JP2012151639A - 振動片、圧電デバイス、電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】耐衝撃性の高い小型の振動片、およびそれらを用いた圧電デバイス、電子機器を提供する。
【解決手段】水晶振動片２０は、基部２１と基部２１の一端側から二股に別れて互いに並行するように延出する一対の振動腕２２とを備え、基部２１には、その両主面に括れた形状が表れるように１つの直線に沿って対向方向に一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂが形成されている。基部２１の一対の振動腕２２が延びている方向とは交差方向の二つの端部からは、それぞれ相互に反対方向に延出されてから、屈曲部３１で屈曲して一対の振動腕２２と並行して延びる一対の支持腕３０が設けられている。支持腕３０の先端側には、隣接する振動腕２２の通常の振動の振幅範囲外に配置されて、且つ隣接する振動腕２２に通常の振幅範囲を越えた変位が生じた場合にその振動腕２２が当接される位置に配置された受け部３５が設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、圧電振動片などの振動片、それらを用いた圧電デバイス、および電子機器に関する。

従来より、屈曲振動モードやその他の振動モードで振動する振動片には、例えば、水晶などの圧電体材料からなる基材の基部から一対の振動腕を平行に延出させて、且つ、水平方向に互いに接近または離反する向きに振動させる音叉型の圧電振動片が広く使用されている。このような振動片を備えた振動デバイスが取り付けられる種々の製品、例えば、ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピューター、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器や振動ジャイロセンサー等の小型化が、ますます進展しており、これに伴って、振動デバイス、および、その振動デバイス（圧電デバイス）に収容される振動片の小型化の要求がより一層高まってきている。
また、小型化の他の課題として、振動片の振動腕を励振させたとき、その振動エネルギーに損失が生じて、ＣＩ（Crystal Impedance）値の増大やＱ値の低下など、振動片の性能を低下させる原因となることが挙げられる。そこで、振動片の小型化を図りながら、さらに、振動エネルギーの損失を防止または低減するために、従来から様々な工夫がなされている。例えば、振動腕の主面に長溝を設けるとともに、振動腕が延出する基部の両側部に切込み部または所定の深さの切り込み（切り込み溝）を形成した音叉型の水晶振動片が知られている（例えば特許文献１を参照）。

特許文献１に記載の音叉型水晶振動片について、図面を参照して具体的に説明する。図９は、従来の振動片の一例としての音叉型水晶振動片を模式的に示す平面図である。
図９において、音叉型水晶振動片１００は、水晶により形成された基部１２１と、その基部１２１の一端部分から互いに平行に延出された一対の振動腕１２２と、を有している。各振動腕１２２は、該振動腕１２２の両主面および前記両主面を接続する両側面を有し、さらに、各振動腕１２２には、その振動腕１２２の長辺方向に沿って両主面の少なくとも一方の主面に開口部を有して形成された有底の長溝１２６が設けられている。なお、図示はしないが、長溝１２６を含む領域には、振動腕１２２を振動させるための励振電極が設けられている。
また、基部１２１の振動腕１２２が延出された一端側と直交する方向の他端側（二辺）には、基部１２１の両主面に括れた形状が表れるように１つの直線に沿って対向方向に一対の切り込み１４１Ａ，１４１Ｂが形成されている。基部１２１は、一対の切り込み１４１Ａ，１４１Ｂを挟んで両側に位置する第１の部分１２１ａ、および、第２の部分１２１ｂと、一対の切り込み１４１Ａ，１４１Ｂ間で第１の部分１２１ａおよび第２の部分１１ｂを接続する接続部分１２１ｃとを含む。第２の部分１２１ｂには、例えばパッケージなどの外部基板との電気的な接続に供する図示しない外部接続電極が設けられている。音叉型水晶振動片１００は、その基部１２１の第２の部分１２１ｂを固定部として、例えばパッケージなどの外部基板に電気的な接続をはかりながら接合・固定される。

このような音叉型水晶振動片１００は、各振動腕１２２に長溝１２６が設けられていることにより、振動腕１２２が動きやすくなって効率的に振動するため、振動損失が低くなりＣＩ値を低く抑えることができるという特性を有する。
また、振動腕１２２の振動が垂直方向の成分をも含む場合に、基部１２１に設けられた一対の切り込み１４１Ａ，１４１Ｂにより、各振動腕１２２の振動の伝達が遮断されるので、振動が基部１２１を介して外部に伝わる所謂振動漏れが抑制され、ＣＩ値の上昇を防止する効果を奏するとともに、各振動腕１２２間でのＣＩ値のばらつきを防止している。

特開２００２−２８０８７０号公報

しかしながら、特許文献１に記載の音叉型水晶振動片１００では、基部１２１に形成された切り込み１４１Ａ，１４１Ｂにより基部１２１の剛性が低下して耐衝撃性が低下する虞があるという問題があった。
具体的には、図９に示す音叉型水晶振動片１００において、励振電極に所定の駆動電圧を印加すると、各振動腕１２２が、図中矢印で示す水平方向に互いに接近または離反する向きに振動する。この振動方向と同じ方向に振動腕１２２が大きく変位するような衝撃が音叉型水晶振動片１００に加わった場合には、基部１２２側に局所的に大きな応力が生じる。即ち、基部１２１の第２の部分１２１ｂを固定端として各振動腕１２２の先端側が大きく変位すると、一対の切り込み１４１Ａ，１４１Ｂのうち、振動腕１２２の変位する方向と反対側の切り込み１４１Ａまたは切り込み１４１Ｂの先端部１４２Ａまたは先端部１４２Ｂに応力が集中する。特に、水晶の場合は引っ張り応力に対して機械的な強度が弱いので、例えば、振動腕１２２が、図中矢印の＋Ｘ方向（左方向）に大きく変位する衝撃が音叉型水晶振動片１００に加わった場合には、基部１２１の図中−Ｘ方向（右方向）の切り込み１４１Ｂの先端部１４２Ｂに大きな引っ張り応力が加わり、クラックが発生したり、破損したりする虞があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

〔適用例１〕本適用例にかかる振動片は、基部と、前記基部の一端部分から延出された振動腕と、前記基部の他端部分から延出され少なくとも一部が前記振動腕と並行するように延びた支持腕と、を備え、前記支持腕の先端側に配置された受け部であって、前記振動腕の通常の振動の振幅範囲外に配置されて、且つ、前記振動腕が、前記通常の振動の前記振幅範囲を越えて変位したときに前記振動腕が接触する位置に配置された前記受け部を有することを特徴とする。

この構成によれば、振動片に衝撃が加わるなどして振動腕が通常の振動の振幅範囲を越えて変位したときに、振動腕の先端側の変位が受け部によって規制されるので、振動腕の基部との付け根部分に加わる応力の増大が抑えられ、クラックや破損が生じるなどの不具合を防止することができる。しかも、受け部を先端に有する支持腕を備えているので、この支持部を用いて振動片をパッケージなどの外部と接合することにより、振動腕と基部とを浮かせた状態で外部に保持させることができるので、振動腕の振動が基部を伝わって漏れたり、基部を介して不要な振動が振動腕に伝播したりすることにより振動特性が不安定になるのを防ぐことができる。したがって、安定した振動特性を有するとともに、優れた耐衝撃性を備えた振動片を提供することができる。

〔適用例２〕上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕は両主面および前記両主面を接続し前記振動腕の長手方向に延びる両側面を有し、さらに前記振動腕には、前記振動腕の前記長手方向に沿って前記両主面のうち少なくとも一方の主面に開口部を有する有底の長溝が設けられ、前記振動腕が前記通常の振動の前記振幅範囲を越えて変位し前記振動腕が前記受け部に接触したときの前記受け部の前記振動腕との当接部分が、前記長溝が形成された領域よりも先端側となるように前記受け部が配置されていることを特徴とする。

この構成によれば、長溝により振動腕を動きやすくして効率的に振動させることによりＣＩ値の増大を抑制しながら、振動腕の変位が受け部により規制されるときの振動腕の受け部との当接部分が、振動腕の長溝が形成された領域よりも先端側の剛性の高い部分に位置するように配置されているので、振動腕の破損が抑えられる。

〔適用例３〕上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕の先端側に、前記振動腕の前記基部側よりも幅が広い錘部が設けられ、前記振動腕に前記通常の振動の前記振幅範囲を越えた変位が生じて前記受け部と接触したときの前記受け部の前記振動腕との当接部分が、前記錘部と接触するように配置されていることを特徴とする。

この構成によれば、振動腕の幅広部であって高い強度を有する錘部の側面が受け部との当接部分となるので、振動腕の損傷を抑えながら振動片の耐衝撃性を向上させることができる。

〔適用例４〕上記適用例にかかる振動片において、前記受け部の前記当接部分が、前記振動腕の前記錘部の側面と面接触するように配置されていることを特徴とする。

例えば、錘部により形成される振動腕の角部が受け部の当接部分と接触するように配置されていた場合のように、角部により衝撃の圧力が集中して角部や受け部の一部が破損するのを防止しながら、振動片の耐衝撃性を向上させることができる。

〔適用例５〕上記適用例にかかる振動片において、前記支持腕が、前記振動腕の前記両側面間の幅が最も細い部分の幅よりも細い部分を有することを特徴とする。

この構成によれば、支持腕が振動腕よりも撓みやすくなることにより、振動腕が支持腕の受け部に当たった際に振動腕に加わるダメージが緩和されるので、振動腕の破損を防止しながら耐衝撃性の高い振動片を提供することができる。

〔適用例６〕上記適用例にかかる振動片において、前記支持腕の前記基部側の幅よりも前記受け部の幅が小さく形成されていることを特徴とする。

この構成によれば、支持腕の基部側に対して、受け部を有する支持腕の先端側の方が撓みやすくなることにより、振動腕が支持腕の受け部に当たった際に振動腕に加わるダメージが緩和されるので、振動腕の破損を防止しつつ振動片の耐衝撃性の向上に供する。

〔適用例７〕上記適用例にかかる振動片において、圧電体材料により形成された圧電振動片であることを特徴とする。

この構成によれば、耐衝撃性が高く優れた振動特性を備えた水晶振動片などの圧電振動片を提供することができる。

〔適用例８〕上記適用例にかかる振動片において、前記圧電体材料として水晶が用いられ、前記基部には、前記水晶のＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸からなる直交座標系におけるＸ軸方向の１つの直線に沿った対向方向に該基部の両主面に括れた形状が現れるように設けられた一対の切り込みを有し、前記振動腕が、前記基部のＹ軸方向の一端部からＹ軸方向に延出され、少なくとも前記振動腕の＋Ｘ側に、前記受け部を有する前記支持腕が設けられていることを特徴とする。

水晶は、圧電振動片の圧電体材料として広く用いられているものであるが、上記構成のように、結晶軸の直交座標系におけるＸ軸方向に沿ってエッチングにより切り込みを形成したときに、水晶の結晶軸に対するエッチング異方性により、−Ｘ側から切り込み加工して形成した切り込みの内壁の先端部（角部）に、望まない穴部やエッチング残り部が生じる、所謂ひれ部が形成される。この切り込みのひれ部は、振動片に衝撃が加わったときに亀裂が入ったり折れたりするきっかけになり得るものであり、特に、ひれ部に引っ張り応力が加わったときに顕著な強度劣化要因となる。
上記適用例の構成によれば、水晶により形成された振動片において、ひれ部が発生する−Ｘ方向の切り込みの反対側（＋Ｘ方向）の基部の端部から支持腕が延出され、その支持腕の先端側に受け部を備えた構成としている。これにより、ひれ部に引っ張り応力が加わる方向に変位した振動腕の動きを規制する受け部が形成されるので、特に耐衝撃性が弱い変位方向に対して耐衝撃性を向上させることができる。また、受け部を有する支持腕を基部の一方の端部からのみ形成する構成とした場合には、他方の端部からも支持腕を形成し、さらにその支持腕に受け部を形成する場合に比して振動片の小型化を図ることができる。

〔適用例９〕上記適用例にかかる振動片において、前記当接部分に衝撃緩衝部材が設けられていることを特徴とする。

この構成によれば、受け部に振動腕が当たった際に衝撃緩衝部材により衝撃が緩和されるので、振動腕が欠けたり破損したりするのを抑えることができる。

〔適用例１０〕本適用例にかかる圧電デバイスは、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、前記振動片を収納するパッケージとを有していることを特徴とする。

この構成によれば、安定した振動特性を有するとともに、優れた耐衝撃性を備えた圧電デバイスを得ることができる。

〔適用例１１〕本適用例にかかる圧電デバイスは、上記適用例のいずれかに記載の振動片と、前記振動片と電気的に接続された駆動回路部と、前記振動片、および前記駆動回路部を収納するパッケージとを有していることを特徴とする。

この構成によれば、上記振動片と駆動回路部とを有しているため、小型且つ安定した振動特性を有するとともに、優れた耐衝撃性を備えた圧電デバイスを得ることができる。

〔適用例１２〕本適用例にかかる電子機器は、上記適用例にのいずれかに記載の振動片を有していることを特徴とする。

この構成によれば、小型且つ安定した振動特性を有するとともに、優れた耐衝撃性を備えた電子機器を得ることができる。

振動片としての水晶振動片を一方の主面側からみて模式的に説明する平面図。 （ａ）は、水晶振動片の各部の断面を模式的に説明する図１のａ−ａ線断面図、（ｂ）は、図１のｃ−ｃ線断面図、（ｃ）は、図１のｂ−ｂ線断面図。 振動腕の側面の一部を、図１の矢印Ｅの方向からみた部分拡大図。 振動片としての水晶振動片の変形例を模式的に説明する平面図。 圧電デバイスとしての水晶発振器の概略構成を示す正断面図。 本発明に係る電子機器の一例としての携帯電話機の概略を示す斜視図である。 本発明に係る電子機器の一例としての携帯電話機の回路ブロック図である。 本発明に係る電子機器の一例としてのパーソナルコンピューターの概略を示す斜視図である。 従来の振動片としての音叉型水晶振動片を模式的に示す平面図。

（振動片）
以下、本発明の振動片を具体化した一実施形態について図面を参照しながら説明する。

図１は、本実施形態の振動片としての水晶振動片を一方の主面側からみて模式的に説明する平面図である。また、図２は、水晶振動片の各部の断面を模式的に説明するものであり、（ａ）は、図１のａ−ａ線断面図、（ｂ）は、図１のｃ−ｃ線断面図、（ｃ）は、図１のｂ−ｂ線断面図である。
図１において、水晶振動片２０は、水晶からなる。また、本実施形態の水晶振動片２０を構成する水晶の原形となる水晶ウェハ（水晶基材）は、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸からなる直交座標系において、Ｚ軸を中心に時計回りに０度〜５度の範囲で回転させて切り出した水晶Ｚ板を所定の厚みに切断研磨加工して得られるものを用いる。本実施形態の水晶振動片２０は、その水晶Ｚ板を加工することにより形成された基部２１と、この基部２１の一端側（図において上端側）から二股に別れて互いに並行して延出される一対の振動腕２２とからなる所謂音叉型の外形を有して形成されている。

基部２１には、その両主面に括れた形状が表れるように１つの直線に沿って対向方向に一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂが形成されている。基部２１は、一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂを挟んで両側に位置する第１の部分２１ａおよび第２の部分２１ｂと、一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂ間で第１の部分２１ａおよび第２の部分２１ｂを接続する接続部分２１ｃとを含む。本実施形態の水晶振動片２０においては、これらの切り込み４１Ａ，４１Ｂによって、各振動腕２２の振動の伝達が遮断されるので、振動が基部２１や支持腕３０を介して外部に伝わる所謂振動漏れを抑制し、ＣＩ値の上昇を防止することができる。
なお、一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂの幅（接続部分２１ｃの幅）は、一対の振動腕２２に対向する側面の間隔よりも小さくしてもよいし大きくしてもよいし、一対の振動腕２２の相互に反対を向く側面の距離よりも小さくてもよいし、大きくしてもよい。

一対の振動腕２２は、基部２１の第１の部分２１ａから両主面（紙面上手前と奥の面）に平行に延出されている。また、各振動腕２２は、前記両主面と、その両主面を両側で接続する両側面とを有する。
また、各振動腕２２の先端側には、振動腕２２の基部２１側よりも幅が広い錘部２９がそれぞれ設けられている。このように、各振動腕２２の先端部分の錘部２９が錘の機能を果たすことにより、振動腕２２の長さを増大させることなく周波数を低くすることができる。
なお、本実施形態の振動腕２２は、錘部２９以外の部分が一定の幅を有している構成を図示したが、これに限らず、振動腕２２の主要部（錘部２９とは異なる部分）にテーパーを形成してもよい。例えば、振動腕２２の基部２１側から先端に向かって細くなるテーパーを形成することにより、振動腕２２を振動しやすくすることができる。

図１に示すように、各振動腕２２の一方の主面には、それぞれの長手方向に沿って一本の有底の長溝２６ａがそれぞれ設けられている。また、図２（ａ）に示すように振動腕２２の他方の主面にも、振動腕２２の長手方向に沿って一本の長溝２６ｂが設けられている。
このような各振動腕２２に設けられた長溝２６ａ，２６ｂによって、振動腕２２が動きやすくなって効率的に振動することにより、ＣＩ値を下げることができる。

なお、図１に示す本実施形態の振動腕２２において、長溝２６ａ（および２６ｂ）は、それらの一端側（振動腕２２の先端側）が、振動腕２２の錘部２９との境界よりも先端側（錘部２９側）の位置まで形成されている。このようにすることにより、振動腕２２が振動する際に生じる応力の集中する領域が振動腕２２の延長方向に分散されるので、振動腕２２の錘部２９の付け根部に応力が集中して破損するなどの不具合を回避できる。
これとは逆に、長溝２６ａ，２６ｂの一端側（振動腕２２の先端側）を、振動腕２２の錘部２９との境界よりも基部２１側の位置まで形成する構成としてもよく、このことにより得られる効果もある。すなわち、振動腕２２が振動する際に生じる応力の集中する領域が振動腕２２の延長方向に分散されることにより、振動腕２２の錘部２９の付け根部に応力が集中して破損するなどの不具合を回避できとともに、各振動腕２２における錘部２９の質量付加効果が増すので、水晶振動片２０のサイズを増大させることなく低周波化を図ることができる。
ただし、各振動腕２２において、長溝２６ａ，２６ｂの一端側（振動腕２２の先端側）を、振動腕２２の錘部２９との境界に位置するように設けた場合でも、振動腕２２の錘部２９の付け根部への応力集中により破損等が起こらない場合、例えば、振動腕２２が十分な剛性を備えるだけの幅を有している場合や、振動腕２２の基部２１側から錘部２９に向かって広がるテーパー形状を形成した場合などであれば、長溝２６ａ，２６ｂの一端側（振動腕２２の先端側）を、振動腕２２の錘部２９との境界に位置するように設けてもよい。

水晶振動片２０は、基部２１の第２の部分２１ｂから延びる一対の支持腕３０を有している。一対の支持腕３０は、基部２１から一対の振動腕２２が延びる方向とは交差方向の二つの端部から、それぞれ相互に反対方向に延出されてから、屈曲部３１で、一対の振動腕２２の延びる方向に屈曲し、振動腕２２の延びる方向に並行するようにさらに延びる。このように屈曲させることにより支持腕３０は小型化されている。支持腕３０は、例えば、パッケージ（図示せず）などの外部基板との取り付けに供する部分であり、図中に例示した固定部３９と外部基板の固定部とを接着剤などを介して接着・固定することによって、外部基板に取り付けられた水晶振動片２０において、振動腕２２および基部２１を浮いた状態にすることができる。

図２に示すように、各振動腕２２の各長溝２６ａ，２６ｂ、および各両側面を含む表面には励振電極４３，４４が形成されている（図１では図示を省略）。一方の振動腕２２において、励振電極４３，４４間に電圧を印加して、振動腕２２の両側面を伸縮させることで振動腕２２を振動させる。励振電極４３，４４は、水晶をエッチングして水晶振動片２０の長溝２６ａ，２６ｂを含む外形を形成した後で、例えば、ニッケル（Ｎｉ）またはクロム（Ｃｒ）を下地層として、その上に、蒸着またはスパッタリングにより例えば金（Ａｕ）による電極層を成膜し、その後フォトリソグラフィーを用いてパターニングすることにより形成することができる。ここで、クロムは水晶との密着性が高く、また、金は、電気抵抗が低く酸化し難いことで知られている。

各支持腕３０の先端側には、振動腕２２の振動方向と同じ方向の厚みが狭められた部分であって、隣接する振動腕２２の通常の振動の振幅範囲外に配置されて、且つ、隣接する振動腕２２に通常の振幅範囲を所定量越えた変位が生じた場合にその振動腕２２が当接される位置に配置された受け部３５を有している。すなわち、水晶振動片２０の励振電極４３，４４に駆動電圧を印加して所定の共振周波数で振動腕２２を振動させる操作において振動腕２２の振幅が最も大きい場合に、隣接する振動腕２２と支持腕３０の受け部３５とが接触しないように配置されている。また、振動腕２２に通常の振幅範囲を所定量越えた変位が生ずる場合とは、落下などにより水晶振動片２０に衝撃が加わることによって振動腕２２が大きく変位する場合などをいう。

図１に示す水晶振動片２０において、各支持腕３０は、隣接する振動腕２２の両側面間の幅が最も細い部分の幅よりも細い部分を有して形成されている。
また、支持腕３０において、支持腕３０の基部２１側の幅よりも、受け部３５およびその基部２１側の幅の方が小さく形成されている。

詳述すると、図１において、基部２１から相互に反対方向に延出され屈曲部３１で屈曲され振動腕２２と並行するような方向に延びる一対の支持腕３０は、基部２１側に比較的幅の広い幅広部３２を有し、その幅広部３２の先端側に幅が狭められた幅狭部３３が形成され、その幅狭部３３のさらに先端側が受け部３５になっている。すなわち、図２（ｂ）に示す支持腕３０の幅狭部３３の幅ｔ２と、図２（ｃ）に示す支持腕３０の幅広部３２の幅ｔ３とにおいて、ｔ２＜ｔ３の関係となっている。なお、支持腕３０の幅広部３２および幅狭部３３のそれぞれが、本実施形態のように断面が方形状でなく、例えば、有底の溝が設けられている場合や断面の仮想の中心線に対して線対称でない断面形状を有している場合などは、図２（ｂ）に示す支持腕３０の幅狭部３３の断面積Ｓ２と、図２（ｃ）に示す支持腕３０の幅広部３２の断面積Ｓ３において、Ｓ２＜Ｓ３の関係となっていてもよい。

また、図２（ａ）に示す振動腕２２の両側面間の幅ｔ１と、支持腕３０の同一方向の幅との関係において、少なくとも、図２（ｂ）に示す支持腕３０の幅狭部３３の幅ｔ２と、ｔ１＞ｔ２の関係となっている。さらに、本実施形態では、振動腕２２の幅ｔ１と、図２（ｃ）に示す支持腕３０の幅広部３２の幅ｔ３とにおいてもｔ１＞ｔ３の関係となっている。なお、図２（ａ）に示す振動腕２２の断面積Ｓ１と、少なくとも図２（ｂ）に示す支持腕３０の幅狭部３３の断面積Ｓ２とにおいて、Ｓ１＞Ｓ２の関係となっている。さらに、振動腕２２の断面積Ｓ１と、図２（ｃ）に示す支持腕３０の幅広部３２とにおいて、Ｓ１＞Ｓ３の関係となっていてもよい。

このように、水晶振動片２０において、各支持腕３０が、隣接する振動腕２２の両側面間の幅が最も細い部分の幅よりも細い幅狭部３３（および幅広部３２）を有して形成されていることにより、支持腕３０が振動腕２２よりも撓みやすい弾性を呈する。これにより、振動腕２２が支持腕３０側に大きく変位して受け部３５に当たった際に振動腕２２に加わるダメージが軽減されるので、振動腕２２の破損を防止しながら振動腕２２の過度な変位を規制して水晶振動片２０の耐衝撃性を向上させることができる。
また、支持腕３０の基部２１側の幅広部３２の幅よりも、受け部３５およびその基部２１側の幅狭部３３の幅の方が小さく形成されていることにより、支持腕３０の基部２１側（幅広部３２側）に対して、受け部３５を有する支持腕の先端側（幅狭部３３側）の方が撓みやすい弾性を呈するので、振動腕２２が支持腕３０側に大きく変位して受け部３５に当たった際に振動腕２２に加わるダメージが軽減され、振動腕２２の破損を防止しつつ水晶振動片２０の耐衝撃性の向上に供する。

また、本実施形態では、各支持腕３０の幅が狭められた幅狭部３３が、先端側で隣接する振動腕２２に近づく方向に曲げられてから、さらに先端側で隣接する振動腕２２と略平行となるように屈曲して受け部３５が形成されている。
さらに、本実施形態では、支持腕３０の受け部３５の先端側で、隣接する振動腕２２と離間する方向に屈曲する返し部３５ａが形成されていて、支持腕３０の最先端部の角部が振動腕２２と当接しないようにすることにより、支持腕３０や振動腕２２に欠けや破損が生じるのを防止している。
なお、以上、説明した受け部３５を有する支持腕３０の構成において、水晶振動片２０をパッケージなどの外部基板に固定する固定部３９は、支持腕３０の幅広部３２であって、且つ、受け部３５よりも基部２１側に配置される。これにより、固定部３９を支点として振動腕２２の変位を、衝撃を緩和しながら規制する受け部３５を実現することができる。

さらに、図１、および、図３を参照しながら、水晶振動片２０における受け部３５の配置について説明する。ここで、あらたに参照する図３は、振動腕２２における支持腕３０の受け部３５の当接部分の配置を模式的に説明するものであり、一方の振動腕２２の側面の一部を、図１の矢印Ｅの方向からみた部分拡大図である。
図１および図３に示す水晶振動片２０において、振動腕２２が、隣接する支持腕３０側に大きく変位して支持腕３０の受け部３５に接触した場合に、受け部３５の振動腕２２との当接部分が下記に示す位置となるように受け部３５が配置されている。
すなわち、支持腕３０の受け部３５は、振動腕２２が大きく変位した場合に、長溝２６ａ，２６ｂが形成された領域よりも先端側に位置するように配置されている。これにより、振動腕２２に大きな変位が生じて隣接する支持腕３０の受け部３５に接触したときの、振動腕２２の受け部３５との当接部分が、長溝２６ａ，２６ｂが形成された領域よりも先端側の剛性の高い部分に位置するように配置されているので、振動腕２２が破損するなどの不具合を防止しながら、水晶振動片２０の耐衝撃性の向上に効果を奏する。
また、支持腕３０の受け部３５は、振動腕２２が大きく変位した場合に、振動腕２２の先端側の幅広部である錘部２９と接触する位置に配置されている。さらに、受け部３５が、振動腕２２の錘部２９の両側面のうちの受け部３５側の側面と面接触するように配置されている。換言すれば、水晶振動片２０において、支持腕３０の受け部３５が、振動腕２２の錘部２９の一端に形成される角部２７を避けて配置されている。これにより、振動腕２２の幅広部であって高い強度を有する錘部２９の側面が受け部３５と面接触されるので、振動腕２２の損傷が抑えられる。また、錘部２９により形成される振動腕２２の角部２７が受け部３５の当接部分と接触するように配置されていた場合のように、角部２７や受け部３５の一部が破損するのを防止しながら、水晶振動片２０の耐衝撃性を向上させることができる。

さらに、本実施形態の水晶振動片２０において、受け部３５の隣接する振動腕２２との当接部分となる面には、衝撃緩衝部材３８が設けられている。衝撃緩衝部材３８は、振動腕２２が大きく変位して受け部３５に接触したときに、その衝撃を和らげ得る材料により構成され、振動腕２２の当接部分となるべく大きな接触面積を確保しつつ面接触するように、振動腕２２の当接面と平行な一定の面積を有して設けることが望ましい。
衝撃緩衝部材３８に用いる材料としては、ゴムや樹脂などの弾性の高い部材を用いることができるが、それらに限らず、例えば金などの比較的柔らかい金属膜を用いることもできる。金属膜により衝撃緩衝部材３８を形成する場合には、例えば、水晶振動片２０の励振電極４３，４４（図２（ａ）を参照）などの電極形成工程にて同時に形成することにより、製造工程を増大させることなく衝撃緩衝部材３８を設けることができる。
このように、受け部３５の隣接する振動腕２２との当接部分に衝撃緩衝部材３８を設けることにより、受け部３５に振動腕２２が当たった際の衝撃が緩和され、振動腕２２や支持腕３０の受け部３５が欠けたり破損したりするのを抑えることができる。

以上、説明したように、上記実施形態の水晶振動片２０によれば、切り込み４１Ａ，４１Ｂ、長溝２６ａ，２６ｂ、錘部２９などを備えることにより、振動漏れや、ＣＩ値の上昇、あるいはＱ値の低下が抑えられるとともに、振動特性の安定した水晶振動片２０の落下などの衝撃によって振動腕２２に大きな変位が生じた場合に、衝撃を緩和しながら振動腕２２の変位を規制する受け部３５を備えているので、安定した振動特性を有すると共に、耐衝撃性の高い水晶振動片２０を提供することができる。

上記実施形態で説明した振動片としての圧電振動片は、以下の変形例として実施することも可能である。

（変形例１） 上記実施形態では、一対の振動腕２２の両側に受け部３５を有する支持腕３０を設けた構成の水晶振動片２０について説明した。これに限らず、受け部は、水晶振動片を構成する水晶材料（圧電体材料）の結晶軸方向を考慮すれば、振動腕の振動方向のいずれか片側に受け部を配置することによって、耐衝撃性の向上を図ることができる。
図４は、振動腕の振動方向の片側にのみ受け部を有する支持腕を配置した水晶振動片の変形例を模式的に説明する平面図である。本変形例を説明する図４において、上記実施形態と同じ構成については同一符号を付して説明を省略する。

図４において、水晶振動片５０は、水晶Ｚ板を所定の厚みに切断研磨加工して得られる水晶基材からなり、基部２１と、この基部２１の一端側（図において上端側）から二股に別れて互いに並行して延出される一対の振動腕２２と、を有している。基部２１には、水晶のＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸からなる直交座標系におけるＸ軸方向の１つの直線に沿った対向方向に該基部の両主面に括れた形状が表れるように設けられた一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂが形成され、基部２１は、一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂを挟んで両側に位置する第１の部分２１ａおよび第２の部分２１ｂと、一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂ間で第１の部分２１ａおよび第２の部分２１ｂを接続する接続部分２１ｃとを含む。

一対の振動腕２２は、その先端側に幅広部である錘部２９がそれぞれ設けられている。また、各振動腕２２の主面には、それぞれの長手方向に沿って一本の有底の長溝２６ａがそれぞれ設けられている。また、図示はしないが、各振動腕２２の各長溝２６ａ、および各両側面を含む表面には励振電極が形成されている。

水晶振動片５０は、基部２１の第２の部分２１ｂから延びる一対の支持腕３０，３０ｂを有している。各支持腕３０，３０ｂは、基部２１から一対の振動腕２２が延びる方向とは交差方向の二つの端部から、それぞれ相互に反対方向に延出されてから、屈曲部３１，３１ｂで、一対の振動腕２２の延びる方向に屈曲してさらに延びている。
この一対の支持腕３０，３０ｂのうち、水晶の直交座標系における−Ｘ方向から切り込んで形成された切り込み４１Ｂの反対側の基部２１の端部（＋Ｘ側）から延出されている一方の支持腕３０は、先端側に受け部３５を有している。これに対して、水晶の前記直交座標系における−Ｘ方向の切り込み４１Ｂ側の基部２１の端部から延出された他方の支持腕３０ｂは、前記受け部３５を有する一方の支持腕３０よりも短いものであり、受け部は有しておらず、固定部３９を有している。

水晶Ｚ板により形成された水晶振動片５０において、基部２１のＸ軸方向の双方向から切り込まれて形成された一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂのうち、結晶軸の直交座標系における−Ｘ方向に沿った切り込み４１Ｂをエッチングにより形成した際に、水晶Ｚ板のエッチング異方性により、切り込み４１Ｂの内壁の先端部（角部）４２Ｂに、望まない穴部やエッチング残り部が生じる所謂ひれ部が形成される。この切り込み４１Ｂに生じるひれ部は、落下などにより水晶振動片５０に衝撃が加わった際に、亀裂が入ったり折れたりするきっかけになり得るものであり、特に、ひれ部に引っ張り応力が加わったとき、すなわち、振動腕２２が＋Ｘ方向に大きく変位した場合に、顕著な強度劣化要因となる。

本変形例の水晶振動片５０の構成によれば、ひれ部が発生する−Ｘ方向の切り込みの反対側の基部２１の端部（＋Ｘ方向）から延出された一方の支持腕３０の先端側に受け部３５を備え、他方の支持腕３０ｂは、水晶振動片５０の支持構造としての機能となる固定部３９を有し、一方の支持腕３０よりも短く、先端側に受け部を有していない構成となっている。これにより、振動腕２２が、ひれ部に引っ張り応力が加わる方向である＋Ｘ方向に大きく変位したときに、その振動腕２２の変位が受け部３５により規制され、耐衝撃性が特に弱いひれ部に亀裂が入ったり折れたりするのを防止できる。
ここで、ひれ部が形成されてしまう−Ｘ側の切り込み４１Ｂと対をなす切り込み４１Ａの内壁の角部４２Ａは、ひれ部の発生はなく強度低下も起こり難いため、基部２１の−Ｘ側に配置される他方の支持腕３０ｂには受け部を設けなくてもよく、支持腕３０ｂの長さは短くてよい。したがって、振動腕２２の両側に受け部を有する支持腕を配置する構成に比して、小型で、耐衝撃性に優れた水晶振動片５０とすることができる。

以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上記実施形態および変形例では、本発明の効果を顕著に奏する実施の形態として、基部２１に振動漏れ抑止効果のある切り込み４１Ａ，４１Ｂを設けた構成の水晶振動片２０，５０について説明した。これに限らず、基部に切り込みを設けない構成においても、例えば、基部の振動腕の振動方向と同一方向の幅が狭く剛性が小さな振動片においても、耐衝撃性の向上を図ることができる。

また、上記実施形態および変形例では、長溝２６ａ，２６ｂや錘部２９を有する振動腕２２を備えた水晶振動片２０，５０を一例として説明したが、それらを有していない構成の振動片であっても、本発明の効果を得ることができる。

また、上記実施形態および変形例では、受け部３５を備えた支持腕３０において、受け部３５の振動腕２２との当接部分に衝撃緩衝部材３８を設けた構成について説明した。これに限らず、衝撃緩衝部材３８を設けない構成としても、受け部を有さない構成の振動片に比して耐衝撃性を向上する効果がある。
また、支持腕３０の受け部３５のさらに先端側に設けた返し部３５ａについても、これを設けない構成としてもよい。

また、上記実施形態では、屈曲振動モードの水晶振動片２０を一例として説明した。これに限らず、ねじり振動モードや剪断モードなどの屈曲振動モード以外の振動モードの振動片においても、本発明の特徴的な構成を具備させることにより上記実施形態および変形例と同様な耐衝撃性の向上などの効果を得ることができる。

また、上記実施形態および変形例では、基部２１から２本の振動腕２２が互いに並行するように延出されて形成された所謂音叉型の水晶振動片２０，５０における本発明の実施の形態や変形例を説明した。これに限らず、固定端となる基部を有する１本の振動腕のみにより構成される所謂ビーム型振動片などであっても、また、３本以上の振動腕を有する振動片であっても、上記実施形態および変形例と同様な効果を得ることができる。

上記実施形態および変形例では、圧電体材料の１つである水晶からなる水晶振動片２０，５０について説明したが、これに限らず、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの水晶以外の圧電体材料により構成することもできる。さらに、圧電体材料以外の、例えば、シリコン半導体からなる振動片であっても、上記実施形態および変形例と同様な効果を得ることができる。

上記実施形態および変形例で説明した水晶振動片２０，５０は、圧電デバイスや、圧電デバイス以外の様々な電子部品に適用することができる。圧電デバイスとしては、パッケージ内に上記の水晶振動片２０，５０のうちいずれかの水晶振動片がその支持腕３０を固定部として接合された振動子、或いはパッケージ内に上記の水晶振動片２０，５０のうちいずれかの水晶振動片がその支持腕３０を固定部として接合され、さらに、その水晶振動片２０，５０を発振させる発振回路素子が少なくとも組み込まれて構成された発振器を提供することができる。このような振動子、或いは発振器は、ＣＩ値の上昇や、Ｑ値の低下、あるいは振動漏れが抑えられて高性能化が実現するとともに、小型化を図ることができる。

（発振器）
ここで上述した発振器について、図５を参照して詳細を説明する。図５は、水晶振動片２０または水晶振動片５０を用いた発振器としての水晶発振器の概略構成を示す正断面図である。なお、以下に示す発振器の説明では水晶振動片２０を用いる例で説明するが、水晶振動片２０に換えて水晶振動片５０を用いてもよい。また、水晶振動片２０，５０は、上記説明と同様であるので説明を省略する。

図５に示す水晶発振器５００は、水晶振動片２０と、水晶振動子２０と接続され少なくとも水晶振動子２０を駆動する駆動回路部としての半導体素子２３１と、が収納されるパッケージ２２１と、蓋体２２２とを備えている。
パッケージ２２１を構成するは、ベース２２３は、ベース基板２１５と、積層基板２１６，２１７と、接合部２１８と、導通固定部２２５ａ，２２５ｂと、外部接続端子２２６と、収納室２２７とを備えている。

ベース２２３は、ベース基板２１５に積層基板２１６，２１７を順に積層し、積層基板２１６，２１７上に金属、ロウ剤、またはガラスなどからなる接合部２１８を形成している。ベース基板２１５および積層基板２１６，２１７は、たとえば絶縁材料である酸化アルミニウム質からなるセラミックシートから形成されている。収納室２２７は、積層基板２１６，２１７が収納室２７の形状に合わせて刳り貫かれ、ベース基板２１５に積層し、その後、焼結されることにより形成される。

突出部２２４は、ベース基板２１５が収納室２２７内に延びて、２個備えられている。突出部２２４上には、導通固定部２２５ａ，２２５ｂが形成されている。導通固定部２２５ａ，２２５ｂは、たとえばタングステンメタライズ、ニッケルメッキ、および金メッキの順に形成される。

水晶振動片２０の支持部（図示省略）には、それぞれマウント電極（図示省略）が形成され、それぞれ励振電極（図示省略）に接続されている。そして、水晶振動片２０は、該マウント電極が導電性接着剤２２８により導通固定部２２５に固定されている。
導電性接着剤２２８は、シリコン系樹脂、エポキシ系樹脂、またはポリイミド系樹脂などからなり、銀（Ａｇ）またはプラチナ（Ｐｔ）などの導電性粉末が配合されている。

半導体素子２３１は、ベース基板２１５上にダイアタッチされ、ボンディングワイヤー２３２により内部接続端子２３３に接続されている。半導体素子２３１は、少なくとも水晶振動子２０を駆動（発振）させる機能を有している。
内部接続端子２３３は、複数個備えられており、ベース２２３の内側であるベース基板２１５の上面に形成されている。内部接続端子２３３は、例えばタングステンメタライズ、ニッケルメッキ、および金メッキの順に形成することにより得られる。
そして、内部接続端子２３３は、例えばベース基板２１５に形成された配線（図示省略）によって外部接続端子２２６、あるいは導通固定部２２５ａ，２２５ｂなどと電気的に接続されている。

外部接続端子２２６は、複数（本例では４個）備えられており、ベース２２３の外側であるベース基板２１５の下面、つまり収納室２２７と対向する面に、形成されている。外部接続端子２２６は、例えばタングステンメタライズ、ニッケルメッキ、および金メッキの順に形成することにより得られる。

ベース２２３は、接合部２１８によって、蓋体２２２に接合されている。このようにして、ベース２２３と蓋体２２２とによって、収納室２２７内に水晶振動片２０および半導体素子２３１とが気密に封止されている。
蓋体２２２は、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはこれら金属を配合した合金、または酸化アルミニウム質などからなるセラミック、あるいはガラスで形成されている。

本例の水晶発振器２００によれば、パッケージ２２１内に水晶振動片２０がその支持腕を固定部として接合され、さらに、その水晶振動片２０を発振させる機能を少なくとも有する半導体素子２３１が組み込まれて構成されているため、耐衝撃性が向上し、さらにはＣＩ値の上昇やＱ値の低下、あるいは振動漏れが抑えられて高性能化が実現するとともに、小型化を図ることができる。

なお、上述した圧電デバイスとしての振動子は、上述した発振器の半導体素子２３１及びそれに関わる要素が設けられていない構成であり、他の構成は同様であるため説明を省略した。

《電子機器》
上記で説明した各実施形態の圧電デバイスとしての水晶振動片２０，５０、あるいはそれを用いた振動子、水晶発振器２００は、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、小型で信頼性の高いものとなる。
図６、および図７は、本発明の電子機器の一例としての携帯電話機を示す。図６は、携帯電話機の外観の概略を示す斜視図であり、図７は、携帯電話機の回路を説明する回路ブロック図である。

この携帯電話機３００は、上述の水晶振動片２０，５０を用いた水晶発振器２００を例として説明する。また、水晶振動片２０，５０および水晶発振器２００の構成、作用については、その説明を省略する。なお、水晶発振器２００に代えて水晶振動子２０，５０を用いてもよいが、この場合は、水晶振動子２０，５０と電気的に接続されて、少なくとも水晶振動子２０，５０を駆動する機能を有する駆動回路が備えられる。

図６に示すように携帯電話機３００は、表示部であるＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）３０１、数字等の入力部であるキー３０２、マイクロフォン３０３、スピーカー３１１、図示しない回路などが設けられている。
図７に示すように、携帯電話機３００で送信する場合は、使用者が、自己の声をマイクロフォン３０３に入力すると、信号はパルス幅変調・符号化ブロック３０４と変調器／復調器ブロック３０５を経てトランスミッター３０６、アンテナスイッチ３０７を開始アンテナ３０８から送信されることになる。

一方、他人の電話機から送信された信号は、アンテナ３０８で受信され、アンテナスイッチ３０７、受信フィルター３０９を経て、レシーバー３１０から変調器／復調器ブロック３０５に入力される。そして、変調又は復調された信号がパルス幅変調・符号化ブロック３０４を経てスピーカー３１１に声として出力されるようになっている。
このうち、アンテナスイッチ３０７や変調器／復調器ブロック３０５等を制御するためのコントローラー３１２が設けられている。
このコントローラー３１２は、上述の他に表示部であるＬＣＤ３０１や数字等の入力部であるキー３０２、更にはＲＡＭ３１３やＲＯＭ３１４等も制御するため、高精度であることが求められる。また、携帯電話機３００の小型化の要請もある。
このような要請に合致するものとして上述の水晶発振器２００が用いられている。
なお、携帯電話機３００は、他の構成ブロックとして、温度補償型水晶発振器３１５、レシーバー用シンセサイザー３１６、トランスミッター用シンセサイザー３１７などを有しているが説明を省略する。

この携帯電話機３００に用いられている上記水晶振動片２０，５０、あるいは水晶発振器２００は、上述したように振動漏れや、ＣＩ値の上昇、あるいはＱ値の低下が抑えられることによる振動特性の安定とともに、水晶振動片２０，５０の落下などに対する耐衝撃性の高いものである。
従って、水晶振動片２０，５０、あるいは水晶発振器２００を用いている電子機器（携帯電話機３００）は、安定した特性を有するとともに、耐衝撃特性を向上させることが可能となる。

本発明の水晶振動片２０，５０、振動子、あるいは水晶発振器２００が搭載される電子機器としては、図８に示すパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）４００も挙げられる。パーソナルコンピューター４００は、表示部４０１、入力キー部４０２などを備えており、その電気的制御の基準クロックとして上述の水晶振動片２０，５０、あるいは水晶振動片２０，５０を備えた水晶発振器２００が用いられている。
また、本発明の水晶振動片２０，５０、あるいは水晶振動片２０，５０を備えた水晶発振器２００を備える電子機器としては、前述に加え、例えばディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等が挙げられる。

以上、本発明の電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
例えば、前述した実施形態では、水晶振動片が振動部として２の振動腕を有する場合を例に説明したが、振動腕の数は、３つ以上であってもよい。

また、上記実施形態で説明した水晶振動片は、電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）、恒温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）等の圧電発振器の他、ジャイロセンサー等に適用することができる。

２０，５０…振動片としての水晶振動片、２１，１２１…基部、２１ａ，１２１ａ…第１の部分、２１ｂ，１２１ｂ…第２の部分、２１ｃ，１２１ｃ…接続部分、２２，１２２…振動腕、２６ａ，２６ｂ，１２６…長溝、２７…角部、２９…錘部、３０，３０ｂ…支持腕、３１，３１ｂ…屈曲部、３２…幅広部、３３…幅狭部、３５…受け部、３５ａ…返し部、３８…衝撃緩衝部材、３９…固定部、４１Ａ，４１Ｂ，１４１Ａ，１４１Ｂ…切り込み、４２Ａ，４２Ｂ，１４２Ａ，１４２Ｂ…（切り込みの）先端部、４３，４４…励振電極、２００…発振器としての水晶発振器、３００…携帯電話機、４００…パーソナルコンピューター、１００…従来の振動片としての音叉型水晶振動片。

Claims (12)

1. 基部と、
   前記基部の一端部分から延出された振動腕と、
   前記基部の他端部分から延出され、少なくとも一部が前記振動腕と並行するように延びた支持腕と、を備え、
   前記支持腕の先端側に配置された受け部であって、前記振動腕の通常の振動の振幅範囲外に配置されて、且つ、前記振動腕が、前記通常の振動の前記振幅範囲を越えて変位したときに前記振動腕が接触する位置に配置された前記受け部を有することを特徴とする振動片。
2. 請求項１に記載の振動片において、
   前記振動腕は、両主面および前記両主面を接続し前記振動腕の長手方向に延びる両側面を有し、
   さらに前記振動腕には、前記振動腕の前記長手方向に沿って前記両主面のうち少なくとも一方の主面に開口部を有する有底の長溝が設けられ、
   前記振動腕が前記通常の振動の前記振幅範囲を越えて変位し前記振動腕が前記受け部に接触したときの前記受け部の前記振動腕との当接部分が、前記長溝が形成された領域よりも先端側となるように前記受け部が配置されていることを特徴とする振動片。
3. 請求項１または２に記載の振動片において、
   前記振動腕の先端側に、前記振動腕の前記基部側よりも幅が広い錘部が設けられ、
   前記振動腕に前記通常の振動の前記振幅範囲を越えた変位が生じて前記受け部と接触したときの前記受け部の前記振動腕との当接部分が、前記錘部と接触するように配置されていることを特徴とする振動片。
4. 請求項３に記載の振動片において、
   前記受け部の前記当接部分が、前記振動腕の前記錘部の側面と面接触するように配置されていることを特徴とする振動片。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の振動片において、
   前記支持腕が、前記振動腕の前記両側面間の幅が最も細い部分の幅よりも細い部分を有することを特徴とする振動片。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の振動片において、
   前記支持腕の前記基部側の幅よりも前記受け部の幅が小さく形成されていることを特徴とする振動片。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の振動片において、
   圧電体材料により形成された圧電振動片であることを特徴とする振動片。
8. 請求項７に記載の振動片において、
   前記圧電体材料として水晶が用いられ、
   前記基部には、前記水晶のＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸からなる直交座標系におけるＸ軸方向の１つの直線に沿った対向方向に該基部の両主面に括れた形状が現れるように設けられた一対の切り込みを有し、
   前記振動腕が、前記基部のＹ軸方向の一端部からＹ軸方向に延出され、
   少なくとも前記振動腕の＋Ｘ側に、前記受け部を有する前記支持腕が設けられていることを特徴とする振動片。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の振動片において、
   前記当接部分に衝撃緩衝部材が設けられていることを特徴とする振動片。
10. 請求項１〜９のいずれかに記載の振動片と、
    前記振動片を収納するパッケージとを有していることを特徴とする圧電デバイス。
11. 請求項１〜９のいずれかに記載の振動片と、
    前記振動片と電気的に接続された駆動回路部と、
    前記振動片、および前記駆動回路部を収納するパッケージとを有していることを特徴とする圧電デバイス。
12. 請求項１〜９のいずれかに記載の振動片を有していることを特徴とする電子機器。

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