JPWO2010021100A1 - 弾性表面波センサー装置 - Google Patents

Abstract

特定の検出対象を高精度に検出することができ、経済的に優れた弾性表面波センサー装置を提供する。弾性表面波センサー装置１００は、圧電基板１１０と、圧電基板１１０上に形成されたくし歯状電極１３０とを有し、出力信号の変化によって特定の検出対象を検出する弾性表面波センサー装置である。くし歯状電極１３０の少なくとも一部は、導電性を有し、かつ、前記特定の検出対象に感応する感応性材料により形成されている。

Description

本発明は、弾性表面波センサー装置に関し、詳しくは、圧電基板と、圧電基板に形成されたくし歯状電極を有し、出力信号の変化によって特定の検出対象を検出する弾性表面波センサー装置に関する。

従来、弾性表面波を用いた様々なセンサー装置が提案されている。例えば下記の特許文献１には、図１１及び図１２に示す構造を備えた弾性表面波センサー装置２００が開示されている。

図１１及び図１２に示すように、弾性表面波センサー装置２００は、圧電基板２１０上に形成されたくし歯状電極２２０及び反射器２３０と、くし歯状電極２２０及び反射器２３０の上に配置されており、特定物質と反応する自己組織化単分子膜である反応膜２４０とを有する。この弾性表面センサー装置２００では、特定物質に反応膜２４０が反応することに起因する出力信号の周波数変化に基づいて特定物質の検出が行われる。

特開２００５−３３１３２６号公報（日本無線）

図１１、図１２に示す弾性表面波センサー装置２００では、くし歯状電極２２０と反射器２３０の上に形成された反応膜２４０に検出対象物質が接触すると、特定物質の状態に応じて反応膜２４０に検出対象物質が吸着する。検出対象物質を吸着すれば反応膜２４０の質量が増加する。この変化に伴って反応膜２４０の下に位置するくし歯状電極２２０と反射器２３０への付加質量が増加し、伝搬する弾性波の伝搬速度が低下する。弾性波の伝搬速度変化に基づく出力信号の周波数の変化として出力することが可能になる。この出力信号の周波数の変化に基づいて、検出対象の特定物質の有無、あるいは、濃度等の検出が可能である。

しかしながら、弾性表面波センサー装置２００では、くし歯状電極２２０上に反応膜２４０が形成されているため、製造工程が複雑で、経済的でなく、ばらつきも大きくなる。また、くし歯状電極を介して反応膜の影響が圧電基板表面に伝達するため、センサー感度が十分得られない課題があった。

そこで、本発明は、このような問題点を解決し、特定の検出対象を高精度に検出でき、経済的に優れた弾性表面波センサー装置を提供することを目的とする。

本発明のある広域な特定の局面では、弾性表面波センサー装置は、圧電基板と、圧電基板上に形成されたくし歯状電極とを有し、出力信号の変化によって特定の検出対象を検出する弾性表面波センサー装置であって、くし歯状電極の少なくとも一部は、導電性を有し、かつ、特定の検出対象に感応する感応性材料により形成されている。この構成によれば、感応膜の物性変化が直接圧電基板表面に伝達されるため、センサー感度の向上が達成される。

本発明のある特定の局面では、圧電基板上に形成された反射器をさらに備えている。

本発明の他の広域な特定の局面では、弾性表面波センサー装置は、圧電基板と、圧電基板上に形成されたくし歯状電極と、圧電基板上に形成された反射器とを有し、出力信号の変化によって特定の検出対象を検出する弾性表面波センサー装置であって、反射器の少なくとも一部は、特定の検出対象に感応する感応性材料により形成されている。この構成によれば、感応性材料の導電性は必須ではなく、感応性材料の選択幅が広がり、より適切な材料を選択することができ、より高精度なセンサーを得ることができる。

本発明の他の特定の局面では、反射器を形成する感応性材料が導電性を有する。この構成によれば、反射係数を大きくとることが可能となり、反射器本数が少なくでき、素子サイズを小さくできる。

本発明の別の特定の局面では、くし歯状電極または反射器が圧電基板と接している。

本発明のさらに他の特定の局面では、くし歯状電極及び反射器のうちの少なくとも一方の全体が、感応性材料により形成されている。この構成によれば、センサー感度をより向上させることができる。

本発明のさらに別の特定の局面では、くし歯状電極と反射器とのそれぞれの全体が、感応性材料により形成されている。この構成によれば、センサー感度をより向上させることができ、また製造プロセスの簡素化、コストの低減に効果がある。

本発明のまた他の特定の局面では、反射器の全体が、感応性材料により形成されている。この構成によれば、センサー感度をより向上させることができる。

本発明のまた別の特定の局面では、くし歯状電極及び反射器は、互いに異なる種類の感応性材料により形成されている部分を有する。この場合、例えば、検出可能温度範囲の異なる複数種類の感応性材料を用いることにより、弾性表面波センサー装置の検出可能温度範囲を拡大することができる。また、例えば、検出対象が異なる複数種類の感応性材料を用いることにより、ひとつの弾性表面波センサー装置により複数種類の検出対象の検出が可能となる。従って、弾性表面波センサー装置の多機能化、小型化を図ることができる。

本発明のまたさらに他の特定の局面では、弾性表面波センサー装置は、くし歯状電極を複数備え、複数のくし歯状電極には、互いに異なる種類の前記感応性材料により形成されている複数種類のくし歯状電極が含まれている。

本発明のまたさらに別の特定の局面では、弾性表面波センサー装置は、反射器を複数備え、複数の反射器には、互いに異なる種類の前記感応性材料により形成されている複数種類の反射器が含まれている。

本発明のさらにまた他の特定の局面では、互いに異なる種類の感応性材料は、感応する検出対象が相互に異なる。

本発明において、検出対象は、特に限定されないが、検出対象の好ましい例としては、水素、窒素酸化物、一酸化炭素等の少なくとも一種を含む流体が挙げられ、中でも水素を含む流体がさらに好ましい。検出対象が水素を含む流体である場合、感応性材料の具体例としては、水素吸蔵金属あるいは水素吸蔵合金が挙げられる。水素吸蔵金属の具体例としては、例えば、Ｔｉ，Ｐｄなどが挙げられる。また、水素吸蔵合金の具体例としては、例えば、Ｎｉ−Ｐｄ、ＴｉＦｅ及びＭｇ−Ｎｉ等が挙げられる。本発明に係る弾性波表面波センサー装置では、検出対象に適した感応性材料を選択することで、特定の検出対象を高精度に検出でき、経済的に優れた弾性表面波センサー装置を提供することができる。

なお、感応性材料とは、特定の物質に感応する材料である。感応性材料は、例えば、特定の物質に感応して物性が変化する材料であってもよいし、触媒効果により特定の物質に作用する材料であってもよい。より具体的には、感応性材料は、例えば、特定の物質を吸蔵、吸着、放出し、物性が変化する材料、特定の物質と相互作用し、物性が変化する材料などであってもよい。

なお、感応性材料の物性の変化は、例えば、抵抗値変化や質量変化などであり、くし歯状電極において発生する弾性表面波の伝搬損失や伝搬速度などの弾性波の特性に影響を及ぼすものである限りにおいて特に限定されない。

本発明では、くし歯状電極の少なくとも一部が、導電性を有し、かつ、特定の検出対象に感応する感応性材料により形成されているか、反射器の少なくとも一部が特定の検出対象に感応する感応性材料により形成されているため、くし歯状電極や反射器の上に反応膜が形成された弾性表面波センサー装置と比べ、製造工程を簡略化することができる。このため、複数の製造工程で累積する精度ばらつきが小さくなる。また感応性材料が圧電基板に直接作用するため、高感度で経済的に優れた弾性表面波センサーを提供することが可能となる。

第１の実施形態に係る弾性表面波センサー装置の概略平面図である。 図１のＡ−Ａ線における概略断面図である。 第２の実施形態に係る弾性表面波センサー装置の概略平面図である。 第３の実施形態に係る弾性表面波センサー装置の概略平面図である。 第４の実施形態に係る弾性表面波センサー装置の概略平面図である。 第５の実施形態に係る弾性表面波センサー装置の概略平面図である。 第６の実施形態に係る弾性表面波センサー装置の概略平面図である。 第７の実施形態に係る弾性表面波センサー装置の概略平面図である。 第８の実施形態に係る弾性表面波センサー装置の概略平面図である。 第９の実施形態に係る弾性表面波センサー装置の概略平面図である。 特許文献１に記載されている弾性表面波センサー装置の概略平面図を示す。 図１１のＢ−Ｂ線における概略断面図を示す。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る２ポート共振子型の弾性表面波センサー装置の模式的平面図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線に沿う電極構造を示す概略断面図である。

図１及び図２に示す弾性表面波センサー装置１００は、出力信号の変化によって特定の検出対象を検出する装置である。図１及び図２に示すように、弾性表面波センサー１００は、圧電基板１１０と、圧電基板１１０上に形成されている４つのくし歯状電極１３０及び一対のグレーティング反射器１５０とを備えている。４つのくし歯状電極１３０は、２対のくし歯状電極対を構成している。各くし歯状電極対は、ＩＤＴ電極を構成している。一対の反射器１５０は、２対の櫛歯状電極対を挟み込むように配置されている。すなわち、一対の反射器１５０は、４つのくし歯状電極１３０により構成されている２つのＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に配置されている。

本実施形態では、くし歯状電極１３０と、反射器１５０とは、導電性を有し、特定の検出対象に感応する感応性材料により形成されている。
なお、本実施形態では、具体的には、くし歯状電極１３０と反射器１５０とのそれぞれの全体が、上記感応性材料により形成されている。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、くし歯状電極１３０の一部及び反射器１５０の一部のうちの一方を感応性材料以外の材料により形成してもよい。その場合は、くし歯状電極１３０の一部及び反射器１５０の一部を導電性材料により形成することが好ましい。また、例えば、くし歯状電極１３０及び反射器１５０のうちの一方の全体を感応性材料以外の材料により形成してもよい。また、反射器１５０を、導電性を有さない感応性材料により形成してもよい。

本実施形態では、圧電基板１１０は、水晶により形成されている。具体的には、圧電基板１１０は、３６度〜６０度Ｙカット９０度Ｘ方向伝搬の水晶基板により構成されている。但し、本発明において、圧電基板１１０は、特に限定されない。圧電基板１１０は、例えば、ＬｉＴａＯ_３，ＬｉＮｂＯ_３などの他の圧電単結晶により形成されていてもよい。また、圧電基板１１０はＰＺＴ系セラミックスのような圧電セラミックスにより形成されてもよい。

弾性表面波センサー装置１００の製造方法は特に限定されず、例えば、圧電基板１１０に感応性材料によりくし歯状電極１３０および反射器１５０を公知の形成方法に従って形成することにより弾性表面波センサー装置１００を製造することができる。くし歯状電極１３０及び反射器１５０の形成方法の具体例としては、例えば、スパッタリング法、蒸着法またはメッキ法等の薄膜形成方法などが挙げられる。

くし歯状電極１３０および反射器１５０の厚みは、特に限定されない。くし歯状電極１３０および反射器１５０の厚みは、例えば、５ｎｍ〜２００ｎｍ程度とすることができる。
なお、くし歯状電極１３０および反射器１５０の圧電基板１１０への密着性を高めるため、Ｃｒ，Ｔｉなどからなる密着層を、くし歯状電極１３０および反射器１５０と圧電基板１１０との間に形成してもよい。密着層は、例えば、スパッタリング法、蒸着法またはメッキ法等の薄膜形成方法により形成することができる。密着層の厚さは、例えば、５ｎｍ〜１０ｎｍ程度とすることができる。

弾性表面波センサー装置１００では、水素吸蔵金属の一種であるＰｄによりくし歯状電極１３０および反射器１５０が形成されている。このため、水素を含有する検出対象がくし歯状電極１３０および反射器１５０に接触すると、水素がくし歯状電極１３０および反射器１５０に吸蔵される。

次に、弾性表面波センサー装置１００を用いて、水素を検出する方法を説明する。まず、所定の濃度で水素を含有する標準検体Ａと、水素を含有しない標準検体Ｂを用意する。次に、弾性表面波センサー装置１００を標準検体Ａと標準検体Ｂのそれぞれに接触させた場合の弾性表面波センサー装置１００の出力信号の周波数を測定する。
次に、水素の含有濃度が未知である検体Ｃを弾性表面波センサー装置１００に接触させた場合の弾性表面波センサー装置１００の出力信号の周波数を測定する。

しかる後、水素を含有する標準検体Ａと水素を含有しない標準検体Ｂとの測定結果と、未知の検体Ｃの測定結果とを比較することにより、検体Ｃに含まれる水素の有無及び濃度を検出することができる。

また、あらかじめ検量線を作成しておけば、未知の検体の測定を行うことのみにより検体中の水素濃度を検出することができる。すなわち、未知の検体の測定結果と検量線とを比較することにより検体中の水素濃度を検出することができる。

なお、検量線は、以下の手順で作製することができる。まず、あらかじめ既知濃度の水素を含有する複数の標準検体を用意する。それら複数の標準検体のそれぞれを弾性表面波センサー装置１００に接触させたときの出力信号の周波数を測定する。そして、測定結果に基づいて、検量線を作成することができる。

弾性表面波センサー装置１００に検体が接触したときの出力信号の周波数を測定するには、まず、弾性表面波センサー装置１００に発振回路を接続する。次に、くし歯状電極１３０によって弾性表面波を励振し、そのときの弾性表面波センサー装置１００の出力信号の周波数を、周波数測定器などを用いて測定すればよい。

なお、第１の実施形態では、感応性材料として水素吸蔵金属であるＰｄ用いる場合について説明した。但し、本発明において、感応性材料は、Ｐｄに限定されない。感応性材料は、例えば、Ｐｄ以外の水素を吸蔵する有機材料や無機材料であってもよい。Ｐｄ以外の水素を吸蔵する無機材料としては、例えば、Ｎｉ，Ｎｉなどの水素吸蔵金属やＴｉＦｅまたはＭｇ−Ｎｉなどの水素吸蔵合金などが挙げられる。

また、感応性材料は、特定の検出対象の種類に応じて適宜選択することができる。例えば、一酸化炭素を検出する場合は、感応性材料を、例えば、ＺｎＯ，ＳｎＯまたはＰｔなどの材料とすることができる。また、窒素酸化物を検出する場合は、感応性材料を、例えば、ＺｒＯ_２などの材料とすることができる。

また、本実施形態では、感応性材料で形成されたくし歯状電極１３０と反射器１５０とが圧電基板１１０と接している例について説明したが、本発明は、この構成に限定されない。例えば、くし歯電極はＡｌなどの一般の電極と、導電性をもつ感応性材料の積層一体構造としても良い。この場合、感応性材料は直接圧電基板１１０に接していない。

以下、本発明を実施した好ましい形態の他の例について説明する。なお、以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
（第２の実施形態）
図３は、本実施形態の弾性表面波センサー装置の概略平面図である。上記第１の実施形態では、２ポート共振子型の弾性表面波センサー装置を例に挙げて説明したが、本発明において、弾性表面波センサー装置は、２ポート共振子型の弾性表面波センサー装置に限定されない。例えば、図３に示すように、弾性表面波センサー装置は、感応性材料１ポート共振子型の弾性表面波センサー装置であってもよい。

（第３の実施形態）
図４は、本実施形態の弾性表面波センサー装置の概略平面図である。上記第１及び第２の実施形態では、反射器を有する弾性表面波センサー装置を例に挙げて説明したが、本発明は、反射器を有する弾性表面波センサー装置に限定されない。例えば、図４に示すように、弾性表面波センサー装置は、互いに間挿し合う２つのくし歯状電極１３０により構成される２つのＩＤＴ電極間に伝搬路を備える、いわゆるトランスバーサル型の弾性表面波センサー装置であってもよい。

（第４及び第５の実施形態）
図５は、第４の実施形態の弾性表面波センサー装置の概略平面図である。また、図６は、第５の実施形態の弾性表面波センサー装置の概略平面図である。

上記第１〜第３の実施形態では、ＩＤＴ電極を構成するくし歯状電極及び反射器の両方が導電性感応性材料により形成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図５に示すように、感応性材料により形成されたくし歯状電極１３０に替えて、感応性材料ではない導電性材料により形成されたくし歯状電極１４０を設けてもよい。この場合、ＩＤＴ電極の抵抗値を比較的低くしやすい。
なお、くし歯状電極１４０を形成するための導電性材料の具体例としては、例えば、ＡｌやＡｕなどが挙げられる。

また、図６に示すように、導電性感応性材料により形成された反射器１５０に替えて、導電性を有さない感応性材料により形成された反射器１６０を設けてもよい。この場合、反射器１６０の材料の選択の幅が広がり、例えば、特定の検出対象に合わせてＺｒＯ_２等の金属酸化物等などのより検出に好適な材料を選択できるため、特定の検出対象をより高精度に検出することが可能となる。

（第６の実施形態）
図７は、本実施形態の弾性表面波センサー装置の概略平面図である。
上記第１の実施形態では、２つのＩＤＴ電極及び一対の反射器のそれぞれの全体が導電性感応性材料により形成されている例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。例えば、図７に示すように、２つのＩＤＴ電極及び一対の反射器のうちの少なくともひとつに、感応性材料により形成されていない部分が設けられていてもよい。すなわち、２つのＩＤＴ電極及び一対の反射器のうちの少なくともひとつは、感応性材料により形成されている部分と、感応性材料により形成されていない部分とを有していてもよい。例えば、２つのＩＤＴ電極及び一対の反射器のうちの少なくともひとつは、感応性材料により形成されている電極指と、感応性材料により形成されていない電極指とを有していてもよい。

具体的には、図７に示すように、本実施形態では、２つのＩＤＴ電極１２１，１２２のうち、一方のＩＤＴ電極１２２が、導電性感応性材料からなる一対のくし歯状電極１３０により構成されており、他方のＩＤＴ電極１２１が、一部が導電性感応性材料からなり、残りの一部が感応性材料以外の材料からなる一対のくし歯電極１４１により構成されている。すなわち、くし歯電極１４１は、導電性感応性材料からなる部分１４１ａと、感応性材料以外の材料からなる部分１４１ｂとを有する。なお、図７においては、説明の便宜上、部分１４１ａと、後述の部分１６１ａとには、ハッチングを附している。

また、本実施形態では、一対の反射器のうちの一方が導電性感応性材料からなる反射器１５０により構成されており、他方の反射器は、一部が導電性感応性材料からなり、残りの一部が感応性材料以外の材料からなる反射器１６１により構成されている。すなわち、反射器１６１は、導電性感応性材料からなる部分１６１ａと、感応性材料以外の材料からなる部分１６１ｂとを有する。

本実施形態の場合、くし歯電極１４１の導電性感応性材料からなる部分１４１ａと、感応性材料以外の材料からなる部分１４１ｂとの比率や、反射器１６１の導電性感応性材料からなる部分１６１ａと、感応性材料以外の材料からなる部分１６１ｂとの比率を変更することによって、弾性表面波センサー装置の感度を調整することができる。

（第７〜９の実施形態）
上記第１の実施形態では、２つのＩＤＴ電極と一対の反射器とが同一種類の導電性感応性材料により形成されている場合について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。例えば、くし歯状電極及び反射器には、互いに異なる種類の感応性材料により形成されている部分が存在してもよい。具体的には、複数のくし歯状電極が設けられており、それら複数のくし歯状電極には、互いに異なる種類の感応性材料により形成されている複数種類のくし歯状電極が含まれていてもよい。また、複数の反射器が設けられており、それら複数の反射器には、互いに異なる種類の感応性材料により形成されている複数種類の反射器が含まれていてもよい。これらの場合、互いに異なる種類の感応性材料は、感応する検出対象が同じものであってもよいし、感応する検出対象が相互に異なるものであってもよい。互いに異なる種類の感応性材料が、感応する検出対象が同じものである場合は、例えば、互いに異なる種類の感応性材料は、検出可能温度範囲などの検出特性が異なるものであることが好ましい。

図８は、第７の実施形態の弾性表面波センサー装置の概略平面図である。図８に示すように、第７の実施形態では、ＩＤＴ電極１２３，１２４が、弾性表面波伝搬方向に沿って設けられている。ＩＤＴ電極１２３は、互いに間挿し合う一対のくし歯状電極１３０ａ、１３０ｂにより構成されている。また、ＩＤＴ電極１２４は、互いに間挿し合う一対のくし歯状電極１３０ｃ、１３０ｄにより構成されている。本実施形態では、くし歯状電極１３０ａ、１３０ｂと、くし歯状電極１３０ｃ、１３０ｄとは、互いに異なる種類の導電性感応性材料により形成されている。

例えば、くし歯状電極１３０ａ、１３０ｂと、くし歯状電極１３０ｃ、１３０ｄとは、同じ物質に感応する感応性材料であるものの、検出可能温度範囲が相互に異なる感応性材料により形成されている。このため、くし歯状電極１３０ａ、１３０ｂと、くし歯状電極１３０ｃ、１３０ｄとを同一種類の感応性材料により形成した場合と比較して、特定の検出対象の検出可能温度範囲を拡大することができる。

なお、検出可能温度範囲が相互に異なる感応性材料の例としては、例えば、検出対象が水素である場合は、ＰｄとＭｇＮｉなどが挙げられる。
また、例えば、くし歯状電極１３０ａ、１３０ｂと、くし歯状電極１３０ｃ、１３０ｄとは、異なる物質に感応する導電性感応性材料により形成されている。具体的には、例えば、くし歯状電極１３０ａ、１３０ｂが、Ｐｄなどの水素に感応する感応性材料により形成されており、くし歯状電極１３０ｃ、１３０ｄが、Ｐｔなどの一酸化炭素に感応する感応性材料により形成されている。このため、複数種類の検出対象の検出が可能となっており、弾性表面波センサー装置を多機能化、小型化、低消費電力化できる効果がある。

図９は、第８の実施形態の弾性表面波センサー装置の概略平面図である。図９に示すように、第８の実施形態では、ＩＤＴ電極１２３，１２４のそれぞれの一方のくし歯状電極１３０ａ、１３０ｃと、他方のくし歯状電極１３０ｂ、１３０ｄとが相互に異なる導電性感応性材料により形成されている。この場合も、上記第７の実施形態と同様に、弾性表面波センサー装置の性能向上、多機能化、小型化、低消費電力化を図ることができる。

図１０は、第９の実施形態の弾性表面波センサー装置の概略平面図である。図１０に示すように、第９の実施形態では、２対のくし歯状電極により構成されている２つのＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向の両側に配置されている一対のグレーティング反射器１５０ａ、１５０ｂが、相互に異なる種類の感応性材料により形成されている。この場合も、上記第７の実施形態と同様に、弾性表面波センサー装置の性能向上、多機能化、小型化、低消費電力化を図ることができる。
なお、本実施形態においては、グレーティング反射器１５０ａ、１５０ｂは、導電性を有する感応性材料により形成されていてもよいし、導電性を有さない感応性材料により形成されていてもよい。

１００…弾性表面波センサー装置
１１０…圧電基板
１２１，１２２，１２３，１２４…ＩＤＴ電極
１３０，１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１０３ｄ，１４０，１４１…くし歯状電極
１４１ａ…くし歯状電極のうち感応性材料により形成されている部分
１４１ｂ…くし歯状電極のうち感応性材料以外の材料により形成されている部分
１５０，１６０，１６１…反射器
１６１ａ…反射器のうち感応性材料により形成されている部分
１６１ｂ…反射器のうち感応性材料以外の材料により形成されている部分
１７０…反応膜

Claims (14)

1. 圧電基板と、前記圧電基板上に形成されたくし歯状電極とを有し、出力信号の変化によって特定の検出対象を検出する弾性表面波センサー装置であって、
   前記くし歯状電極の少なくとも一部は、導電性を有し、かつ、前記特定の検出対象に感応する感応性材料により形成されていることを特徴とする、弾性表面波センサー装置。
2. 前記圧電基板上に形成された反射器をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の弾性表面波センサー装置。
3. 圧電基板と、前記圧電基板上に形成されたくし歯状電極と、前記圧電基板上に形成された反射器とを有し、出力信号の変化によって特定の検出対象を検出する弾性表面波センサー装置であって、
   前記反射器の少なくとも一部は、前記特定の検出対象に感応する感応性材料により形成されていることを特徴とする、弾性表面波センサー装置。
4. 前記感応性材料が導電性を有することを特徴とする、請求項３に記載の弾性表面波センサー装置。
5. 前記くし歯状電極または前記反射器が前記圧電基板と接していることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性表面波センサー装置。
6. 前記くし歯状電極及び前記反射器のうちの少なくとも一方の全体が、前記感応性材料により形成されていることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性表面波センサー装置。
7. 前記くし歯状電極と前記反射器とのそれぞれの全体が、前記感応性材料により形成されていることを特徴とする、請求項６に記載の弾性表面波センサー装置。
8. 前記反射器の全体が、前記感応性材料により形成されていることを特徴とする、請求項３に記載の弾性表面波センサー装置。
9. 前記くし歯状電極及び前記反射器は、互いに異なる種類の前記感応性材料により形成されている部分を有することを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性表面波センサー装置。
10. 前記くし歯状電極を複数備え、前記複数のくし歯状電極には、互いに異なる種類の前記感応性材料により形成されている複数種類のくし歯状電極が含まれる、請求項１〜９のいずれか１項に記載の弾性表面波センサー装置。
11. 前記反射器を複数備え、前記複数の反射器には、互いに異なる種類の前記感応性材料により形成されている複数種類の反射器が含まれる、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の弾性表面波センサー装置。
12. 前記互いに異なる種類の感応性材料は、感応する検出対象が相互に異なることを特徴とする、請求項９〜１１のいずれか１項に記載の弾性表面波センサー装置。
13. 前記検出対象が水素であることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の弾性表面波センサー装置。
14. 前記感応性材料が水素吸蔵金属または水素吸蔵合金であることを特徴とする、請求項１３に記載の弾性表面波センサー装置。

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