JP2005274578A - Qcmセンサデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 水晶基板の試料ガスや試料溶液に晒される面と反対の面に水晶基板を支持する支持基板を設け、前記水晶基板と前記支持基板間にギャップを形成し、前記支持基板に前記ギャップと連設する空気抜き用の孔又は溝を設けて、温度変化による振動周波数変動を防止したものである。
【選択図】 図1
Description
ここで、ATカット水晶振動子の共振周波数は、下記の(2)、(3)式で表される。
また、Sauerberyの式は、主共振周波数と水晶の厚さの関係を展開して、下記の(4)式のようになる。
この式中の全体感度Cfは下記の(6)式で表わされる。
前記水晶基板の試料ガスや試料溶液に晒される面と反対の面に水晶基板を支持する支持基板を設け、前記水晶基板と前記支持基板間にギャップを形成し、前記支持基板に前記ギャップと連設する空気抜き用の孔又は溝を設けたことを特徴としたものである。
前記掘り下げ部をもつ水晶基板面が接着されて該水晶基板を支持し、該掘り下げ部位に空気抜き用の孔又は溝を設けた支持基板とを備えたことを特徴としたものである。
32…石英基板(支持基板)
32A、32A1、32A2…孔
32B…溝
32C…スペーサ
33A…作用電極
33B…裏面電極
34…対極電極
35…参照電極
36…リード部
100…収納装置本体
101…キャップ
Claims (3)
- 水晶振動子の作用電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの水晶振動子の電気的特性の変化から前記作用電極表面での試料成分の吸脱着を検知・定量するためのQCMセンサデバイスにおいて、
前記水晶基板の試料ガスや試料溶液に晒される面と反対の面に水晶基板を支持する支持基板を設け、前記水晶基板と前記支持基板間にギャップを形成し、前記支持基板に前記ギャップと連設する空気抜き用の孔又は溝を設けたことを特徴とするQCMセンサデバイス。 - 前記水晶基板の表裏面の少なくとも一方の面を掘り下げ、前記水晶基板の掘り下げ部の表裏面に電極を対向させて形成した水晶振動子と、
前記掘り下げ部をもつ水晶基板面が接着されて該水晶基板を支持し、該掘り下げ部位に空気抜き用の孔又は溝を設けた支持基板とを備えたことを特徴とした請求項1記載のQCMセンサデバイス。 - それぞれ水晶振動子を有する支持基板2個を、スペーサを介して接着し、この接着部位に形成された中空部を空気抜き用の孔又は溝としたことを特徴とした請求項2記載のQCMセンサデバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005107094A JP2005274578A (ja) | 2005-04-04 | 2005-04-04 | Qcmセンサデバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005107094A JP2005274578A (ja) | 2005-04-04 | 2005-04-04 | Qcmセンサデバイス |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05674599A Division JP3717696B2 (ja) | 1999-03-04 | 1999-03-04 | Qcmセンサデバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005274578A true JP2005274578A (ja) | 2005-10-06 |
Family
ID=35174376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005107094A Pending JP2005274578A (ja) | 2005-04-04 | 2005-04-04 | Qcmセンサデバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005274578A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007121250A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Kyocera Kinseki Corp | 微少質量測定用センサ |
JP2007163369A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Sunrise Kogyo Kk | バイオセンサおよび測定・分析システム、並びに、その検査方法 |
-
2005
- 2005-04-04 JP JP2005107094A patent/JP2005274578A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007163369A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Sunrise Kogyo Kk | バイオセンサおよび測定・分析システム、並びに、その検査方法 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070710 |
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20071016 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |