JP6939475B2 - 物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
前記基板に固定されている固定部と、
平面視で、前記固定部を囲んでいる枠部を含み、前記固定部に接続され、前記基板に対して第1方向に変位可能な可動部と、
前記可動部に支持されている可動電極部と、
を含み、
前記枠部は、
前記第1方向の一方側に位置し、前記第1方向に直交する第2方向に沿って配置されている第1外縁部と、
前記第1方向の他方側に位置し、前記第2方向に沿って配置されている第2外縁部と、を含み、
前記固定部は、前記第1外縁部よりも前記第2外縁部の側に寄って配置され、
前記基板は、
平面視で、前記第1外縁部と重なり、かつ、前記第1外縁部と離間して配置されている第1凸部と、
平面視で、前記第2外縁部と重なり、かつ、前記第2外縁部と離間して配置されている第2凸部と、
を含むことを特徴とする。
これにより、第1凸部および第2凸部との接触によって、可動部の過度な変位を低減することができる。
前記可動部と前記第1凸部との接触面積は、前記可動部と前記第2凸部との接触面積よりも大きいことが好ましい。
これにより、可動部と第1凸部との接触時の衝撃を和らげることができ、可動部や第1凸部の破損を低減することができる。
これにより、第1凸部および第2凸部と可動部以外の部分との接触を低減することができる。
前記電極は、前記可動部と同電位であることが好ましい。
これにより、可動部の意図しない変位を低減することができる。
前記梁部の他端部と可動部とを接続するばね部と、
を含み、
前記基板は、平面視で、前記梁部と重なり、かつ、前記梁部と離間して配置されている第3凸部を含むことが好ましい。
これにより、可動部の過度な変位を低減することができる。
前記基板は、平面視で、前記幹部と重なり、かつ、前記幹部と離間して配置されている第4凸部を含むことが好ましい。
これにより、可動部の過度な変位を低減することができる。
これにより、利便性の高い物理量センサーとなる。
回路素子と、
を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い物理量センサーデバイスが得られる。
前記第1物理量センサーとは異なる物理量を検出する第2物理量センサーと、
を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い複合センサーデバイスが得られる。
前記物理量センサーの駆動を制御する制御回路と、
を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い慣性計測装置が得られる。
測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、
受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、
前記慣性計測装置から出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、
算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、
を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の慣性計測装置の効果を享受でき、信頼性の高い移動体測位装置が得られる。
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い携帯型電子機器が得られる。
ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することが好ましい。
これにより、より利便性の高い携帯型電子機器となる。
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い電子機器が得られる。
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い移動体が得られる。
前記制御部は、前記検出信号に基づいて、前記システムを制御することが好ましい。
これにより、システムを精度よく制御することができる。
まず、本発明の第1実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第2実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第4実施形態に係る物理量センサーデバイスについて説明する。
次に、本発明の第5実施形態に係る複合センサーデバイスについて説明する。
次に、本発明の第6実施形態に係る慣性計測装置について説明する。
次に、本発明の第7実施形態に係る移動体測位装置について説明する。
次に、本発明の第8実施形態に係る電子機器について説明する。
次に、本発明の第9実施形態に係る電子機器について説明する。
次に、本発明の第10実施形態に係る電子機器について説明する。
次に、本発明の第11実施形態に係る携帯型電子機器について説明する。
1.距離:高精度のGPS機能により計測開始からの合計距離を計測する。
2.ペース:ペース距離計測から、現在の走行ペースを表示する。
3.平均スピード:平均スピード走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
4.標高:GPS機能により、標高を計測し表示する。
5.ストライド:GPS電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
6.ピッチ:1分あたりの歩数を計測し表示する。
7.心拍数:脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
8.勾配:山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
9.オートラップ:事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計
測を行う。
10.運動消費カロリー:消費カロリーを表示する。
11.歩数:運動開始からの歩数の合計を表示する。
次に、本発明の第12実施形態に係る移動体について説明する。
Claims (17)
- 基板と、
前記基板に固定されている固定部と、
平面視で、前記固定部を囲んでいる枠部を含み、前記固定部に接続され、前記基板に対して第1方向に変位可能な可動部と、
前記可動部に支持されている可動電極部と、
を含み、
前記枠部は、
前記第1方向の一方側に位置し、前記第1方向に直交する第2方向に沿って配置されている第1外縁部と、
前記第1方向の他方側に位置し、前記第2方向に沿って配置されている第2外縁部と、
を含み、
前記固定部は、前記第1外縁部よりも前記第2外縁部の側に寄って配置され、
前記基板は、
平面視で、前記第1外縁部と重なり、かつ、前記第1外縁部と離間して配置されている第1凸部と、
平面視で、前記第2外縁部と重なり、かつ、前記第2外縁部と離間して配置されている第2凸部と、
を含むことを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1において、
前記可動部は、前記第1方向および前記第2方向に直交する第3方向に変位することにより前記第1凸部および前記第2凸部に接触し、
前記可動部と前記第1凸部との接触面積は、前記可動部と前記第2凸部との接触面積よりも大きい物理量センサー。 - 請求項1または2において、
前記第1凸部および前記第2凸部は、それぞれ、平面視で、前記可動部に内包されている物理量センサー。 - 基板と、
前記基板に固定されている固定部と、
平面視で、前記固定部を囲んでいる枠部を含み、前記固定部に接続され、前記基板に対して第1方向に変位可能な可動部と、
前記可動部に支持されている可動電極部と、
を含み、
前記枠部は、
前記第1方向の一方側に位置し、前記第1方向に直交する第2方向に沿って配置されている第1外縁部と、
前記第1方向の他方側に位置し、前記第2方向に沿って配置されている第2外縁部と、
を含み、
前記固定部は、前記第1外縁部よりも前記第2外縁部の側に寄って配置され、
前記基板は、
平面視で、前記第1外縁部と重なり、かつ、前記第1外縁部と離間して配置されている第1凸部、
を含むことを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1ないし4のいずれか一項において、
前記基板の前記可動部側の面であって、平面視で前記可動部と重なる領域の少なくとも一部に配置されている電極を含み、
前記電極は、前記可動部と同電位である物理量センサー。 - 請求項1ないし5のいずれか一項において、
前記第1方向に沿った長手形状をなし、一端部が前記固定部に接続されている梁部と、
前記梁部の他端部と前記可動部とを接続するばね部と、
を含み、
前記基板は、平面視で、前記梁部と重なり、かつ、前記梁部と離間して配置されている第3凸部を含む物理量センサー。 - 請求項1ないし6のいずれか一項において、
前記可動部は、平面視で、前記枠部の内側に位置し、前記第1方向に沿った長手形状をなす幹部を含み、
前記基板は、平面視で、前記幹部と重なり、かつ、前記幹部と離間して配置されている
第4凸部を含む物理量センサー。 - 請求項1ないし7のいずれか一項において、
加速度を検出することができる物理量センサー。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
回路素子と、
を含むことを特徴とする物理量センサーデバイス。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーである第1物理量センサーと、
前記第1物理量センサーとは異なる物理量を検出する第2物理量センサーと、
を含むことを特徴とする複合センサーデバイス。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーの駆動を制御する制御回路と、
を含むことを特徴とする慣性計測装置。 - 請求項11に記載の慣性計測装置と、
測位用衛星から位置情報が重畳された衛星信号を受信する受信部と、
受信した前記衛星信号に基づいて、前記受信部の位置情報を取得する取得部と、
前記慣性計測装置から出力された慣性データに基づいて、移動体の姿勢を演算する演算部と、
算出された前記姿勢に基づいて前記位置情報を補正することにより、前記移動体の位置を算出する算出部と、
を含むことを特徴とする移動体測位装置。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする携帯型電子機器。 - 請求項13において、
衛星測位システムを含み、
ユーザーの移動距離および移動軌跡を計測する携帯型電子機器。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を含むことを特徴とする電子機器。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を含むことを特徴とする移動体。 - 請求項16において、
エンジンシステム、ブレーキシステムおよびキーレスエントリーシステムの少なくともいずれかのシステムを含み、
前記制御部は、前記検出信号に基づいて、前記システムを制御する移動体。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017228266A JP6939475B2 (ja) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 |
CN201811423681.7A CN109839516B (zh) | 2017-11-28 | 2018-11-26 | 物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体 |
US16/201,044 US10739374B2 (en) | 2017-11-28 | 2018-11-27 | Physical quantity sensor, physical quantity sensor device, composite sensor device, inertial measurement unit, electronic apparatus, and vehicle |
US16/920,833 US11022625B2 (en) | 2017-11-28 | 2020-07-06 | Physical quantity sensor having a movable portion including a frame surrounding a fixed portion fixed to a substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017228266A JP6939475B2 (ja) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019100723A JP2019100723A (ja) | 2019-06-24 |
JP2019100723A5 JP2019100723A5 (ja) | 2020-12-10 |
JP6939475B2 true JP6939475B2 (ja) | 2021-09-22 |
Family
ID=66632971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017228266A Active JP6939475B2 (ja) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10739374B2 (ja) |
JP (1) | JP6939475B2 (ja) |
CN (1) | CN109839516B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019045171A (ja) * | 2017-08-30 | 2019-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器及び移動体 |
JP7176353B2 (ja) * | 2018-10-29 | 2022-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器および移動体 |
JP2021021676A (ja) * | 2019-07-30 | 2021-02-18 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性センサー、電子機器および移動体 |
JP2021067625A (ja) * | 2019-10-28 | 2021-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性計測装置、電子機器及び移動体 |
JP2021067630A (ja) * | 2019-10-28 | 2021-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性計測装置、電子機器および移動体 |
US11562058B2 (en) | 2020-02-05 | 2023-01-24 | Quantum Digital Solutions Corporation | Systems and methods for participating in a digital ecosystem using digital genomic data sets |
JP2022079809A (ja) * | 2020-11-17 | 2022-05-27 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、物理量センサーデバイス及び慣性計測装置 |
CA3177626A1 (en) | 2021-02-04 | 2022-08-11 | Quantum Digital Solutions Corporation | Cyphergenics-based ecosystem security platforms |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2804196B2 (ja) * | 1991-10-18 | 1998-09-24 | 株式会社日立製作所 | マイクロセンサ及びそれを用いた制御システム |
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JP5790429B2 (ja) | 2011-11-17 | 2015-10-07 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー素子、物理量センサー素子の製造方法及び電子機器 |
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US9772242B2 (en) * | 2013-12-06 | 2017-09-26 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Physical quantity measuring sensor including an O-ring between a cylindrical portion and a cylindrical projection |
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CN107024206A (zh) * | 2017-04-17 | 2017-08-08 | 重庆邮电大学 | 一种基于ggi/gps/ins的组合导航系统 |
-
2017
- 2017-11-28 JP JP2017228266A patent/JP6939475B2/ja active Active
-
2018
- 2018-11-26 CN CN201811423681.7A patent/CN109839516B/zh active Active
- 2018-11-27 US US16/201,044 patent/US10739374B2/en active Active
-
2020
- 2020-07-06 US US16/920,833 patent/US11022625B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109839516B (zh) | 2022-07-29 |
US20200333375A1 (en) | 2020-10-22 |
JP2019100723A (ja) | 2019-06-24 |
US10739374B2 (en) | 2020-08-11 |
US20190162750A1 (en) | 2019-05-30 |
CN109839516A (zh) | 2019-06-04 |
US11022625B2 (en) | 2021-06-01 |
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