JP4890911B2 - Qcmセンサ素子 - Google Patents
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Description
図1は本発明に係るQCMセンサ素子の一実施形態を示した外観斜視図である。図2は、図1記載の仮想切断線A1−A2で切断した場合の概略断面図である。図3は、本発明に係るQCMセンサ素子の他の実施形態を示した外観斜視図である。図4は、本発明に係るQCMセンサ素子を使用する形態を示した構成概略図である。尚、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。尚、各図では、説明を明りょうにするため構成体の一部を図示せず、また寸法も一部誇張して図示している。特に各構成部材の厚み寸法は誇張して図示している。
11,31・・・水晶基板
12・・・励振用電極
13,33・・・第1の辺
14・・・引出電極
15,35・・・保護膜
16,36・・・特定物質吸着材
Claims (1)
- 水晶基板の表裏主面に励振用電極を形成し、該励振用電極上に測定を所望する物質のみが付着し質量が変化する性質を有する特定物質吸着材が形成されている水晶振動子により構成されるQCMセンサ素子において、
該水晶基板が平板状に形成されており、
該水晶基板の表裏主面の各々の該励振用電極から各該励振用電極が形成された該水晶基板の同一主面上の端部を介し各該励振用電極が形成された主面に対向する主面の縁部まで引出電極が延設され、
該励振用電極表面と、該引出電極の該励振用電極接続部付近の表面と、該励振用電極の周囲にある該水晶基板の表裏主面とに、防水性且つ絶縁性の保護膜が形成されており、
所望する物質のみが付着し質量が変化する性質を有し、該水晶基板の表裏主面に形成されている該励振用電極と同じ外周形状で該保護膜の上に各々該励振用電極と相対に特定物質吸着材が形成されている
ことを特徴とするQCMセンサ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006097254A JP4890911B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | Qcmセンサ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006097254A JP4890911B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | Qcmセンサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007271449A JP2007271449A (ja) | 2007-10-18 |
JP4890911B2 true JP4890911B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=38674401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006097254A Expired - Fee Related JP4890911B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | Qcmセンサ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4890911B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5317650B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2013-10-16 | 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 | プラント構成部材の表面へのフェライト皮膜の形成方法及びフェライト皮膜形成装置 |
JP4737726B2 (ja) | 2009-05-01 | 2011-08-03 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、振動子アレイ、及び電子機器 |
JP5435243B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2014-03-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子及び電子機器 |
JP6502528B2 (ja) * | 2015-09-22 | 2019-04-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 発振水晶のための拡散バリア、堆積速度を測定するための測定アセンブリ及びその方法 |
KR101834088B1 (ko) * | 2016-10-12 | 2018-03-05 | 한국표준과학연구원 | 습도 측정 센서, 고층 기상 관측 시스템과 이를 이용한 고층 습도 측정 방법 |
WO2023145434A1 (ja) * | 2022-01-31 | 2023-08-03 | 太陽誘電株式会社 | 検出装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS577538A (en) * | 1980-06-18 | 1982-01-14 | Agency Of Ind Science & Technol | Piezo-electric humidity sensor |
JPS5720657A (en) * | 1980-07-14 | 1982-02-03 | Toyota Motor Corp | Preparation of element sintered body oxygen sensor |
JP3146069B2 (ja) * | 1992-07-01 | 2001-03-12 | 忠正 芥川 | 濃度センサー |
JPH06123689A (ja) * | 1992-10-09 | 1994-05-06 | Omron Corp | 匂い物質測定用センサ |
JPH1114525A (ja) * | 1997-06-19 | 1999-01-22 | Showa Crystal:Kk | 圧電素子保持構造 |
JP3628227B2 (ja) * | 1999-04-27 | 2005-03-09 | 三菱電機株式会社 | ガス検出装置およびその感応膜材料とその成膜方法 |
JP2004177258A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Kanagawa Prefecture | 検出センサー |
JP2005043123A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Seiko Epson Corp | 液滴重量測定装置および液滴吐出装置 |
JP2005189213A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Alps Electric Co Ltd | 水素センサ |
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2006
- 2006-03-31 JP JP2006097254A patent/JP4890911B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007271449A (ja) | 2007-10-18 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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