JP2016040550A - 物理量センサー、電子機器 - Google Patents
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上記構成によれば、例えば、物理量センサーを角速度センサーとして用いた場合に、検出軸まわりの角速度のみを検出して、ノイズとなる検出軸以外の他軸の角速度が検出されない。従って物理量検出を高精度に行うことができる。
上記構成によれば、例えば、物理量センサーを角速度センサーとして用いた場合に、検出軸回りに角速度が発生したときに各変位部を基板上の空間平面に対し垂直方向に変位し易くなり、物理量検出を高精度に行うことができる。
上記構成によれば、各変位部の静電容量の絶対値が同じになり、差動検出により変位を検出することができる。
上記構成によれば、例えば、物理量センサーを角速度センサーとして用いた場合に、検出軸まわりの角速度のみを検出して、ノイズとなる検出軸以外の他軸の角速度及び直線加速度が検出されない。従って適用例1と比較して物理量検出を高精度に行うことができる。
上記構成によれば、第1振動体と第2振動体の振動効率を高めることができる。
上記構成によれば、差動容量出力を検出して、角速度を高精度に検出することができる。
上記構成によれば、検出軸まわりの角速度のみを検出して、検出軸以外の他軸の角速度が検出されない。従って角速度を高精度で検出できる物理量センサーが得られる。
上記構成によれば、物理量を高精度で検出することができる物理量センサーを備えた電子機器が得られる。
図1は本発明の物理量センサーの第1実施形態を示す構成概略図である。図2は図1におけるA−A断面拡大図である。なお各図では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、Z軸を図示している。また以下では、X軸(第1軸)に平行な方向をX軸方向、Y軸(第2軸)に平行な方向をY軸方向、Z軸(第3軸)に平行な方向をZ軸方向という。
上記構成によれば、物理量を高精度で検出することができる物理量センサーを備えた電子機器が得られる。
また、本適用例に係る物理量センサーは、第1軸と、前記第1軸と直交している第2軸と、前記第1軸及び前記第2軸と直交している第3軸と、を仮想な軸としたとき、基板と、前記基板の前記第1軸および前記第2軸に沿うような一面と対向するように配置され、回転軸を有している第1変位部及び第2変位部と、前記第1変位部及び前記第2変位部の各々に対向するように前記一面に設けられている固定電極部と、前記第1変位部及び第2変位部の各々の前記回転軸を支持している支持部と、バネ部を介して前記支持部を支持している固定部と、
前記支持部を前記第1軸方向に振動させる駆動部と、を備え、前記第1変位部及び前記第2変位部は、前記回転軸を軸として前記第3軸方向に変位可能であり、前記第1変位部は、前記支持部の前記第2軸方向における一方の側に設けられ、前記第2変位部は、前記支持部の前記第2軸方向における他方の側に設けられ、前記回転軸の各々は、前記第1変位部又は前記第2変位部の重心からずれて設けられ、前記第1変位部の前記回転軸と前記第2変位部の前記回転軸とは、前記重心からのずれの方向が互いに反対であり、前記支持部の平面視にて、前記駆動部は、前記第1変位部と前記第2変位部との間に配置されていることを特徴とする。
また、本適用例に係る物理量センサーは、前記回転軸の各々は、前記支持部の前記第1軸方向に沿うように配置されていてもよい。
また、本適用例に係る物理量センサーは、前記第1変位部及び第2変位部は、前記駆動部に対して互いに対称となるように配置されていてもよい。
また、本適用例に係る物理量センサーは、前記第1および前記第2変位板の自由端側は、各々の前記回転軸に対して前記駆動部よりも離れていてもよい。
本適用例に係る物理量センサーは、第1軸と、前記第1軸と直交している第2軸と、前記第1軸及び前記第2軸と直交している第3軸と、を仮想な軸としたとき、基板と、前記基板の前記第1軸および前記第2軸に沿うような一面と対向するように配置されている第1振動体及び第2振動体と、を有し、前記第1振動体は、回転軸を有している第1変位部及び第2変位部と、前記第1変位部及び前記第2変位部の前記回転軸の各々を支持している第1支持部と、を備え、前記第2振動体は、回転軸を有している第3変位部及び第4変位部と、前記第3変位部及び前記第4変位部の前記回転軸の各々を支持している第2支持部と、を備え、前記基板の前記第1〜第4変位部の各々に対向するように前記一面に設けられている固定電極部と、バネ部を介して前記第1支持部及び第2支持部の各々を支持している固定部と、前記第1支持部及び前記第2支持部の前記第1軸方向に振動させる駆動部と、を備え、前記第1振動体及び前記第2振動体は、連結バネにより前記第1支持部と前記第2支持部とが連結され、互いに反対方向に振動可能であり、前記第1〜第4変位部は、前記回転軸を軸として前記第3軸方向に変位可能であり、前記回転軸の各々は、前記第1〜第4変位部の各々の重心からずれて設けられ、前記第1変位部の前記回転軸と前記第2変位部の前記回転軸とは、前記重心からのずれの方向が互いに反対であり、且つ、前記第3変位部の前記回転軸と前記第4変位部の前記回転軸とは、前記重心からのずれの方向が互いに反対であり、前記第1支持部および前記第2支持部の平面視にて、前記駆動部は、前記第1変位部と前記第2変位部との間および前記第3変位部と前記第4変位部との間の少なくとも一方の間に配置されていることを特徴とする。
また、本適用例に係る物理量センサーは、前記駆動部は、前記第1変位部と前記第2変位部との間に配置されている第1駆動部と、前記第3変位部と前記第4変位部との間に配置されている第2駆動部とを備えていてもよい。
また、本適用例に係る物理量センサーは、前記回転軸の各々は、前記支持部の前記第1軸方向に沿うように配置されていてもよい。
また、本適用例に係る物理量センサーは、前記第1変位部及び第2変位部は、前記第1駆動部に対して互いに対称となるように、かつ、前記第3変位部及び第4変位部は、前記第2駆動部に対して互いに対称となるように配置されていてもよい。
また、本適用例に係る物理量センサーは、前記第1〜第4変位板の自由端側は、各々の前記回転軸に対して前記駆動部よりも離れていてもよい。
また、本適用例に係る物理量センサーは、前記第1変位部とこれに対向する前記固定電極部との間の静電容量をC1とし、前記第2変位部とこれに対向する前記固定電極部との間の静電容量をC2とし、前記第3変位部とこれに対向する前記固定電極部との間の静電容量をC3とし、前記第4変位部とこれに対向する前記固定電極部との間の静電容量をC4としたときに、前記物理量センサーの出力値を(C1+C2)−(C3+C4)としていてもよい。
また、本適用例に係る物理量センサーは、前記第2軸方向の軸回りに発生する角速度を検出してもよい。
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上の空間平面に配置され、回転軸を有した第1変位部及び第2変位部と、
前記基板の前記第1変位部及び第2変位部の各々に対向する位置に設けられた固定電極部と、
前記第1変位部及び第2変位部の各々の前記回転軸を支持する支持部と、
バネ部を介して前記支持部を支持する固定部と、
前記支持部を振動方向に振動させる駆動部と、を備え、
前記第1変位部及び第2変位部は、前記回転軸を軸として前記空間平面に対して垂直方向に変位可能であり、
前記回転軸の各々は、前記第1変位部又は第2変位部の重心からずれて設けられ、
前記第1変位部の前記回転軸と前記第2変位部の前記回転軸とは、前記重心からのずれの方向が互いに反対であることを特徴とする物理量センサー。 - 前記回転軸の各々は、前記支持部の前記振動方向に平行に配置されたことを特徴とする請求項1に記載の物理量センサー。
- 前記第1及び第2変位部は、互いに対称となるように配置されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の物理量センサー。
- 基板と、
前記基板上の空間平面に配置された第1振動体及び第2振動体と、を有し、
前記第1振動体は、回転軸を有した第1変位部及び第2変位部と、前記第1変位部及び前記第2変位部の前記回転軸の各々を支持する第1支持部と、を備え、
前記第2振動体は、回転軸を有した第3変位部及び第4変位部と、前記第3変位部及び前記第4変位部の前記回転軸の各々を支持する第2支持部と、を備え、
前記基板の前記第1〜第4変位部の各々に対向する位置に設けられた固定電極部と、
バネ部を介して前記第1支持部及び第2支持部の各々を支持する固定部と、
前記第1支持部及び第2支持部の各々を振動させる駆動部と、を備え、
前記第1振動体及び前記第2振動体は、互いに反対方向に振動し、
前記第1〜第4変位部は、前記回転軸を軸として前記空間平面に対し垂直方向に変位可能であり、
前記回転軸の各々は、前記第1〜第4変位部の各々の重心からずれて設けられ、
前記第1変位部の前記回転軸と前記第2変位部の前記回転軸とは、前記重心からのずれの方向が互いに反対であり、
且つ、前記第3変位部の前記回転軸と前記第4変位部の前記回転軸とは、前記重心からのずれの方向が互いに反対であることを特徴とする物理量センサー。 - 前記第1振動体及び第2振動体は、連結バネで互いに接続されていることを特徴とする請求項4に記載の物理量センサー。
- 前記第1変位部とこれに対向する前記固定電極部との間の静電容量をC1とし、
前記第2変位部とこれに対向する前記固定電極部との間の静電容量をC2とし、
前記第3変位部とこれに対向する前記固定電極部との間の静電容量をC3とし、
前記第4変位部とこれに対向する前記固定電極部との間の静電容量をC4としたときに、
前記物理量センサーの出力値を(C1+C2)−(C3+C4)とすることを特徴とする請求項4又は5に記載の物理量センサー。 - 前記振動方向に対し平面視で直交する方向の軸回りに発生する角速度を検出することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の物理量センサー。
- 請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の物理量センサーを備えたことを特徴とする電子機器。
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