JP2012173012A - センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサ10は、板状の基体21と、片持ち梁状に基体21の端部を支持する支持部22と、該基体21の表面21Aを伝搬する弾性表面波を励起するとともに、表面21Aを伝搬した弾性表面波を受信して、受信結果の信号を出力する櫛形電極23とを備える弾性表面波素子11と、櫛形電極23から出力された信号に基づいて弾性表面波の伝搬特性を検出する伝搬特性検出部15と、伝搬特性検出部15により検出された伝搬特性に応じて温度を検出する状態量検出部16とを備え、基体21の裏面21Bの少なくとも一部は、基体21とは異なる熱膨張係数の被覆層25により被覆されている。
【選択図】図1
Description
これにより、温度に対する所望の感度および検出精度を確保しつつ、小型化することができる。
これにより、温度または湿度に対する所望の感度および検出精度を確保しつつ、小型化することができる。
本実施の形態によるセンサ10は、例えば図1に示すように、弾性表面波素子11と、送受信部12と、サーキュレータ13と、発振器14と、伝搬特性検出部15と、状態量検出部16とを備えて構成されている。
櫛形電極23は、例えば真空蒸着やスパッタリングなどによって基体21上に金属層が形成された後に、フォトリソグラフィーによるパターニングによって形成される。
また、櫛形電極23は、反射器24によって反射されつつ基体21の表面21A上を伝搬した弾性表面波を受信し、受信結果の信号をアンテナ23aを介して出力する。
この被覆層25は、例えば基体21の裏面21Bの全面に無電解めっきが行なわれて形成されている。
伝搬特性検出部15は、例えば櫛形電極23から出力されて送受信部12により受信された信号に対するフーリエ変換などを行ない、弾性表面波素子11の表面(つまり、基体21の表面21A)を伝搬する弾性表面波の伝搬速度や位相や強度などの伝搬特性を検出する。
なお、所定マップは、例えば、弾性表面波素子11の表面周辺の雰囲気の状態(例えば、温度)と、伝搬経路21aを伝搬する弾性表面波の伝搬特性との対応関係を示すデータである。
しかも、板状の基体21に被覆層25を容易かつ安定に形成することができ、形成に煩雑な手間がかかることを防止することができる。
また、被覆層25は、基体21の側面の少なくとも一部を被覆してもよい。
なお、所定マップは、例えば、弾性表面波素子11の表面周辺の雰囲気の状態(例えば、湿度または温度)と、伝搬経路21aを伝搬する弾性表面波の伝搬特性との対応関係を示すデータである。
しかも、多孔質材31を容易かつ安定に形成することができ、形成に煩雑な手間がかかることを防止することができる。
また、この変形例において、多孔質材31は、基体21の側面の少なくとも一部を被覆してもよい。
また、複数の異なる弾性表面波素子11,…,11は、例えば弾性表面波の伝搬方向における基体21の長さ(つまり、櫛形電極23と反射器24との間の長さ)を同一として、被覆層25または多孔質材31の厚さ(積層方向の厚さ)が異なるように形成されてもよい。
11 弾性表面波素子
15 伝搬特性検出部
16 状態量検出部
21 基体
21a 伝搬経路
22 支持部
23 櫛形電極(弾性表面波励起受信部)
25 被覆層
31 多孔質材
31a 気孔
Claims (4)
- 板状の基体と、片持ち梁状に前記基体の端部を支持する支持部と、該基体の表面を伝搬する弾性表面波を励起するとともに、前記表面を伝搬した前記弾性表面波を受信して、受信結果の信号を出力する弾性表面波励起受信部とを備える弾性表面波素子と、
前記弾性表面波励起受信部から出力された信号に基づいて前記弾性表面波の伝搬特性を検出する伝搬特性検出部と、
前記伝搬特性検出部により検出された前記伝搬特性に応じて温度を検出する状態量検出部とを備え、
前記基体の表面の少なくとも一部は、前記基体とは異なる熱膨張係数の被覆層により被覆されていることを特徴とするセンサ。 - 板状の基体と、片持ち梁状に前記基体の端部を支持する支持部と、該基体の表面を伝搬する弾性表面波を励起するとともに、前記表面を伝搬した前記弾性表面波を受信して、受信結果の信号を出力する弾性表面波励起受信部とを備える弾性表面波素子と、
前記弾性表面波励起受信部から出力された信号に基づいて前記弾性表面波の伝搬特性を検出する伝搬特性検出部と、
前記伝搬特性検出部により検出された前記伝搬特性に応じて湿度または温度を検出する状態量検出部とを備え、
前記基体の表面の少なくとも一部は、外部に開口した気孔が分散配置されている多孔質材により被覆されていることを特徴とするセンサ。 - 前記状態量検出部は、前記弾性表面波の伝搬特性と前記弾性表面波素子の前記表面周辺の雰囲気の状態との対応関係を示すデータを記憶しており、
前記伝搬特性検出部により検出された前記伝搬特性に対応する前記雰囲気の状態を前記データから取得することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセンサ。 - 前記弾性表面波励起受信部および前記伝搬特性検出部は互いに無線通信可能であることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1つに記載のセンサ。
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