JP2016176891A5 - - Google Patents

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このように、本実施形態では、検出部２２Ａ、２２Ｂからの電荷によって検出信号ＳＳを第１実施形態と比較してほぼ倍増させることができるので、より検出精度の高いジャイロ素子１となる。また、本実施形態によれば、駆動振動モード時および検出振動モード時において、駆動腕２３Ａ、２４Ａ、２３Ｂ、２４Ｂおよび検出部２２Ａ、２２ＢのＸ軸方向およびＺ軸方向の振動をキャンセルすることができるため、ジャイロ素子１の振動漏れを低減でき、さらに、検出精度が向上する。
図１２に示すように、本実施形態のジャイロ素子１では、駆動腕２３Ｂ、２４Ｂの横断面形状が、第３実施形態に対して上下反転している。このような構成とすると、ジャイロ素子１は、図１３に示す駆動振動モードで振動する。具体的には、駆動腕２３Ａ、２４ＡがＸ軸同相モードで振動し、駆動腕２３Ｂ、２４ＢがＸ軸同相モードでかつ駆動腕２３Ａ、２４ＡとはＸ軸逆相モードで振動する。また、このようなＸ軸方向への振動に結合して、駆動腕２３Ａ、２３ＢがＺ軸同相モードで振動し、駆動腕２４Ａ、２４ＢがＺ軸同相モードでかつ駆動腕２３Ａ、２３ＢとはＺ軸逆相モードで振動する。このような振動によれば、駆動腕２３Ａ（第１振動系２０Ａの第２振動系２０Ｂ側の駆動腕）と駆動腕２４Ｂ（第２振動系２０Ｂの第１振動系２０Ａ側の駆動腕）同士が接近する際、これらをＺ軸方向の反対側へずらすことができる。そのため、駆動腕２３Ａ、２４Ｂが接触し難くなり、ジャイロ素子１の損傷を低減することができる。また、その分、検出部２２Ａ、２２Ｂを近づけることができるので、ジャイロ素子１の小型化を図ることができる。
５．移動体
次いで、図１に示すジャイロ素子１を備える移動体について、図２６に基づき、詳細に
説明する。
図２６は、本発明の移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。

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