JP5912216B2 - センサ - Google Patents
センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5912216B2 JP5912216B2 JP2009287583A JP2009287583A JP5912216B2 JP 5912216 B2 JP5912216 B2 JP 5912216B2 JP 2009287583 A JP2009287583 A JP 2009287583A JP 2009287583 A JP2009287583 A JP 2009287583A JP 5912216 B2 JP5912216 B2 JP 5912216B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric substrate
- conductive film
- sensor
- sensor according
- excitation electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 21
- 239000000446 fuel Substances 0.000 claims description 14
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 11
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 8
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 7
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 51
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 21
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 13
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 3
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 3
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000002828 fuel tank Substances 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229920005613 synthetic organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000858 Cyclodextrin Polymers 0.000 description 1
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 108010038988 Peptide Hormones Proteins 0.000 description 1
- 102000015731 Peptide Hormones Human genes 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000700605 Viruses Species 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- -1 cyclodextrin Chemical class 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012789 electroconductive film Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000000813 peptide hormone Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- HFHDHCJBZVLPGP-UHFFFAOYSA-N schardinger α-dextrin Chemical compound O1C(C(C2O)O)C(CO)OC2OC(C(C2O)O)C(CO)OC2OC(C(C2O)O)C(CO)OC2OC(C(O)C2O)C(CO)OC2OC(C(C2O)O)C(CO)OC2OC2C(O)C(O)C1OC2CO HFHDHCJBZVLPGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
好ましい実施形態においては、上記圧電基板が表面側に凸な厚肉部を有する。
好ましい実施形態においては、上記厚肉部がレンズ形状を有する。
好ましい実施形態においては、上記励振電極が、上記厚肉部の少なくとも一部を覆うように設けられている。
好ましい実施形態においては、上記導電性膜が、上記励振電極と対向する位置に設けられている。
好ましい実施形態においては、上記励振電極の間隔が上記圧電基板の厚みの1〜3倍である。
好ましい実施形態においては、試料液の濃度を検出する。
好ましい実施形態においては、上記試料液がアルコール水溶液である。
好ましい実施形態においては、上記導電性膜が、圧電基板側から、チタン層、酸化チタン層および金層をこの順で備える。
好ましい実施形態においては、上記導電性膜を被覆する保護膜を備える。
好ましい実施形態においては、メタノール水溶液の濃度を0〜30wt%の範囲で検出する。
本発明の別の局面においては、燃料電池システムが提供される。この燃料電池システムは上記センサを備える。
(圧電基板)
厚み100μmのATカット水晶板を用いた。
圧電基板の表面に、スパッタ法で、厚み10nmのクロム層と厚み90nmの金層を順次積層した。その後、図3(a)に示すようなパターンの励振電極が得られるように、アライメントを行い、湿式エッチングによりパターニングした。このようにして、電極の間隔200μm、直径1mm、電極面積45mm2、厚み0.1μmの励振電極を形成した。
圧電基板の裏面に、直径1mmの円形の導電性膜を、励振電極と対向するように(励振電極の外周と導電性膜の外周が一致するように)形成した。成膜は、スパッタ法にて、厚み10nmのチタン層、厚み10nmの酸化チタン層および厚み80nmの金層を順次積層することにより行った。
11 圧電基板
12 励振電極
13 導電性膜
100 燃料電池システム
110 燃料タンク
120 スタック
130 混合タンク
140 センサ部
150 供給流路
Claims (10)
- 圧電基板と、該圧電基板の表面に設けられた少なくとも一対の励振電極と、該圧電基板の裏面に設けられた導電性膜と、該導電性膜を被覆する保護膜とを備える圧電振動子を用いたセンサであって、
該圧電基板の表面が系外に露出され、該保護膜に試料液を晒して該試料液の濃度を検出するセンサ。 - 前記圧電基板が表面側に凸な厚肉部を有する、請求項1に記載のセンサ。
- 前記厚肉部がレンズ形状を有する、請求項2に記載のセンサ。
- 前記励振電極が、前記厚肉部の少なくとも一部を覆うように設けられている、請求項2または3に記載のセンサ。
- 前記導電性膜が、前記励振電極と対向する位置に設けられている、請求項1から4のいずれかに記載のセンサ。
- 前記励振電極の間隔が前記圧電基板の厚みの1〜3倍である、請求項1から5のいずれかに記載のセンサ。
- 前記試料液がアルコール水溶液である、請求項1から6のいずれかに記載のセンサ。
- 前記導電性膜が、圧電基板側から、チタン層、酸化チタン層および金層をこの順で備える、請求項1から7のいずれかに記載のセンサ。
- メタノール水溶液の濃度を0〜30wt%の範囲で検出する、請求項1から8のいずれかに記載のセンサ。
- 請求項1から9のいずれかに記載のセンサを備える、燃料電池システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009287583A JP5912216B2 (ja) | 2009-12-18 | 2009-12-18 | センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009287583A JP5912216B2 (ja) | 2009-12-18 | 2009-12-18 | センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011128051A JP2011128051A (ja) | 2011-06-30 |
JP5912216B2 true JP5912216B2 (ja) | 2016-04-27 |
Family
ID=44290794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009287583A Expired - Fee Related JP5912216B2 (ja) | 2009-12-18 | 2009-12-18 | センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5912216B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5966564B2 (ja) * | 2011-06-08 | 2016-08-10 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | スクライビングホイール及びスクライブ方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04289438A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-14 | Meidensha Corp | 微量測定用センサー |
JP4807077B2 (ja) * | 2003-06-24 | 2011-11-02 | 日本電気株式会社 | アルコール濃度測定方法、アルコール濃度測定装置、および当該装置を含む燃料電池システム |
JP5065709B2 (ja) * | 2007-03-02 | 2012-11-07 | 国立大学法人東北大学 | 圧電振動子 |
-
2009
- 2009-12-18 JP JP2009287583A patent/JP5912216B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011128051A (ja) | 2011-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1894583B (zh) | 利用具有功能化表面的谐振器的生物传感器 | |
US6544478B1 (en) | QCM sensor | |
JP4164580B2 (ja) | ガス検知方法およびガスセンサ | |
CN106153718B (zh) | 一种具有双工作模式的压电晶体气体传感器 | |
JP3717696B2 (ja) | Qcmセンサデバイス | |
JP5242347B2 (ja) | 検出センサ | |
EP1682880A1 (en) | Bulk acoustic wave sensor | |
US8516880B2 (en) | Gas sensing system with quartz crystal substrate | |
JP2009236607A (ja) | Qcmデバイス | |
JP5065709B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP2005098986A (ja) | 質量測定装置および方法 | |
KR20160001369A (ko) | 가스 또는 voc 검출용 복합 센서 어레이 및 이의 이용 | |
Ferrari et al. | Multisensor array of mass microbalances for chemical detection based on resonant piezo-layers of screen-printed PZT | |
JP3933340B2 (ja) | マルチチャンネルqcmセンサデバイス | |
JP5912216B2 (ja) | センサ | |
JP2006220508A (ja) | ガスセンサ | |
JP4803802B2 (ja) | 質量測定装置 | |
US9140668B2 (en) | Device and method for detecting at least one substance | |
US20070251321A1 (en) | Sensor, Sensor Arrangement and Measuring Method | |
JP4535502B2 (ja) | 物質検出素子 | |
JP2009031233A (ja) | マルチチャンネルqcmセンサ | |
US20180292348A1 (en) | Membrane-based water quality sensor | |
JP2002372487A (ja) | ガスセンサ | |
JP2017220854A (ja) | 圧電振動子及び質量センサ | |
WO2010021100A1 (ja) | 弾性表面波センサー装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131008 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131209 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140513 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140811 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140819 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20141010 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5912216 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |