JP2006220508A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】
測定ガスに選択性のあるガスセンサを小型でかつ、安価に製造できるようにする。
【解決手段】
水晶振動子としての水晶基板2上に、水晶基板2に表面弾性波を発生させるための一対の発振用櫛形電極4と、発振用櫛形電極4と一定の距離を隔てた位置に設けられ、発振用櫛形電極4で発生させられた表面弾性波を検出するための検出用櫛形電極6とを備え、櫛形電極4,6を含む水晶基板2上にはパラジウム膜8が形成されている。測定器12は、表面弾性波の逆圧電効果により検出用櫛形電極6に誘起される電流を測定しており、水素がパラジウム膜8に吸着されて水晶基板2表面における水素量が変化すると、表面弾性波の強度が変化し、測定器12で測定される電流値が変化する。
【選択図】 図1
測定ガスに選択性のあるガスセンサを小型でかつ、安価に製造できるようにする。
【解決手段】
水晶振動子としての水晶基板2上に、水晶基板2に表面弾性波を発生させるための一対の発振用櫛形電極4と、発振用櫛形電極4と一定の距離を隔てた位置に設けられ、発振用櫛形電極4で発生させられた表面弾性波を検出するための検出用櫛形電極6とを備え、櫛形電極4,6を含む水晶基板2上にはパラジウム膜8が形成されている。測定器12は、表面弾性波の逆圧電効果により検出用櫛形電極6に誘起される電流を測定しており、水素がパラジウム膜8に吸着されて水晶基板2表面における水素量が変化すると、表面弾性波の強度が変化し、測定器12で測定される電流値が変化する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、測定雰囲気中に存在する水素や一酸化炭素など特定のガスを選択的に検出するガスセンサに関するものである。
水素を検出するガスセンサの市販品は高価(システム一式で30〜50万円)であるだけでなく、次世代の燃料電池システムや触媒の研究開発及び評価に不可欠な高濃度水素計測に対しても、応答速度が遅い、選択性がない、混在する他の種類のガスによりセンサが劣化したり破損したりする等の問題があった。
図3に、従来の水素ガスセンサの構成の一例の断面図を示す。この水素ガスセンサは、両表面に電極18,18が取り付けられた水晶振動子16と、水晶振動子16の一方の表面上に形成されたパラジウムと銀の合金とからなる水素ガス選択層20とを備えている。この水素ガスセンサでは、置かれた雰囲気中の水素が水素ガス選択層20に吸着されて水素ガス選択層20の重量が変化することで生じる水晶振動子16の共振周波数の変化を水晶振動子16上に取り付けられた電極18を介して検知し、測定雰囲気中の水素濃度を測定するものである(例えば、特許文献1参照。)。
一酸化炭素に関しては、一酸化炭素を高感度で選択的に検出できる一酸化炭素センサはなかった。他のガスとともに一酸化炭素も検出できるガスセンサは存在するが、価格も高価であり、容易に入手できない。
特開2003−215012号公報
そこで本発明は、測定ガスに選択性のあるガスセンサを小型でかつ、安価に製造できるようにすることを目的とする。
本発明におけるガスセンサは、水晶振動子と、上記水晶振動子上に形成され、上記水晶振動子の表面に高周波電圧を印加して上記水晶振動子の表面に表面弾性波を発生させるための一対の発振用櫛形電極と、上記水晶振動子上の上記発振用櫛形電極とは異なる位置に設けられ、上記表面弾性波を検出するための一対の検出用櫛形電極と、上記発振用櫛形電極及び上記検出用櫛形電極を含む上記水晶振動子上に形成された、特定ガスを選択的に吸着するガス選択層とを備え、上記ガス選択層に吸着させたガスを上記検出用櫛形電極で検出される電気的変化量に基づいて検出することを特徴とするものである。
水晶振動子上に発振用櫛形電極及び検出用櫛形電極を形成し、その上に特定ガスを選択的に吸着させるガス選択層を形成したので、特定ガスの濃度の変化に由来する表面弾性波の変化を検出用櫛形電極で検出することができる。ガス選択層の選択により測定ガスに選択性をもたせることができる。
検出用櫛形電極と発振用櫛形電極は形状及び大きさが同じであるのが好ましい。
両櫛型電極は、水晶振動子表面にガス吸着がない状態で発生する表面弾性波の波長のほぼ1/2の周期の電極配列をもっていることが好ましい。
両櫛型電極は、水晶振動子表面にガス吸着がない状態で発生する表面弾性波の波長のほぼ1/2の周期の電極配列をもっていることが好ましい。
ガス選択層として金属パラジウムを主体とする水素選択吸着膜を用いると、このガスセンサを水素を選択的に検出する水素センサとすることができる。パラジウム金属を主体とする水素選択吸着膜は、純パラジウムの他、Pd−Agなどのパラジウム合金である。この膜は、蒸着やスパッタリング法により形成することができる。
また、ガス選択層として酸化銅(CuO)と酸化亜鉛(ZnO)の混合物からなる多孔質膜を用いると、このガスセンサを一酸化炭素を選択的に検出する一酸化炭素センサとすることができる。その場合、試料ガス入口側に活性炭を配置するのが好ましい。
本発明のガスセンサにおいては、発振用櫛形電極及び上記検出用櫛形電極を含む水晶振動子上に形成された、特定ガスを選択的に吸着するガス選択層を備えてガス選択層に吸着させたガスを検出用櫛形電極で検出される電気的変化量に基づいて検出するようにしたので、測定ガスに選択性をもたせることができる。
検出用櫛形電極と発振用櫛形電極とで形状及び大きさを同じにすれば、発振用櫛形電極で発生した表面弾性波を高感度に検出することができる。
両櫛型電極を水晶振動子表面にガス吸着がない状態で発生する表面弾性波の波長のほぼ1/2の周期の電極配列をもつように形成すれば、発振用櫛形電極のそれぞれの電極から発生する表面弾性波の位相が等しくなるので、表面弾性波の伝達がスムーズになり、検出用櫛形電極での電圧誘起も強くなって、高感度検出が可能になる。
両櫛型電極を水晶振動子表面にガス吸着がない状態で発生する表面弾性波の波長のほぼ1/2の周期の電極配列をもつように形成すれば、発振用櫛形電極のそれぞれの電極から発生する表面弾性波の位相が等しくなるので、表面弾性波の伝達がスムーズになり、検出用櫛形電極での電圧誘起も強くなって、高感度検出が可能になる。
一酸化炭素を選択的に検出するガスセンサにおいて、試料ガス入口側に活性炭を配置すれば、NOX,COXなどCO以外のガスを除去することができるので、一酸化炭素に対する選択性がより高まる。
以下に、本発明におけるガスセンサの好適な態様を図面を参照して説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
[実施例1]
本発明のガスセンサの一例として、水素を選択的に検知することができる水素ガスセンサを説明する。図1は水素ガスセンサの一実施例の構成を示す図であり、(A)は上面図、(B)は(A)の矢印の方向から見た側面図である。
この実施例の水素ガスセンサは、水晶振動子としての水晶基板2上に、水晶基板2に表面弾性波を発生させるための一対の発振用櫛形電極4と、発振用櫛形電極4と一定の距離を隔てた位置に設けられ、発振用櫛形電極4で発生した表面弾性波を検出するための検出用櫛形電極6とを備え、さらに発振用櫛形電極4及び検出用櫛形電極6を含む水晶基板2上にはパラジウム膜8が形成されている。
本発明のガスセンサの一例として、水素を選択的に検知することができる水素ガスセンサを説明する。図1は水素ガスセンサの一実施例の構成を示す図であり、(A)は上面図、(B)は(A)の矢印の方向から見た側面図である。
この実施例の水素ガスセンサは、水晶振動子としての水晶基板2上に、水晶基板2に表面弾性波を発生させるための一対の発振用櫛形電極4と、発振用櫛形電極4と一定の距離を隔てた位置に設けられ、発振用櫛形電極4で発生した表面弾性波を検出するための検出用櫛形電極6とを備え、さらに発振用櫛形電極4及び検出用櫛形電極6を含む水晶基板2上にはパラジウム膜8が形成されている。
発振用櫛形電極4は対向して配置された第1電極4aと第2電極4bとを備えている。第1電極4aは第2電極4b側に線状で互いに並行に引き出された複数の第1電極子5aを備えており、第2電極4bは第1電極4a側に線状で互いに並行に引き出された複数の第2電極子5bを備えている。第1電極子5aと第2電極子5bは交互に並行で等間隔に配置されている。
検出用櫛形電極6は対向して配置された第1電極6aと第2電極6bとを備えている。第1電極6aは第2電極6b側に線状で互いに並行に引き出された複数の第1電極子7aを備えており、第2電極6bは第1電極6a側に線状で互いに並行に引き出された複数の第2電極子7bを備えている。第1電極子7aと第2電極子7bは交互に並行で等間隔に配置されており、隣り合う第1電極子7aと第2電極子7bとの間の間隔は、隣り合う第1電極子5aと第2電極子5bとの間の間隔と等しくなっている。
発振用櫛形電極4の第1電極4a及び第2電極4bはパラジウム膜8より上側に突出して外部に露出しており、高周波電源10からの配線と接続されて第1電極子5aと第2電極子5bに正・負の電圧を交互に印加して、水晶基板2の表面に表面弾性波を発生させるようになっている。
検出用櫛形電極6の第1電極6a及び第2電極6bはパラジウム膜8の上側に突出して外部に露出しており、測定器12からの配線と接続されて発振用櫛形電極4によって発生した表面弾性波によって誘起される電流を測定する。
発振用櫛形電極4及び検出用櫛形電極6は、例えば導電膜をフォトリソグラフィとエッチングによりパターン化して形成することができる。
発振用櫛形電極4及び検出用櫛形電極6は、例えば導電膜をフォトリソグラフィとエッチングによりパターン化して形成することができる。
ここで、水晶基板2の表面弾性波の周波数をf、波長をλ、伝播速度をVとすれば、これらは関係式(1)で表わすことができる。
f=V/λ 式(1)
f=V/λ 式(1)
水晶振動子では表面弾性波の伝播速度は3100m/sであるので、例えば電源10から印加される高周波電圧の周波数fが200MHzである場合には、波長λは15.5μmとなる。波長λが発振用櫛形電極4の隣接する電極子5aと5b間の間隔の2倍になるように発振用櫛形電極4が形成されている場合には、各電極子5a及び5bで発生した表面弾性波が同じ位相となり、スムーズに伝播が行なわれるようになる。
この実施例では周波数fを200MHzとし、発振用櫛形電極4の隣接する電極子5aと5b間の間隔を波長λの1/2である約7.75μmとする。
この実施例では周波数fを200MHzとし、発振用櫛形電極4の隣接する電極子5aと5b間の間隔を波長λの1/2である約7.75μmとする。
また、検出用櫛形電極6は発振用櫛形電極4と同じ形状、同じ大きさとし、検出用櫛形電極6と発振用櫛形電極4との間の距離が、表面弾性波の波長λの整数倍であることが好ましい。その場合には、検出用櫛形電極6の各電極子7a及び7bの位置に到達する表面弾性波の位相が発振用櫛形電極4の各電極子5a及び5bで発生した表面弾性波の位相と等しくなる。
パラジウム膜8は水素だけを選択的に吸着する特性をもっており、水晶基板2上に配置することで、水素を選択的に検知することができるようになる。パラジウム膜8の厚みは例えば0.01〜0.1μm程度が適当である。
測定器12は、表面弾性波の逆圧電効果により検出用櫛形電極6に誘起される電流を測定している。発振用櫛形電極4に一定の高周波電圧を印加すると、特定周波数の表面弾性波が発生し、測定器12に一定の電流値が計測される。水素がパラジウム膜8に吸着されて水晶基板2表面における水素量が変化すると、表面弾性波の強度が変化し、測定器12で測定される電流値が変化する。測定器12で計測される電流値と水晶基板2表面における水素量との関係は予め関連付けておくことにより、測定器12での電流値に基づいて水素を定量することができる。
この実施例の水素ガスセンサでは、濃度範囲が約0.05〜4%程度の条件において、水素濃度を定量的に正確に測定することができる。また、この水素ガスセンサは、超小型に形成することが可能であり、かつ低コストで生産することができる。
[実施例2]
次に、本発明におけるガスセンサの他の実施例として一酸化炭素(CO)センサを説明する。図2は一酸化炭素ガスセンサの構成の一例を示す図であり、(A)は上面図、(B)は(A)の矢印の方向から見た側面図である。尚、この実施例において実施例1の水素ガスセンサと共通の構成要素には同一の符号を付してある。
次に、本発明におけるガスセンサの他の実施例として一酸化炭素(CO)センサを説明する。図2は一酸化炭素ガスセンサの構成の一例を示す図であり、(A)は上面図、(B)は(A)の矢印の方向から見た側面図である。尚、この実施例において実施例1の水素ガスセンサと共通の構成要素には同一の符号を付してある。
この実施例の一酸化炭素ガスセンサは、水晶基板2上に、ガス選択層として酸化銅(CuO)と酸化亜鉛(ZnO)からなる多孔質膜14が形成されている。多孔質膜14は、一酸化炭素を選択的に吸着させる特性をもっており、ガス選択層として水晶基板2上に配置することにより、一酸化炭素を選択的に検知することができる。多孔質膜14以外の構成、すなわち水晶基板2、発振用櫛形電極4、検出用櫛形電極6、高周波電源10及び測定器12は実施例1の水素ガスセンサのものと同一とする。
多孔質膜14は発振用櫛形電極4の第1電極4aと第2電極4b及び検出用櫛形電極6の第1電極6aと第2電極6bに対応する位置に開口部が形成されており、発振用櫛形電極4の第1電極4aと第2電極4b及び検出用櫛形電極6の第1電極6aと第2電極6bがそれぞれ櫛形電極4,6の上側に突出して露出している。
多孔質膜14は、例えば厚さが0.1〜1μm程度の薄膜である。
この膜14は、銅と亜鉛を酸化性雰囲気中で共蒸着したり、酸化銅と酸化亜鉛の混合粉末の焼結体をターゲットとしてスパッタリングすることにより形成することができる。
この膜14は、銅と亜鉛を酸化性雰囲気中で共蒸着したり、酸化銅と酸化亜鉛の混合粉末の焼結体をターゲットとしてスパッタリングすることにより形成することができる。
この実施例の一酸化炭素ガスセンサを用いて測定を行なう際には、例えば、一酸化炭素ガスセンサの前段に活性炭を設けるなどして、NOX,COXなどCO以外のガスを除去した後、COを含む測定気体を一酸化炭素ガスセンサに導入するのが好ましい。
COを含む測定気体を一酸化炭素ガスセンサに導入すると、COのみが多孔質膜14に選択的に吸着される。多孔質膜14のCO吸着量が変化すると水晶基板2表面の表面弾性波の強度が変化し、検出用櫛形電極6に誘起される電流値が変化する。
多孔質膜14に吸着されるCO量と測定器12で計測される電流値の関係を予め関連付けておくことで、測定器12で計測された電流値に基づいて、測定気体中に含まれる一酸化炭素を定量することができる。
多孔質膜14に吸着されるCO量と測定器12で計測される電流値の関係を予め関連付けておくことで、測定器12で計測された電流値に基づいて、測定気体中に含まれる一酸化炭素を定量することができる。
この実施例で示したように、水晶基板2上に多孔質膜14を成膜して形成した一酸化炭素ガスセンサは、小型で且つ安価に作成することが可能であるので、容易に入手することができる。また、COは無色・無臭であり、極めて毒性が高いので、COを選択的に検出できるこの一酸化炭素ガスセンサは、産業用・民生用として幅広く利用することができる。
本明細書中においては、水晶振動子として板状の水晶基板2を用いているが球状の水晶振動子を用いてもよい。球状の水晶振動子を用いた場合には、水晶振動子の表面弾性波の強度が増幅されるので、検出感度を高めることができる。
2 水晶基板
4 発振用櫛形電極
4a 発振用櫛形電極の第1電極
4b 発振用櫛形電極の第2電極
5a 発振用櫛形電極の第1電極子
5b 発振用櫛形電極の第1電極子
6 検出用櫛形電極
6a 検出用櫛形電極の第1電極
6b 検出用櫛形電極の第2電極
7a 検出用櫛形電極の第1電極子
7b 検出用櫛形電極の第2電極子
8 パラジウム膜
10 高周波電源
12 測定器
14 CuO−ZnO多孔質膜
4 発振用櫛形電極
4a 発振用櫛形電極の第1電極
4b 発振用櫛形電極の第2電極
5a 発振用櫛形電極の第1電極子
5b 発振用櫛形電極の第1電極子
6 検出用櫛形電極
6a 検出用櫛形電極の第1電極
6b 検出用櫛形電極の第2電極
7a 検出用櫛形電極の第1電極子
7b 検出用櫛形電極の第2電極子
8 パラジウム膜
10 高周波電源
12 測定器
14 CuO−ZnO多孔質膜
Claims (6)
- 水晶振動子と、前記水晶振動子上に形成され、前記水晶振動子の表面に高周波電圧を印加して前記水晶振動子の表面に表面弾性波を発生させるための一対の発振用櫛形電極と、前記水晶振動子上の前記発振用櫛形電極とは異なる位置に設けられ、前記表面弾性波を検出するための一対の検出用櫛形電極と、前記発振用櫛形電極及び前記検出用櫛形電極を含む前記水晶振動子上に形成された、特定ガスを選択的に吸着するガス選択層とを備え、
前記ガス選択層に吸着させたガスを前記検出用櫛形電極で検出される電気的変化量に基づいて検出することを特徴とするガスセンサ。 - 前記検出用櫛形電極と発振用櫛形電極は形状及び大きさが同じである請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記両櫛型電極は、前記水晶振動子表面にガス吸着がない状態で発生する表面弾性波の波長のほぼ1/2の周期の電極配列をもっている請求項1又は2に記載のガスセンサ。
- 前記ガス選択層は金属パラジウムを主体とする水素選択吸着膜であり、このガスセンサを水素センサとする請求項1から3のいずれかに記載のガスセンサ。
- 前記ガス選択層は酸化銅と酸化亜鉛の混合物からなる多孔質膜であり、このガスセンサを一酸化炭素センサとする請求項1から3のいずれかに記載のガスセンサ。
- 試料ガス入口側に活性炭を配置した請求項5に記載のガスセンサ。
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JP2005033476A JP2006220508A (ja) | 2005-02-09 | 2005-02-09 | ガスセンサ |
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---|---|---|---|---|
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2005
- 2005-02-09 JP JP2005033476A patent/JP2006220508A/ja active Pending
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