JP6512006B2 - センサ装置 - Google Patents
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Description
、例えば弾性表面波(以下、SAWという)素子とを一体化するものであっても、同様の問題が発生する。
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態で説明するセンサ装置は、振動型のジャイロセンサと共に櫛歯型の容量式加速度センサを1チップに形成し、WLP構造としたものである。このセンサ装置は、例えば、ジャイロセンサにて車両の上下方向に平行な中心線周りの回転角速度の検出を行いつつ、加速度センサにて車両の前後方向もしくは左右方向の加速度の検出を行うものに用いられるが、勿論、車両用以外にも適用できる。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
11 支持基板
13 キャップ層
20 固定部
30 可動部
40 梁部
100 ジャイロセンサ
200 加速度センサ
210 可動部
220、230 第1、第2固定電極
Claims (10)
- 支持基板(11)と、
前記支持基板に対して固定された固定部(20)と、駆動錘および検出錘(31、32)とを有する可動部(30)と、前記駆動錘を前記支持基板の平面と平行な平面上において移動可能としつつ前記固定部に対して支持する駆動梁(42)、および、前記検出錘を前記支持基板の平面と平行な平面上において移動可能としつつ前記固定部に対して支持する検出梁(41)を有する梁部(40)とを有する振動型角速度センサと、該振動型角速度センサの周囲を囲むと共に前記支持基板に接続された周辺部(10c)と、を備えたセンサ基板(10)と、を有するセンサ装置であって、
前記固定部は、枠体形状によって構成されており、前記センサ基板には、前記固定部が構成する枠体形状の内側に配置された力学量センサ(200)が備えられていることを特徴とするセンサ装置。 - 前記固定部の幅は、前記検出梁の幅よりも大きくされていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記支持基板と前記センサ基板は別々の基板によって構成されており、前記支持基板の上に前記センサ基板が接合部(12)を介して接合されていることを特徴とする請求項1または2に記載のセンサ装置。
- 前記支持基板と前記センサ基板は1枚の半導体基板によって構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のセンサ装置。
- 前記力学量センサは、加速度センサ(200)であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載のセンサ装置。
- 前記加速度センサは、前記支持基板の平面と平行な平面上の一方向において移動可能な可動電極(213、214)と、前記支持基板に対して固定されていると共に前記可動電極と対向配置された固定電極(220、230)とを有し、加速度の印加に伴う前記可動電極の移動によって前記可動電極と前記固定電極との間の距離が変化し、前記可動電極と前記固定電極との間の容量値が変化することに基づいて前記加速度の検出を行うことを特徴とする請求項5に記載のセンサ装置。
- 前記加速度センサは、前記固定部の内周壁に連結されると共に前記一方向に変位可能な可撓部(212)と、前記可撓部に連結されていると共に前記可動電極が前記一方向に対する垂直方向に延設された錘部(211)とを有していることを特徴とする請求項6に記載のセンサ装置。
- 前記センサ基板のうち前記支持基板と反対側の一面に配置され、接合部(14)を介して前記周辺部と接合されるキャップ層(13)が備えられていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載のセンサ装置。
- 前記キャップ層と前記センサ基板とを接合する前記接合部は、金属接合材料によって構成された金属接合部であり、
前記キャップ層には、前記金属接合部に繋がる貫通孔(400)が形成されており、該貫通孔内を通じて前記金属接合部を接地電位点に接続する接地パッド部(13f)が備えられていることを特徴とする請求項8に記載のセンサ装置。 - 前記センサ基板のうち前記支持基板と反対側の一面に配置され、接合部(14)を介して前記周辺部と接合されるキャップ層(13)が備えられており、
前記キャップ層のうち前記加速度センサと対応する部位に大気開放孔(13h)が形成されていることを特徴とする請求項5ないし7のいずれか1つに記載のセンサ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015140824A JP6512006B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | センサ装置 |
US15/203,947 US10001375B2 (en) | 2015-07-14 | 2016-07-07 | Sensor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015140824A JP6512006B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017020977A JP2017020977A (ja) | 2017-01-26 |
JP6512006B2 true JP6512006B2 (ja) | 2019-05-15 |
Family
ID=57774891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015140824A Expired - Fee Related JP6512006B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | センサ装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10001375B2 (ja) |
JP (1) | JP6512006B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107063223B (zh) * | 2017-04-17 | 2019-04-30 | 东南大学 | 单片式谐振加速度计陀螺仪结构 |
CN109613301B (zh) * | 2018-12-19 | 2020-09-11 | 东南大学 | 一种可同时测量水平方向加速度和角速度的微传感器 |
CN109613300B (zh) * | 2018-12-19 | 2020-09-11 | 东南大学 | 一种可同时测量垂直方向加速度和角速度的微传感器 |
KR102530242B1 (ko) * | 2021-04-15 | 2023-05-09 | 에이아이시스템즈 주식회사 | 가속도 센서 고정용 홀더 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3435665B2 (ja) | 2000-06-23 | 2003-08-11 | 株式会社村田製作所 | 複合センサ素子およびその製造方法 |
JP2006162314A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合センサ |
JP2007178386A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Kyocera Kinseki Corp | 複合センサ |
EP2187168A4 (en) | 2007-09-03 | 2013-04-03 | Panasonic Corp | INERTIA FORCE SENSOR |
JP4687791B2 (ja) * | 2007-09-19 | 2011-05-25 | 株式会社村田製作所 | 複合センサおよび加速度センサ |
US8710599B2 (en) * | 2009-08-04 | 2014-04-29 | Fairchild Semiconductor Corporation | Micromachined devices and fabricating the same |
CN101871951B (zh) * | 2010-06-07 | 2011-11-30 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 微加速度传感器 |
US9638524B2 (en) * | 2012-11-30 | 2017-05-02 | Robert Bosch Gmbh | Chip level sensor with multiple degrees of freedom |
JP2014157063A (ja) | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Tdk Corp | 複合センサ素子 |
-
2015
- 2015-07-14 JP JP2015140824A patent/JP6512006B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-07-07 US US15/203,947 patent/US10001375B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170016727A1 (en) | 2017-01-19 |
US10001375B2 (en) | 2018-06-19 |
JP2017020977A (ja) | 2017-01-26 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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