JP6922594B2 - 物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器、携帯型電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
前記基板に配置され、第1方向の加速度を検出する一対の第1素子部と、
前記基板に配置され、前記第1方向と直交する第2方向の加速度を検出する一対の第2素子部と、
を含み、
前記一対の第1素子部は、それぞれ、
前記基板に対して前記第1方向に変位可能な第1可動部と、
前記第1可動部に配置されている第1可動電極指および第2可動電極指と、
前記第1可動電極指に対して前記第1方向の一方側に配置されている第1固定電極指と、
前記基板に固定され、前記第1固定電極指を支持している第1支持部と、
前記第2可動電極指に対して前記第1方向の他方側に配置されている第2固定電極指と、
前記基板に固定されていると共に、前記第1支持部に並設され、前記第2固定電極指を支持している第2支持部と、
を含み、
前記一対の第2素子部は、それぞれ、
前記基板に対して前記第2方向に変位可能な第2可動部と、
前記第2可動部に配置されている第3可動電極指および第4可動電極指と、
前記第3可動電極指に対して前記第2方向の一方側に配置されている第3固定電極指と、
前記基板に固定され、前記第3固定電極指を支持している第3支持部と、
前記第4可動電極指に対して前記第2方向の他方側に配置されている第4固定電極指と、
前記基板に固定されていると共に、前記第3支持部に並設され、前記第4固定電極指を支持している第4支持部と、
を含む、ことを特徴とする。
これにより、基板の熱撓みの影響を小さくすることができ、良好な温度特性を発揮することのできる物理量センサーが得られる。
前記基板に固定されている第1固定部と、
前記第1固定部と前記第1可動部とを連結している第1ばね部と、
を含み、
前記第1可動部は、前記第1ばね部を介して前記第1固定部に片持ち支持され、
前記一対の第2素子部は、それぞれ、
前記基板に固定されている第2固定部と、
前記第2固定部と前記第2可動部とを連結している第2ばね部と、
を含み、
前記第2可動部は、前記第2ばね部を介して前記第2固定部に片持ち支持されていることが好ましい。
これにより、例えば、第1可動部および第2可動部が両持ち支持されている構成と比較して、物理量センサーの小型化を図ることができる。
前記一対の第1素子部では、前記第1可動電極指と前記第1固定電極指との離間距離および前記第2可動電極指と前記第2固定電極指との離間距離が互いに離間または接近し、
前記一対の第2素子部では、前記第3可動電極指と前記第3固定電極指との離間距離および前記第4可動電極指と前記第4固定電極指との離間距離が互いに離間または接近することが好ましい。
これにより、角速度の影響を小さくすることができる。
平面視で、前記第1仮想線と前記第2仮想線とで仕切られる4つの象限のうち、前記第1仮想線と前記第2仮想線との交点に対して対向する一方の組の象限を第1象限および第2象限とし、他方の組を第3象限および第4象限としたとき、
前記一対の第1素子部の一方が前記第1象限に配置され、他方が第2象限に配置され、
前記一対の第2素子部の一方が前記第3象限に配置され、他方が第4象限に配置されていることが好ましい。
これにより、第1素子部および第2素子部を比較的小さいスペースに配置することができ、物理量センサーの小型化を図ることができる。
前記一対の第2素子部は、前記交点に対して点対称に配置されていることが好ましい。
これにより、4つの第1、第2素子部をバランスよく配置することができる。
回路素子と、
を含む、ことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い物理量センサーデバイスが得られる。
制御回路と、
補正回路と、
を含む、ことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い電子機器が得られる。
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い携帯型電子機器が得られる。
姿勢制御部と、
を含む、ことを特徴とする。
これにより、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、信頼性の高い移動体が得られる。
まず、本発明の第1実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
次に、本発明の第2実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図9は、本発明の第2実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
次に、本発明の第3実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図10は、本発明の第3実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
次に、本発明の第4実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
図11は、本発明の第4実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
次に、本発明の第5実施形態に係る物理量センサーデバイスについて説明する。
図12は、本発明の第5実施形態に係る物理量センサーデバイスを示す断面図である。
次に、本発明の第6実施形態に係る電子機器について説明する。
図13は、本発明の第6実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
次に、本発明の第7実施形態に係る電子機器について説明する。
図14は、本発明の第7実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
次に、本発明の第8実施形態に係る電子機器について説明する。
図15は、本発明の第8実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
次に、本発明の第9実施形態に係る携帯型電子機器について説明する。
1.距離:高精度のGPS機能により計測開始からの合計距離を計測する。
2.ペース:ペース距離計測から、現在の走行ペースを表示する。
3.平均スピード:平均スピード走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
4.標高:GPS機能により、標高を計測し表示する。
5.ストライド:GPS電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
6.ピッチ:1分あたりの歩数を計測し表示する。
7.心拍数:脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
8.勾配:山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
9.オートラップ:事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計
測を行う。
10.運動消費カロリー:消費カロリーを表示する。
11.歩数:運動開始からの歩数の合計を表示する。
次に、本発明の第10実施形態に係る移動体について説明する。
図18は、本発明の第10実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
Claims (9)
- 基板と、
前記基板に配置され、第1方向の加速度を検出する一対の第1素子部と、
前記基板に配置され、前記第1方向と直交する第2方向の加速度を検出する一対の第2素子部と、
を含み、
前記一対の第1素子部は、それぞれ、
前記基板に対して前記第1方向に変位可能な第1可動部と、
前記第1可動部に配置されている第1可動電極指および第2可動電極指と、
前記基板に固定されている第1固定部と、
前記第1固定部と前記第1可動部とを連結している第1ばね部と、
前記第1可動電極指に対して前記第1方向の一方側に配置されている第1固定電極指と、
前記基板に固定され、前記第1固定電極指を支持している第1支持部と、
前記第2可動電極指に対して前記第1方向の他方側に配置されている第2固定電極指と、
前記基板に固定されていると共に、前記第1支持部に並設され、前記第2固定電極指を支持している第2支持部と、
を含み、
前記第1可動部は、前記第1ばね部を介して前記第1固定部に片持ち支持され、
前記一対の第2素子部は、それぞれ、
前記基板に対して前記第2方向に変位可能な第2可動部と、
前記第2可動部に配置されている第3可動電極指および第4可動電極指と、
前記基板に固定されている第2固定部と、
前記第2固定部と前記第2可動部とを連結している第2ばね部と、
前記第3可動電極指に対して前記第2方向の一方側に配置されている第3固定電極指と、
前記基板に固定され、前記第3固定電極指を支持している第3支持部と、
前記第4可動電極指に対して前記第2方向の他方側に配置されている第4固定電極指と、
前記基板に固定されていると共に、前記第3支持部に並設され、前記第4固定電極指を支持している第4支持部と、
を含み、
前記第2可動部は、前記第2ばね部を介して前記第2固定部に片持ち支持され、
前記一対の第1素子部において、それぞれ、
前記第1固定部は、前記基板の中央部側に一端部を有し、前記基板の端部側に他端部を有し、前記第1方向に延在する長手形状をなし、
前記第1固定部は、前記他端部に、前記基板と接合した接合部を有し、
前記第1ばね部により、前記第1固定部の前記一端部と、前記第1可動部とが連結され、
前記一対の第2素子部において、それぞれ、
前記第2固定部は、前記基板の中央部側に一端部を有し、前記基板の端部側に他端部を有し、前記第2方向に延在する長手形状をなし、
前記第2固定部は、前記他端部に、前記基板と接合した接合部を有し、
前記第2ばね部により、前記第2固定部の前記一端部と、前記第2可動部とが連結されていることを特徴とする物理量センサー。 - 請求項1において、
前記第1方向および前記第2方向と直交する第3方向を軸とする角速度が加わると、
前記一対の第1素子部では、前記第1可動電極指と前記第1固定電極指との離間距離および前記第2可動電極指と前記第2固定電極指との離間距離が互いに離間または接近し、
前記一対の第2素子部では、前記第3可動電極指と前記第3固定電極指との離間距離および前記第4可動電極指と前記第4固定電極指との離間距離が互いに離間または接近する物理量センサー。 - 請求項1または2において、
前記第1方向に沿う第1仮想線と、前記第2方向に沿い前記第1仮想線と直交する第2仮想線と、を設定し、
平面視で、前記第1仮想線と前記第2仮想線とで仕切られる4つの象限のうち、前記第1仮想線と前記第2仮想線との交点に対して対向する一方の組の象限を第1象限および第2象限とし、他方の組を第3象限および第4象限としたとき、
前記一対の第1素子部の一方が前記第1象限に配置され、他方が第2象限に配置され、
前記一対の第2素子部の一方が前記第3象限に配置され、他方が第4象限に配置されている物理量センサー。 - 請求項3において、
前記一対の第1素子部は、前記交点に対して点対称に配置され、
前記一対の第2素子部は、前記交点に対して点対称に配置されている物理量センサー。 - 請求項1ないし4のいずれか一項において、
前記第1固定部の前記接合部は、配線に電気的に接続され、
前記第2固定部の前記接合部は、配線に電気的に接続されている物理量センサー。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
回路素子と、
を含む、ことを特徴とする物理量センサーデバイス。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
制御回路と、
補正回路と、
を含む、ことを特徴とする電子機器。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする携帯型電子機器。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
姿勢制御部と、
を含む、ことを特徴とする移動体。
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