JP2011117972A5 - 振動子及び電子機器 - Google Patents

Description

かかる課題を解決するために、本発明の振動子は、振動体と、上記振動体の第１の面に配置された第１の吸着膜と、上記振動体の上記第１の面と対向する第２の面に配置された第２の吸着膜と、上記振動体が配置された基体と、を備えることを特徴とする。
また、本発明の振動子は、厚みすべり振動モードで振動する振動体と、前記振動体の第１の面における、第１の領域に形成された第１の吸着膜と、前記振動体の前記第１の面と対向する第２の面における、第２の領域に形成された第２の吸着膜と、表面に前記振動体を立設された基板と、を備え、前記振動体は、前記第１の面及び前記第２の面とは異なる第３の面において前記基板に接していることを特徴とする。

Claims (14)

1. 振動体と、
   前記振動体の第１の面に配置された第１の吸着膜と、
   前記振動体の前記第１の面と対向する第２の面に配置された第２の吸着膜と、
   前記振動体が配置された基体と、
   を備えることを特徴とする振動子。
2. 第１の気体の下で前記振動体の第１の発振周波数が計測され、第２の気体の下で前記振動体の第２の発振周波数が計測される、
   ことを特徴とする請求項１に記載の振動子。
3. 前記振動体は前記基体に複数個配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動子。
4. 前記振動体は前記基体に複数個配置されそのうちの１つの振動体の前記第１の吸着膜及び前記第２の吸着膜は第１の物質を含み、他の１つの振動体の前記第１の吸着膜及び前記第２の吸着膜は第２の物質を含む、
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動子。
5. 前記複数個配置された前記振動体の各々の前記第１の発振周波数及び前記第２の発振周波数は、予め取得されているデータに基づいて処理が行われ、前記第２の気体に含まれる物質の量またはニオイが求められることを特徴とする請求項４に記載の振動子。
6. 前記振動体は、前記第１の面及び前記第２の面とは異なる第３の面において前記基板に接していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動子。
7. 前記第１の吸着膜は前記第１の面の第１の領域に配置され、
   前記第２の吸着膜は前記第２の面の第２の領域に配置され、
   前記第１の領域の、前記振動体と前記第１の吸着膜との間に形成された第１の電極と、
   前記第２の領域の、前記振動体と前記第２の吸着膜との間に形成された第２の電極と、
   をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動子。
8. 前記第１の面の、前記基板と接しかつ前記第１の領域と重ならない第３の領域に形成された第３の電極と、
   前記第２の面の、前記基板と接しかつ前記第２の領域と重ならない第４の領域に形成された第４の電極と、をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動子。
9. 前記基体の裏面に取り付けられた、発振回路を含む集積回路をさらに備え、
   前記第１の電極及び前記第２の電極は、前記基体を貫通する配線を介して前記集積回路に接続されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動子。
10. 前記振動体が、前記基体に設けられた溝に嵌め込まれていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動子。
11. 前記振動体は、前記基体に設けられた傾斜面に立設されていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動子。
12. 前記振動体は、いずれかの面に窪みを有する逆メサ型の構造であることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の振動子。
13. 前記複数個配置された前記振動体は、第１の方向への並びが前記第１の方向と交差する第２の方向に複数個存在するように前記基体に配置されており、隣り合う前記第２の方向の前記振動体の間では、それぞれの振動体の前記第１の面又は前記第２の面に対する法線方向が異なるように配置されていることを特徴とする請求項３乃至１２のいずれかに記載の振動子。
14. 請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動子を備えた電子機器。