JP2005283428A - 力学量センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 X軸・Y軸・Z軸周りの角速度とX軸・Y軸・Z軸の加速度を測定可能な力学量センサ装置において、検出精度を向上させる。
【解決手段】 3つの角速度センサチップ10、20、30と3つの加速度センサチップ40、50、60とが同一の被実装部材1上に実装されている力学量センサ装置であって、3つの角速度センサチップ10、20、30は、互いに直交する3つの軸周りにおける角速度をそれぞれ検出するものであるとともに、3つの加速度センサチップ40、50、60は、角速度センサチップの検出対象である3つの軸に対応する3つの軸における加速度をそれぞれ検出するものであり、3つの角速度センサチップ10、20、30の検出対象となる3つの軸が1点で交わっているとともに、3つの加速度センサチップ40、50、60の検出対象となる3つの軸が1点で交わっているように構成する。
【選択図】 図1
【解決手段】 3つの角速度センサチップ10、20、30と3つの加速度センサチップ40、50、60とが同一の被実装部材1上に実装されている力学量センサ装置であって、3つの角速度センサチップ10、20、30は、互いに直交する3つの軸周りにおける角速度をそれぞれ検出するものであるとともに、3つの加速度センサチップ40、50、60は、角速度センサチップの検出対象である3つの軸に対応する3つの軸における加速度をそれぞれ検出するものであり、3つの角速度センサチップ10、20、30の検出対象となる3つの軸が1点で交わっているとともに、3つの加速度センサチップ40、50、60の検出対象となる3つの軸が1点で交わっているように構成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、角速度センサチップと加速度センサチップを1つの被実装部材上に実装した力学量センサ装置に関する。
従来より、車両の姿勢制御等に角速度センサや加速度センサが用いられている。このような角速度センサチップと加速度センサチップを1つの被実装部材(例えば回路チップ・基板等)上に実装した力学量センサ装置が知られている(例えば特許文献1、2参照)。
特開平10−10148号公報
特開2000−5950号公報
ところで、車両の姿勢制御を高精度に行うためには、X軸・Y軸・Z軸周りの角速度とX軸・Y軸・Z軸の加速度を測定することが要求される。しかしながら、上記特許文献1のセンサ装置ではX軸・Y軸周りの角速度とZ軸の加速度を検出するのみであり、また上記特許文献2のセンサ装置ではZ軸周りの角速度とY軸の加速度を検出するのみである。
また、1つの角速度センサで複数軸周りにおける角速度を検出し、1つの加速度センサで複数軸における加速度を検出することも考えられるが、この場合には検出精度が犠牲になるという問題がある。
本発明は上記点に鑑み、X軸・Y軸・Z軸周りの角速度とX軸・Y軸・Z軸の加速度を測定可能な力学量センサ装置において、検出精度を向上させることを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、3つの角速度センサチップ(10、20、30)と3つの加速度センサチップ(40、50、60)とが同一の被実装部材(1)上に実装されている力学量センサ装置であって、3つの角速度センサチップ(10、20、30)は、互いに直交する3つの軸周りにおける角速度をそれぞれ検出するものであるとともに、3つの加速度センサチップ(40、50、60)は、角速度センサチップの検出対象である3つの軸に対応する3つの軸における加速度をそれぞれ検出するものであり、3つの角速度センサチップ(10、20、30)の検出対象となる3つの軸が1点で交わっているとともに、3つの加速度センサチップ(40、50、60)の検出対象となる3つの軸が1点で交わっていることを特徴としている。
このように、同一の被実装部材上に3つの角速度センサチップ(10、20、30)と3つの加速度センサチップ(40、50、60)を実装し、異なる軸周りの角速度をそれぞれ異なる角速度センサチップ(10、20、30)で検出し、異なる軸の加速度をそれぞれ異なる加速度センサチップ(40、50、60)で検出するように構成することで、各軸周りの角速度の検出精度と各軸の加速度の検出精度を向上させることができる。
また、力学量センサ装置を例えば車両の姿勢制御に用いる場合、姿勢制御を高精度で行うためには、車両の重心位置における角速度および加速度を検出することが要求される。このとき、各角速度センサチップ(10、20、30)と各加速度センサチップ(40、50、60)の検出軸が重心位置からずれていると、重心位置からずれた位置の角速度および加速度を検出することとなり、検出精度が悪化してしまう。これに対し、各角速度センサチップ(10、20、30)の検出軸が1点で交わるように構成し、各加速度センサチップ(40、50、60)の検出軸が1点で交わるように構成することで、各軸周りの角速度の検出精度と各軸の加速度の検出精度を向上させることができる。
また、請求項2に記載の発明では、3つの角速度センサチップ(10、20、30)と3つの加速度センサチップ(40、50、60)とが同一の被実装部材(1)上に実装されている力学量センサ装置であって、3つの角速度センサチップ(10、20、30)は、互いに直交する3つの軸周りにおける角速度を検出するものであるとともに、3つの加速度センサチップ(40、50、60)は、角速度センサチップの検出対象である3つの軸に対応する3つの軸における加速度を検出するものであり、3つの角速度センサチップ(10、20、30)は被実装部材(1)上に積層されて実装されているとともに、3つの加速度センサチップ(40、50、60)は被実装部材(1)上に積層されて実装されていることを特徴としている。
このように、各角速度センサチップ(10、20、30)を積層させることで各角速度センサチップを可能な限り近接させることができる。これにより、各軸周りの角速度の検出位置を可能な限り近接させることができ、各軸周りの角速度の検出精度を向上させることができる。同様に、各加速度センサチップ(40、50、60)を積層させることで、各加速度センサチップを可能な限り近接させることができる。これにより、各軸の加速度の検出位置を可能な限り近接させることができ、各軸の加速度の検出精度を向上させることができる。
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態について図1〜図3に基づいて説明する。図1は本第1実施形態の力学量センサ装置の平面図である。
以下、本発明の第1実施形態について図1〜図3に基づいて説明する。図1は本第1実施形態の力学量センサ装置の平面図である。
図1に示すように、本第1実施形態の力学量センサ装置は、角速度センサチップ10、20、30と加速度センサチップ40、50、60とを有し、これらのセンサチップが同一の被実装部材1上に実装されて構成されている。被実装部材1は、回路チップや基板から構成される。本第1実施形態の力学量センサ装置では、異なる軸周りの角速度を検出する3つの角速度センサチップ10、20、30と、異なる軸の加速度を検出する3つの加速度センサチップ40、50、60とが設けられている。図1では図示されていないが、角速度センサチップ10、20、30と加速度センサチップ40、50、60は、それぞれ接着剤により被実装部材1上に固定されている。
3つの角速度センサチップ10、20、30は、互いに直交して1点で交わるX軸、Y軸、Z軸上に配置されている。第1の角速度センサチップ10はX軸周りにおける角速度を検出するものであり、第2の角速度センサチップ20はY軸周りにおける角速度を検出するものであり、第3の角速度センサチップ30はZ軸周りにおける角速度を検出するものである。
3つの加速度センサチップ40、50、60は、角速度センサチップ10、20、30の検出対象である3軸と同一方向の加速度を検出するものであり、互いに直交して1点で交わるX軸、Y軸、Z軸上に配置されている。第1の加速度センサチップ40はX軸における加速度を検出するものであり、第2の加速度センサチップ50はY軸における加速度を検出するものであり、第3の加速度センサチップ60はZ軸における加速度を検出するものである。
次に、角速度センサチップ10、20、30および加速度センサチップ40、50、60の具体的構成について説明する。3つの角速度センサチップ10、20、30はそれぞれ同様の構成であるので、Z軸周りの角速度を検出する第3の角速度センサ30についてのみ説明する。また、3つの加速度センサチップ40、50、60もそれぞれ同様の構成であるので、Y軸の加速度を検出する第2の加速度センサチップ50についてのみ説明する。
まず、角速度センサチップ30の具体例について図2に基づいて説明する。図2は、角速度センサチップ30の構成を示す平面図である。角速度センサチップ30は、2枚のシリコン基板が酸化膜を介して貼り合わされたSOI(シリコンオンインシュレータ)基板301を用い、周知の半導体製造技術を用いて作ることができる。
図2には、一方のシリコン基板(半導体基板)302の平面形状が示されており、この一方のシリコン基板302には、周知のエッチング加工を施して溝を形成することにより、各部が形成されている。振動体(錘部)303は、一方のシリコン基板302を支持する酸化膜及び他方のシリコン基板を部分的に除去することにより形成された開口部306上に配置されている。振動体303は、シリコン基板302の中央部に位置する第1の可動部304と第1の可動部304におけるX方向の両外側に設けられた第2の可動部305とからなる。
振動体303は、図中のX方向へバネ変形可能な駆動梁307及びY方向へバネ変形可能な検出梁310を介して、振動体303の外周の基部308に支持されており、振動体303は、X方向及びX方向と直交するY方向へ振動可能となっている。振動体303の外周部と基部308とが対向する部位には、次に述べるような櫛歯状の各電極部が形成されている。
即ち、振動体303をX方向へ駆動振動させるために振動体303に駆動信号を印加する駆動電極309と、X及びY方向と直交するZ軸回りに角速度Ωが印加されたときに発生する振動体303のY方向への振動を検出信号として検出するための検出電極311が形成されている。また、シリコン基板302のうち、第2の可動部305におけるX方向の両外側には、開口部306の縁部に支持された櫛歯状のモニタ電極312(図示例では2個ずつ)が形成されている。このモニタ電極312は、振動体303のX方向への駆動振動をモニタし、モニタ信号を検出するためのものである。なお、上記各電極309、311、312には、それぞれ対応したワイヤボンディング用のパッド309a、311a、312aが形成されている。
振動体303の外周部における各電極309、311、312と対向する位置には、櫛歯部303a、303b、303cが形成されており、これらの各電極309、311、312は櫛歯部303a、303b、303cに対し、互いの櫛歯が噛み合うように対向して配置されている。
そして、駆動電極309と振動体303の駆動用櫛歯部303aとの間に、振動体303のX方向への共振周波数を持つ交流の電圧差(駆動信号)を印加し、駆動梁307によって振動体303をX方向へ駆動振動させる。この振動体303の駆動振動のもと、Z軸周りに角速度Ωが印加されると、振動体303にはY方向にコリオリ力が発生し、振動体303は検出梁310によってY方向へ振動(検出振動)する。この検出振動によって、検出電極311と振動体303の検出用櫛歯部303bとの間の静電容量が変化するため、この容量変化を検出することで、Z軸周りの角速度Ωの大きさを求めることができる。
次に、第2の加速度センサチップ50の具体例について図3に基づいて説明する。図3は、加速度センサチップ50の構成を示す平面図である。図3に示すように、加速度センサチップ50では、半導体基板501に対してエッチング等により溝部502を形成することにより、可動電極503を有する可動体502と固定電極505とが形成され、可動電極503と固定電極505はそれぞれ櫛歯状に形成されている。可動電極503は加速度の印加に応じて変位するものである。また、各固定電極505は可動電極503における櫛歯の隙間にかみ合うように櫛歯状に複数本配列されており、可動電極503の検出面と固定電極505の検出面とが対向するように配置されている。
可動電極503は、バネ部506を介して固定部である半導体基板501に連結されており、図3中の矢印Y方向に変位可能となっている。そして、当該矢印Y方向への加速度の印加に伴って、可動電極503の検出面と固定電極505の検出面との間の距離が変化し、この距離変化に伴う可動電極503と固定電極505との間の静電容量の変化等を検出することによって、印加力学量を検出することができるようになっている。
以上、本第1実施形態のように、同一の被実装部材1上に3つの角速度センサチップ10、20、30と3つの加速度センサチップ40、50、60を実装し、X軸、Y軸、Z軸周りの角速度をそれぞれ異なる角速度センサチップ10、20、30で検出し、X軸、Y軸、Z軸の加速度をそれぞれ異なる加速度センサチップ40、50、60で検出するように構成することで、X軸、Y軸、Z軸周りの角速度の検出精度とX軸、Y軸、Z軸の加速度の検出精度を向上させることができる。
また、力学量センサ装置を例えば車両の姿勢制御に用いる場合、姿勢制御を高精度で行うためには、車両の重心位置における角速度および加速度を検出することが要求される。このとき、各角速度センサチップ10、20、30および各加速度センサチップ40、50、60の検出軸が重心位置からずれていると、重心位置からずれた位置の角速度および加速度を検出することとなり、検出精度が悪化してしまう。
これに対し、本第1実施形態の力学量センサ装置では、各角速度センサチップ10、20、30の検出軸が1点で交わるように構成し、X軸、Y軸、Z軸周りの角速度の検出精度を向上させることができる。同様に、本第1実施形態の力学量センサ装置では、各加速度センサチップ40、50、60の検出軸が1点で交わるように構成しているので、X軸、Y軸、Z軸の加速度の検出精度を向上させることができる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について図4、図5に基づいて説明する。図4は本第2実施形態の力学量センサ装置の平面図であり、図5は断面図である。
次に、本発明の第2実施形態について図4、図5に基づいて説明する。図4は本第2実施形態の力学量センサ装置の平面図であり、図5は断面図である。
図4、図5に示すように、本第2実施形態の力学量センサ装置では、3つの角速度センサチップ10、20、30が被実装部材1上の同一箇所に積層して実装され、3つの加速度センサチップ40、50、60も被実装部材1上の同一箇所に積層して実装されている。本第2実施形態では、角速度センサチップ10、20、30と加速度センサチップ40、50、60は、被実装部材1上の異なる箇所に実装されている。
本例では、図5において上側から順に第1の角速度センサチップ10、第2の角速度センサチップ20、第3の角速度センサチップ30が積層され、同様に上側から順に第1の加速度センサチップ40、第2の加速度センサチップ50、第3の加速度センサチップ60が積層されている。第3の角速度センサチップ30と第3の加速度センサチップ60が接着剤3、4にて被実装部材1上に固定されている。また、各角速度センサチップ10、20、30間と各加速度センサチップ40、50、60間はそれぞれ図示しないバンプで接続されている。
積層された各センサチップ10、20、30、40、50、60は、例えば上側に積層されるセンサチップの大きさを小さくし、上下のセンサチップ間でワイヤボンディングして電気的に接続することができる。あるいはセンサチップ10、20、30、40、50、60内を上下方向に貫通するような配線を設けることで、上下のセンサチップ間を電気的に接続するように構成することもできる。
以上のように、各角速度センサチップ10、20、30を積層させることで各角速度センサチップ10、20、30を可能な限り近接させることができる。これにより、X軸、Y軸、Z軸周りの角速度の検出位置を可能な限り近接させることができ、X軸、Y軸、Z軸周りの角速度の検出精度を向上させることができる。
同様に、各加速度センサチップ40、50、60を積層させることで、各加速度センサチップ40、50、60を可能な限り近接させることができる。これにより、X軸、Y軸、Z軸の加速度の検出位置を可能な限り近接させることができ、X軸、Y軸、Z軸の加速度の検出精度を向上させることができる。
(他の実施形態)
なお、角速度センサチップ10、20、30は角速度が検出可能なものであればよく、上記図2で示した構成のものに限定されない。同様に、加速度センサチップ40、50、60は加速度を検出可能なものであればよく、上記図3で示した構成のものに限定されない。
なお、角速度センサチップ10、20、30は角速度が検出可能なものであればよく、上記図2で示した構成のものに限定されない。同様に、加速度センサチップ40、50、60は加速度を検出可能なものであればよく、上記図3で示した構成のものに限定されない。
また、上記第2実施形態では、角速度センサチップ10、20、30と加速度センサチップ40、50、60とを被実装部材1上の離れた位置に積層したが、角速度センサチップ10、20、30と加速度センサチップ40、50、60とを被実装部材1上の同一箇所に積層してもよい、
1…被実装部材、10、20、30…角速度センサチップ、40、50、60…加速度センサチップ。
Claims (2)
- 3つの角速度センサチップ(10、20、30)と3つの加速度センサチップ(40、50、60)とが同一の被実装部材(1)上に実装されている力学量センサ装置であって、
前記3つの角速度センサチップ(10、20、30)は、互いに直交する3つの軸周りにおける角速度をそれぞれ検出するものであるとともに、前記3つの加速度センサチップ(40、50、60)は、前記角速度センサチップの検出対象である3つの軸に対応する3つの軸における加速度をそれぞれ検出するものであり、
前記3つの角速度センサチップ(10、20、30)の検出対象となる3つの軸が1点で交わっているとともに、前記3つの加速度センサチップ(40、50、60)の検出対象となる3つの軸が1点で交わっていることを特徴とする力学量センサ装置。 - 3つの角速度センサチップ(10、20、30)と3つの加速度センサチップ(40、50、60)とが同一の被実装部材(1)上に実装されている力学量センサ装置であって、
前記3つの角速度センサチップ(10、20、30)は、互いに直交する3つの軸周りにおける角速度を検出するものであるとともに、前記3つの加速度センサチップ(40、50、60)は、前記角速度センサチップの検出対象である3つの軸に対応する3つの軸における加速度を検出するものであり、
前記3つの角速度センサチップ(10、20、30)は前記被実装部材(1)上に積層されて実装されているとともに、前記3つの加速度センサチップ(40、50、60)は前記被実装部材(1)上に積層されて実装されていることを特徴とする力学量センサ装置。
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