 | 2017-08-17 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及び水晶振動デバイス |
| JP2022189664A (ja) * | 2021-06-11 | 2022-12-22 | 成都泰美克晶体技術有限公司 | 圧電水晶振動板、共振器および振動器 |
| WO2023145626A1 (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-03 | 京セラ株式会社 | 圧電素子、圧電デバイス及び圧電ウェハ |
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