JP2015097364A5 - 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本適用例の振動片は、基部と、
平面視で前記基部の一端側から第１方向に延出している振動腕と、
平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記振動腕の厚さをＴ、
前記基部の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅をＷ１、
前記連結部の前記第２方向に沿った幅をＷ２としたとき、
５０μｍ≦Ｔ≦２１０μｍ
を満足しているとともに、
０．０６７≦Ｗ２／Ｗ１≦０．３３５
を満足し、
前記腕部の前記第２方向に沿った幅をＷ３、
前記錘部の前記第２方向に沿った幅をＷ４としたとき、
Ｗ４≧２．８×Ｗ３
を満足していることを特徴とする。
これにより、小型化を図りつつ、振動漏れの低減を図ることのできる振動片を提供することができる。
［適用例２］
本適用例の振動片では、１１０μｍ≦Ｔ≦２１０μｍを満足していることが好ましい。
これにより、振動特性をより向上させることができる。

［適用例３］
本適用例の振動片は、基部と、
平面視で前記基部の一端側から第１方向に延出している振動腕と、
平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記振動腕の厚さをＴ、
前記基部の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅をＷ１、
前記連結部の前記第２方向に沿った幅をＷ２としたとき、
５０μｍ≦Ｔ≦１００μｍ
を満足しているとともに、
０．６０３≦Ｗ２／Ｗ１≦０．８７１
を満足し、
前記腕部の前記第２方向に沿った幅をＷ３、
前記錘部の前記第２方向に沿った幅をＷ４としたとき、
Ｗ４≧２．８×Ｗ３
を満足していることを特徴とする。
これにより、小型化を図りつつ、振動漏れの低減を図ることのできる振動片を提供することができる。

Claims (10)

1. 基部と、
   平面視で前記基部の一端側から第１方向に延出している振動腕と、
   平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
   平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
   を含み、
   前記振動腕は、
   錘部と、
   前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
   を含み、
   前記振動腕の厚さをＴ、
   前記基部の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅をＷ１、
   前記連結部の前記第２方向に沿った幅をＷ２としたとき、
   ５０μｍ≦Ｔ≦２１０μｍ
   を満足しているとともに、
   ０．０６７≦Ｗ２／Ｗ１≦０．３３５
   を満足し、
   前記腕部の前記第２方向に沿った幅をＷ３、
   前記錘部の前記第２方向に沿った幅をＷ４としたとき、
   Ｗ４≧２．８×Ｗ３
   を満足していることを特徴とする振動片。
2. 請求項１において、
   １１０μｍ≦Ｔ≦２１０μｍを満足していることを特徴とする振動片。
3. 基部と、
   平面視で前記基部の一端側から第１方向に延出している振動腕と、
   平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
   平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
   を含み、
   前記振動腕は、
   錘部と、
   前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
   を含み、
   前記振動腕の厚さをＴ、
   前記基部の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅をＷ１、
   前記連結部の前記第２方向に沿った幅をＷ２としたとき、
   ５０μｍ≦Ｔ≦１００μｍ
   を満足しているとともに、
   ０．６０３≦Ｗ２／Ｗ１≦０．８７１
   を満足し、
   前記腕部の前記第２方向に沿った幅をＷ３、
   前記錘部の前記第２方向に沿った幅をＷ４としたとき、
   Ｗ４≧２．８×Ｗ３
   を満足していることを特徴とする振動片。
4. 請求項３において、
   ５０μｍ≦Ｔ≦８０μｍを満足していることを特徴とする振動片。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項において、
   前記接続部は、前記第２方向に沿って延出され、
   前記接続部に接続され、前記第１方向に沿って延出している支持腕を含むことを特徴とする振動片。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項において、
   前記振動腕の互いに表裏の関係にある第１の主面および第２の主面の少なくとも一方の主面側に、溝が設けられていることを特徴とする振動片。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片と、
   前記振動片が搭載されているパッケージと、
   を備えていることを特徴とする振動子。
8. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片と、
   回路と、
   を備えていることを特徴とする発振器。
9. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
10. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。