JP2007333642A - 慣性センサおよび慣性センサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板100に対して浮遊した状態で変位可能に支持された振動子11と、前記振動子11の変位を検出する変位検出部14とを備えた慣性センサ1であって、前記振動子11は、駆動モード周波数の低周波側と高周波側にそれぞれ別の検出モード周波数を有することを特徴とするもので、例えば、前記振動子11は、ばね定数が異なる第1弾性支持体13−1、13−3と第2弾性支持体13−2、13−4とによって支持されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 基板に対して浮遊した状態で変位可能に支持された振動子と、
前記振動子の変位を検出する変位検出部とを備えた慣性センサにおいて、
前記振動子は、駆動モード周波数の低周波側と高周波側にそれぞれ別の検出モード周波数を有する
ことを特徴とする慣性センサ。 - 前記振動子は、ばね定数が異なる第1弾性支持体と第2弾性支持体とによって支持されている
ことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 前記変位検出部は前記振動子の多軸方向の変位を検出する
ことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 前記振動子は減圧された雰囲気中に封止されている
ことを特徴とする請求項1記載の慣性センサ。 - 基板に対して浮遊した状態で変位可能に支持された振動子と、
前記振動子を支持する第1弾性支持体と第2弾性支持体と、
前記振動子の変位を検出する変位検出部とを備えた慣性センサの製造方法において、
前記振動子の駆動モード周波数の低周波側と高周波側にそれぞれ別の検出モード周波数を有するように、第1弾性支持体と第2弾性支持体とをばね定数が異なるように形成する
ことを特徴とする慣性センサの製造方法。
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