JP2015230244A - 弾性表面波式センサ - Google Patents
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Abstract
Description
物理量によって歪みが与えられる場所に設置される弾性表面波材料(3)と、
弾性表面波材料に形成され、弾性表面波材料に弾性表面波を励振させる櫛歯電極(4、44、54)とを備え、
弾性表面波材料は、サファイア基板(7)と、サファイア基板の表面上に形成されたScAlN膜(8)とを有する構造であることを特徴としている。
本実施形態のSAW式センサは、物理量としての圧力や荷重を検出するものであり、例えば、エンジン燃焼圧を検出する燃焼圧センサとして用いられるものである。
s=se+ασL+βσT・・・式1
s:センシング感度、位相変化量(deg)/荷重(N)
se:伝搬路長の伸びによる位相変化量(deg)/荷重(N)
σL:SAWの伝搬方向の応力(Pa)/荷重(N)
σT:SAWの伝搬方向に対して垂直な方向の応力(Pa)/荷重(N)
α:縦音弾性係数
β:横音弾性係数
なお、σL、σTは、引張り応力のとき、符号を正とする。また、上記式1の説明は、物理量が荷重のときのものである。上記式1中の(ασL)の項と(βσT)の項が音弾性効果である。
・ScAlN膜の厚さ(*):2μm
・櫛歯電極(*)および反射器の材質、厚さ:Au、50nm
・波長:4μm
・伝搬路長:1.5mm
・櫛歯電極(*):40対
・反射器(*):80本
・駆動周波数:1.6GHz(比較例1)、1.45GHz(第1実施形態)
なお、(*)印はセンシング感度には影響しないパラメータを示す。
s(2)=se(2)+ασL(2)+βσT(2)・・・式3
そして、ケース1、2のそれぞれにおいて、図4に示すように、ダイヤフラム部11の裏面11bに荷重を加え、荷重に対する位相変化量(位相変化量/荷重)を実測した。すなわち、s(1)、s(2)を実測した。さらに、se(1)、se(2)、σL(1)、σL(2)、σT(1)、σT(2)を、有限要素法(FEM)により求めた。これらを用いて、式2と式3の連立方程式を解くことで、α、βを求めた。
本実施形態のSAW式センサは、物理量としての引張応力、圧縮応力、歪み等を検出するものである。
本実施形態においても、ScAlN/SiC構造のSAW材料を用いる場合と比較して、センシング感度が受ける音弾性効果の影響が小さいので、センシング感度の向上効果が得られる。
本実施形態のSAW式センサは、物理量としての加速度を検出するものである。
第2、第3実施形態では、応力等の物理量によって、センサチップ2にSAWの伝搬方向の引張応力σLのみがかかる場所に、センサチップ2を設置したが、本実施形態では、図11に示すように、応力等の物理量によって、センサチップ2にSAWの伝搬方向に垂直な方向の引張応力σTのみがかかる場所に、センサチップ2を設置している。
第1実施形態での説明の通り、ScAlN/サファイア構造のSAW材料3は横音弾性係数βが非常に小さいので、本実施形態のSAW式センサは、センシング感度が高くなる。
図12に示すように、本実施形態のセンサチップ2は、SAW材料3の表面に、セザワ波用の櫛歯電極44とレイリー波用の櫛歯電極54とが形成されている。
s2=αε2+βT2・・・式7
なお、s1、ε1、T1は、それぞれ、物理量検出用のSAW素子の信号出力、素子設置部の歪み、素子設置部の温度であり、s2、ε2、T2は、それぞれ、温度補償用のSAW素子の信号出力、素子設置部の歪み、素子設置部の温度である。また、α、βは、それぞれ、両素子の歪みに対する出力感度、両素子の温度に対する出力感度であり、予め実験によって求められる。
s2=α2ε2+β2T2・・・式9
なお、s1、ε1、T1、s2、ε2、T2は、式6、7と同じである。α1、β1は、それぞれ、物理量検出用のSAW素子の歪みに対する出力感度、温度に対する出力感度であり、予め実験によって求められる。α2、β2は、それぞれ、温度補償用のSAW素子の歪みに対する出力感度、温度に対する出力感度であり、予め実験によって求められる。物理量検出用のSAW素子がセザワ波素子に対応し、温度補償用のSAW素子がレイリー波素子50に対応する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、下記のように、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
4 櫛歯電極
7 サファイア基板
8 ScAlN膜
40 セザワ波素子(物理量検出用の素子)
44 セザワ波用の櫛歯電極
46 セザワ波用の伝搬路
50 レイリー波素子(温度補償用の素子)
54 レイリー波用の櫛歯電極
56 レイリー波用の伝搬路
Claims (7)
- 物理量によって歪みが与えられる場所に設置される弾性表面波材料(3)と、
前記弾性表面波材料に形成され、前記弾性表面波材料に弾性表面波を励振させる櫛歯電極(4、44、54)とを備え、
前記弾性表面波材料は、サファイア基板(7)と、前記サファイア基板の表面上に形成されたScAlN膜(8)とを有する構造であることを特徴とする弾性表面波式センサ。 - 前記弾性表面波材料は、前記弾性表面波材料に対して、弾性表面波の伝搬方向(D1)の応力(σL)と弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向(D2)の応力(σT)がかかる場所に設置されることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波式センサ。
- 前記弾性表面波として、セザワ波を用いることを特徴とする請求項1または2に記載の弾性表面波式センサ。
- 前記櫛歯電極として、セザワ波を励振させるセザワ波用の櫛歯電極(44)と、レイリー波を励振させるレイリー波用の櫛歯電極(54)とを備え、
前記セザワ波用の櫛歯電極が、物理量検出用の素子(40)を構成し、
前記レイリー波用の櫛歯電極が、温度補償用の素子(50)を構成していることを特徴とする請求項1または2に記載の弾性表面波式センサ。 - 前記セザワ波用の櫛歯電極と前記レイリー波用の櫛歯電極は、前記櫛歯電極を構成する複数の櫛歯部(44a、54a)のピッチ(p1、p2)が異なるとともに、前記櫛歯電極を駆動するための駆動用信号の周波数が同一となるように、前記ピッチが設定されていることを特徴とする請求項4に記載の弾性表面波式センサ。
- 前記セザワ波用の櫛歯電極に対応して前記弾性表面波材料に設けられ、前記セザワ波用の櫛歯電極によって励振されたセザワ波を受信または反射するセザワ波用の対応電極(45)と、
前記弾性表面波材料のうち前記セザワ波用の櫛歯電極と前記セザワ波用の対応電極との間をセザワ波が伝搬するセザワ波用の伝搬路(46)と、
前記レイリー波用の櫛歯電極に対応して前記弾性表面波材料に設けられ、前記レイリー波用の櫛歯電極によって励振されたレイリー波を受信または反射するレイリー波用の対応電極(55)と、
前記弾性表面波材料のうち前記レイリー波用の櫛歯電極と前記レイリー波用の対応電極との間をレイリー波が伝搬するレイリー波用の伝搬路(56)とを備え、
前記セザワ波用の伝搬路の一部と前記レイリー波用の伝搬路の一部とが重複していることを特徴とする請求項4または5に記載の弾性表面波式センサ。 - 前記サファイア基板は、基板表面の面方位がC面であり、前記弾性表面波の伝搬方向がa面内またはa面に対して60°単位で回転した方向であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の弾性表面波式センサ。
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