JP2005201912A - Qcmセンサデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 QCMセンサデバイスは、水晶基板31に作用電極33Aとその裏面電極33Bの他に、参照電極35及び対極電極34を一体構造で設ける。
また、試料に晒される面を囲んで作用電極部分のみに試料溜めを設ける。
【選択図】 図1
Description
ここで、ATカット水晶振動子の共振周波数は、下記の(2)、(3)式で表される。
また、Sauerberyの式は、主共振周波数と水晶の厚さの関係を展開して、下記の(4)式のようになる。
この式中の全体感度Cfは下記の(6)式で表わされる。
QCMセンサデバイスを提供することにある。
水晶基板の表裏面に電極を対向させて形成した水晶振動子と、水晶基板の電極のうち試料ガスや試料溶液に晒される作用電極面の周辺を囲むよう配置された試料溜め部材を有し、この試料溜め部材は、電気的絶縁性及び耐薬品性をもつ部材よりなって前記作用電極部分に試料溜めを形成することを特徴としたものである。
水晶基板の表裏面に対向させて電極を形成し、前記水晶基板は試料ガスや試料溶液に晒される作用電極の形成部分に試料溜めを形成できる深さ以上に掘り下げたことを特徴としたものである。
図2は、本発明の他の実施例を示すQCMセンサデバイス構造と、これを使った測定システムの側断面図である。
32…石英基板(支持基板)
33A、52A…作用電極
33B、52B…裏面電極
39A、39B、53A、53B…作用電極と裏面電極に隣接された一対の電極
34…対極電極
35…参照電極
56…基台
61…オーリング
Claims (2)
- 水晶振動子の作用電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの水晶振動子の電気的特性の変化から前記作用電極表面での試料成分の吸脱着を検知・定量するためのQCMセンサデバイスにおいて、
水晶基板の表裏面に電極を対向させて形成した水晶振動子と、水晶基板の電極のうち試料ガスや試料溶液に晒される作用電極面の周辺を囲むよう配置された試料溜め部材を有し、この試料溜め部材は、電気的絶縁性及び耐薬品性をもつ部材よりなって前記作用電極部分に試料溜めを形成することを特徴とするQCMセンサデバイス。 - 水晶振動子の作用電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの水晶振動子の電気的特性の変化から前記作用電極表面での試料成分の吸脱着を検知・定量するためのQCMセンサデバイスにおいて、
水晶基板の表裏面に対向させて電極を形成し、前記水晶基板は試料ガスや試料溶液に晒される作用電極の形成部分に試料溜めを形成できる深さ以上に掘り下げた構造を特徴とするQCMセンサデバイス。
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JP2005107095A JP2005201912A (ja) | 2005-04-04 | 2005-04-04 | Qcmセンサデバイス |
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JP2005107095A JP2005201912A (ja) | 2005-04-04 | 2005-04-04 | Qcmセンサデバイス |
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